一种抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池技术领域，更具体的是涉及一种抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备。
【背景技术】
[0002]电势诱导衰减(PID)是指在高温、高湿和高电压的作用下，太阳能电池组件出现功率下降的现象。太阳能电池组件在发电状态下五年左右会出现不同程度的电势诱导衰减现象，这成为目前光伏发电领域面临的一个重大问题。
[0003]目前电池端的抗PID技术主要集中在二氧化硅/氮化硅叠层技术上，这种复合膜的抗PID性能已经得到行业的高度认可。在二氧化硅/氮化硅叠层的制备上，二氧化硅层是重点，其直接影响到组件的抗PID性能，电池外观和转换效率。二氧化硅层的制备有两种方法:一种是利用PECVD技术，对N20/SiH4电离沉积出二氧化硅层，但这种技术的二氧化硅层致密性差，对石墨舟和炉管损伤严重，还会降低电池的转换效率；一种是在去PSG设备中增加臭氧氧化装置，对硅片表面进行氧化，形成二氧化硅层，这种技术成本低，工艺简单，还可以提高电池的转换效率，是目前抗PID技术的重中之重。
[0004]臭氧抗PID技术也存在一些弊端，如电池外观不良比例高，二氧化硅层的致密性有待提高等，也在制约着该技术的更大范围推广，因此，急需对臭氧抗PID技术进行改良。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的就是为了解决现有技术之不足而提供的一种抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备。
[0006]为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的:一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，包括依次排列连接的上料区、刻蚀槽、第一水槽、碱槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料区；在所述烘干槽与下料区之间设有臭氧机，所述臭氧机包括水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱，所述水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列连接，在所述臭氧机下方设有输送带，所述水蒸气清洗箱、干燥箱和臭氧氧化箱上连接有排气管。
[0007]优选的，所述输送带为多条滚轮构成，滚轮为不锈钢材质。
[0008]优选的，所述水蒸气清洗箱包括水蒸气产生器、水蒸气喷头和清洗箱体；所述水蒸气产生器设置在清洗箱体内，所述水蒸气喷头与所述水蒸气产生器连通且水蒸气喷头的沿清洗箱体的输出口方向喷洒。
[0009]优选的，所述干燥箱由热风产生器、热风喷头和干燥箱体组成；所述热风产生器设置在干燥箱体内，所述热风喷头与所述热风产生器连通且热风喷头的沿干燥箱体的输出口方向喷洒。
[0010]优选的，所述臭氧氧化箱包括臭氧产生器、气体混合器、第一加热器、混合气体喷头和臭氧氧化箱体；所述臭氧产生器与气体混合器连接并输出混合气体，混合气体经过第一加热器流向混合气体喷头喷出且在干燥箱体输出口方向循环喷洒。
[0011]优选的，所述混合气体喷头为旋转式混合气体喷头。
[0012]优选的，所述退火箱包括第二加热器和退火箱体，所述第二加热器设置在退火箱体内，第二加热器向退火箱体输出口方向热辐射。
[0013]优选的，所述输送带的下方还设置有尾气回收管。
[0014]与现有技术相比，本实用新型所述一种抗电势诱导衰减太阳能电池的制备方法的有益效果为:本实用新型通过加入臭氧机，所述臭氧机包括水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱，所述水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列连接，在所述臭氧机下方设有输送带，所述水蒸气清洗箱、干燥箱和臭氧氧化箱上连接有排气管。本臭氧机的结构合理、性能稳定，硅片在同一生产线上依次完成制备工艺，不但可以提高了抗PID电池的良品率，还能提升了电池的抗PID性能，此外，致密的二氧化硅层优异的钝化作用还能提高电池的转换效率。
【附图说明】
[0015]图1为现有技术的去PSG设备简图；
[0016]图2为本实用新型实施方式的去PSG和臭氧机集成设备简图；
[0017]图3为本实用新型实施方式的臭氧机结构图；
[0018]图4为本实用新型实施方式的水蒸气清洗箱结构图；
[0019]图5为本实用新型实施方式的干燥箱结构图；
[0020]图6为本实用新型实施方式的臭氧氧化箱结构图；
[0021]图7为本实用新型实施方式的退火箱结构图。
【具体实施方式】
[0022]下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
[0023]下面结合附图具体描述根据本实用新型实施例的抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备。
[0024]现有技术的去PSG设备如图1所示，硅片3经历依次排列连接的上料区、刻蚀槽、第一水槽、碱槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料区，将硅片3正背面的PSG去除，将娃片3周边的p-n结层去除。
[0025]本实用新型是在所述烘干槽与下料区之间设有臭氧机100，其集成在所述烘干槽所用设备中，集成后的设备简图如图2和图3所示，即在现有技术的基础上，在烘干槽和下料区中间安装臭氧机100。
[0026]本实用新型是在所述烘干槽与下料区之间加入臭氧机100，所述臭氧机100包括水蒸气清洗箱4、干燥箱5、臭氧氧化箱6和退火箱7，所述水蒸气清洗箱4、干燥箱5、臭氧氧化箱6和退火箱7依次排列连接，在所述臭氧机100下方设有输送带2，所述水蒸气清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6上连接有排气管，排气管(图中未视出)是为水蒸气清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6补充或者增加一定的气体，使硅片3在经过上述水蒸气清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6时，能快速和有效地喷晒在硅片3表面且作臭氧氧化处理。本臭氧机100的结构合理、性能稳定，硅片3在同一生产线上依次完成制备工艺，不但可以提高抗PID电池的良品率，还能提升电池的抗PID性能，此外，致密的二氧化硅层优异的钝化作用还能提尚电池的转换效率。
[0027]抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备的工作步骤:a)制绒:在硅片3表面形成绒面，降低太阳光的反射率；b)热扩散制备p-n结:利用POC13将硅片3热扩散形成p-n结；c)去磷