硅玻璃:将扩散后的硅片3去磷硅玻璃；d)臭氧氧化:在硅片3表面制备二氧化硅层；e)制备减反膜:在硅片3正面制备氮化硅减反膜；f)正背面金属电极的制备:利用丝网印刷技术和烧结形成具有很好欧姆接触的正背面金属电极。
[0028]具体的臭氧机100的结构实施例如下:
[0029]臭氧机100的结构如图3所示，臭氧机100由水蒸气清洗箱4、干燥箱5、臭氧氧化箱6、退火箱7、输送带2和排气管组成；水蒸气清洗箱4、干燥箱5、臭氧氧化箱6和退火箱7按照硅片3流动方向依次连接，分别对流过的硅片3进行清洗、干燥、氧化和退火处理；排气管和所述水蒸气清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6连接；输送带2在所述水蒸气清洗箱4、干燥箱5、臭氧氧化箱6、退火箱7的下方，为硅片3的传动装置。
[0030]臭氧机100工作步骤如下:1)将去磷硅玻璃后的硅片3进行水蒸气清洗；2)清洗后的硅片3干燥处理；3)干燥后的硅片3表面进行臭氧氧化处理；4)最后将硅片3退火处理。本实用新型通过PSG设备上集成臭氧机100来制备二氧化硅层，制备的方法加入了对流过的硅片3进行清洗、干燥、氧化和退火处理，硅片3放置在输送带2上，经过水蒸气清洗去除硅片3表面的脏污，然后进行干燥，为臭氧氧化提供了一个非常洁净的基底，这样可以防止直接氧化导致的硅片3表面脏污，印记和划伤等问题，可以大大提高电池的良品率；臭氧的氧化反应在高温下完成，使得形成的二氧化硅层致密性大大提高；退火箱7对对二氧化硅进一步退火，二氧化硅的致密性进一步提高，电池的抗PID性能大大提高。
[0031]所述输送带2为多条滚轮构成，滚轮为不锈钢材质，这样是为了匹配臭氧机100中的高温。
[0032]水蒸气清洗箱4由水蒸气产生器403、水蒸气喷头402和清洗箱体401组成，如图4所示；水蒸气喷头402所喷出的水蒸气404垂直喷洒在硅片3上，对硅片3表面进行高温清洗，多余的水蒸气通过所述尾气回收管I排走；水蒸气清洗硅片3时间为10-40S。
[0033]干燥箱5由热风产生器502、热风喷头503和干燥箱501体组成，如图5所示；热风504采用氮气或者过滤空气；热风喷头喷出的热风垂直喷洒在硅片3上，将硅片3快速干燥，多余的热风通过所述尾气回收管I排走；热风温度为80-150°C，硅片3快速干燥时间为5-10so
[0034]臭氧氧化箱6由臭氧产生器602、气体混合器603、第一加热器604、旋转式混合气体喷头605和臭氧氧化箱体601组成，如图6所示；臭氧产生器形成臭氧，气体混合器将臭氧和氮气进行混合，第一加热器对臭氧和氮气混合气体进行加热，旋转式混合气体喷头将加热后的臭氧和氮气混合气体606喷在娃片3表面上，娃片3表面被氧化；多余的气体通过尾气回收管I排走；加热器加热温度为100-150°C，硅片3表面被氧化的时间为20-80s ;旋转式混合气体喷头可360°旋转。
[0035]退火箱7由第二加热器702和退火箱体701组成，如图7所示；对流经所述退火箱7的硅片3进行热辐射703处理；热辐射处理的时间为20-100S，退火温度为150_250°C。
[0036]以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，包括依次排列连接的上料区、刻蚀槽、第一水槽、碱槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料区；其特征在，在所述烘干槽与下料区之间设有臭氧机，所述臭氧机包括水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱，所述水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列连接，在所述臭氧机下方设有输送带，所述水蒸气清洗箱、干燥箱和臭氧氧化箱上连接有排气管。2.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述输送带为多条滚轮构成，滚轮为不锈钢材质。3.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述水蒸气清洗箱包括水蒸气产生器、水蒸气喷头和清洗箱体；所述水蒸气产生器设置在清洗箱体内，所述水蒸气喷头与所述水蒸气产生器连通且水蒸气喷头的沿清洗箱体的输出口方向喷洒。4.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述干燥箱由热风产生器、热风喷头和干燥箱体组成；所述热风产生器设置在干燥箱体内，所述热风喷头与所述热风产生器连通且热风喷头的沿干燥箱体的输出口方向喷洒。5.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述臭氧氧化箱包括臭氧产生器、气体混合器、第一加热器、混合气体喷头和臭氧氧化箱体；所述臭氧产生器与气体混合器连接并输出混合气体，混合气体经过第一加热器流向混合气体喷头喷出且在干燥箱体输出口方向循环喷洒。6.根据权利要求5所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述混合气体喷头为旋转式混合气体喷头。7.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述退火箱包括第二加热器和退火箱体，所述第二加热器设置在退火箱体内，第二加热器向退火箱体输出口方向热辐射。8.根据权利要求1所述的一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，其特征在于，所述输送带的下方还设置有尾气回收管。
【专利摘要】本实用新型公开了一种抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，包括依次排列连接的上料区、刻蚀槽、第一水槽、碱槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料区；在所述烘干槽与下料区之间设有臭氧机，所述臭氧机包括水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱、退火箱、输送带和排气管，所述水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列连接且连接有排气管，输送带设置在所述臭氧机下方。本实用新型不但提高了抗PID电池的良品率，还提升了电池的抗PID性能，此外，致密的二氧化硅层优异的钝化作用还能提高电池的转换效率。
【IPC分类】H01L31/18
【公开号】CN204668333
【申请号】CN201520284830
【发明人】石强, 秦崇德, 方结彬, 黄玉平, 何达能
【申请人】广东爱康太阳能科技有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年5月5日