一种用于太阳能电池制程的多段组合式处理槽的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种用于太阳能电池制程的多段组合式处理槽。
【背景技术】
[0002]太阳能电池的制造过程分为几个阶段：硅片切割，材料准备；去除损伤层；制绒；扩散制结；边缘刻蚀、清洗；沉积减反射层；丝网印刷上下电极；共烧形成金属接触；电池片测试。其中，去除损伤层；制绒；扩散制结；边缘刻蚀、清洗等工艺需要在处理槽中用药液进行处理。
[0003]去除损伤层：硅片在切割过程会产生大量的表面缺陷，这就会产生两个问题，首先表面的质量较差，另外这些表面缺陷会在电池制造过程中导致碎片增多。因此要将切割损伤层去除，一般采用碱或酸腐蚀，腐蚀的厚度约l〇um。
[0004]制绒：制绒，就是把相对光滑的原材料硅片的表面通过酸或碱腐蚀，使其凸凹不平，变得粗糙，形成漫反射，减少直射到硅片表面的太阳能的损失。对于单晶硅来说一般采用NaOH加醇的方法腐蚀，利用单晶硅的各向异性腐蚀，在表面形成无数的金字塔结构，碱液的温度约80度，浓度约1?2%，腐蚀时间约15分钟。对于多晶来说，一般采用酸法腐蚀。
[0005]扩散制结：扩散的目的在于形成PN结。普遍采用磷做η型掺杂。由于固态扩散需要很高的温度，因此在扩散前硅片表面的洁净非常重要，要求硅片在制绒后要进行清洗，即用酸来中和硅片表面的碱残留和金属杂质。
[0006]边缘刻蚀、清洗：扩散过程中，在硅片的周边表面也形成了扩散层。周边扩散层使电池的上下电极形成短路环，必须将它除去。周边上存在任何微小的局部短路都会使电池并联电阻下降，以至成为废品。目前，工业化生产用等离子干法腐蚀，在辉光放电条件下通过氟和氧交替对硅作用，去除含有扩散层的周边。扩散后清洗的目的是去除扩散过程中形成的磷娃玻璃。
[0007]太阳能电池片制造时，上述需要用多种化学药液处理的过程，在不同的处理槽内完成。现有技术的做法是做多个处理槽，每种处理槽完成一步制程，然后多个处理槽拼接到一起。这种多处理槽的方式会增加安装工作，造成拼接缝过多，增加药液泄漏的风险。
【实用新型内容】
[0008]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于太阳能电池制程的多段组合式处理槽，通过在一个槽体内设置多个隔板、固定半隔板和活动板将槽体分隔为多个独立工作、功能不同的处理区，使处理槽更加灵活。
[0009]本实用新型提供的一种用于太阳能电池制程的多段组合式处理槽包括槽体和设置在槽体内的若干个隔板、固定半隔板、活动板和活动隔板，其中，
[0010]所述槽体由前壁板、后壁板、左壁板、右壁板和底板围合形成；
[0011]所述隔板、固定半隔板和活动隔板的两侧均分别与所述前壁板和后壁板连接；
[〇〇12]所述隔板和固定半隔板的下部与所述底板连接，用于将所述槽体分隔成不同的处理区；
[0013]所述固定半隔板的高度低于所述隔板的高度；
[0014]所述活动隔板可拆卸地设置在所述固定半隔板的上方；
[0015]所述活动板设置在所述固定半隔板的上部，所述活动板可伸缩。
[0016]进一步地，所述底板上设置有若干个底板进液口和圆形的回流孔。
[0017]进一步地，所述底板的中部向下凹陷。
[0018]进一步地，所述隔板的顶部与所述左壁板或右壁板平齐，所述固定半隔板的高度为所述隔板的一半。
[0019]进一步地，所述前壁板和/或所述后壁板上设置有若干个活动隔板安装槽，所述活动隔板可拆卸地安装在所述活动隔板安装槽内。
[0020]进一步地，所述隔板和活动隔板上均开设有用于电池片通过的电池片孔。
[0021]进一步地，所述槽体内还设置有前挡板，所述前挡板平行于所述前壁板，所述前挡板上设置有若干个前挡板回流口和前挡板进液孔。
[0022]进一步地，由两个所述固定半隔板分隔形成的处理区内的底板的高度高于其他处理区的底板的高度；还包括倾斜板，所述倾斜板的一侧与固定半隔板连接，另一侧与底板连接。
[0023]进一步地，所述底板在于所述倾斜板连接的部位设置有若干个条形回流孔。
[0024]进一步地，所述后壁板上还设置有若干个废气孔。
[0025]实施本实用新型，具有如下有益效果：
[0026](1)使用本实用新型的方案，可以制作较长的连通槽体，在槽体内通过隔板、固定半隔板将槽体分隔为不同的功能区域，每个区域可以添加不同的药液或采取不同的方式对太阳能电池片进行处理，分隔方式灵活，提高了槽体的通用性，并且由于在隔板和活动隔板上设置电池片孔，能够有效避免药液在各槽体间的泄露。
[0027](2)在固定半隔板上设置活动板，可以灵活地根据需要调节固定半隔板形成的处理区内的液位。
[0028](3)在固定半隔板上方设置可拆卸的活动隔板，可以根据需要选择是否安装该活动隔板，在有较多气体或液体溢出时，安装该活动隔板能有效阻挡气液进入气体处理区。
【附图说明】
[0029]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案和优点，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
[0030]图1是本发明实施例提供的用于太阳能电池制程的多段组合式处理槽的俯视图；
[0031 ]图2是图1的A-A向的剖面图；
[0032]图3是图1的C-C向的剖面图；
[0033]图4是本发明实施例提供的用于太阳能电池制程的多段组合式处理槽的活动隔板的不意图；
[0034]图5是本发明实施例提供的用于太阳能电池制程的多段组合式处理槽的隔板的示意图；
[0035]图6是本发明实施例提供的用于太阳能电池制程的多段组合式处理槽的固定半隔板的示意图；
[0036]图中：1_前壁板，后壁板，左壁板，4_右壁板，底板，6_隔板，7_固定半隔板，8-活动板，9-活动隔板，10-回流孔，11-底板进液口，12-活动隔板安装槽，13-电池片孔，14-前挡板，15-前挡板回流口，16-前挡板进液孔，17-倾斜板，18-条形回流孔，19-废气孔。
【具体实施方式】
[0037]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0038]实施例：
[0039]请参见图1-图6,本实用新型实施例提供了一种用于太阳能电池制程的多段组合式处理槽，包括槽体和设置在槽体内的若干个隔板6、固定半隔板7、活动板8和活动隔板9，其中，
[0040]所述槽体由前壁板1、后壁板2、左壁板3、右壁板4和底板5围合形成；
[0041]所述隔板6、固定半隔板7和活动隔板9的两侧均分别与所述前壁板1和后壁板2连接；<