专利名称：一种防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法
技术领域：
本发明涉及太阳能电池加工领域，尤其是涉及ー种在制备太阳能电池减反射绒面时能够避免绒面产生黑纹的制备方法。背景技木
公知的，在制作太阳能电池的エ序流程中，由于第一道清洗制绒エ序减反射绒面的制备能够直接影响扩散方块电阻的均匀性、磷硅玻璃层厚度的均匀性、氮化硅膜的均匀性以及印刷和烧结的质量，因此，清洗制绒属于太阳能电池制作流程的一道重要エ序；目前，制备减反射绒面一般是采用湿法槽式制绒，即利用机械臂将装有太阳能级硅片的硅片承载盒依次放入相应的溶液槽槽内进行操作，从而完成硅片减反射绒面的制备；
然而，在长期的实际操作中却发现，硅片承载盒内的硅片在存放有HF和HN03混合溶液的溶液槽内完成减反射绒面制备后，必须由机械臂将硅片承载盒提起并放到冲洗槽内对硅 片进行冲洗，但是在这个换槽的过程中，依附在太阳能级硅片表面的混合溶液会受重力的影响沿硅片表面下滑，且在下滑的过程中继续对硅片进行反应；由于太阳能级硅片表面的混合溶液在下滑的过程中分布极不均匀且伴随有放热反应，这极易造成太阳能级硅片的局部表面反应时间延长及温度升高，从而发生局部表面反应过腐蚀现象，导致产生黑纹，进而极大的降低了太阳能电池的转换效率；
为解决因黑纹而降低太阳能电池转换效率的问题，现有的办法是针对湿法槽式制绒设备中的机械臂进行如下改造；一、通过在换槽时加快机械臂的行进速度来减少混合溶液在下滑时与硅片表面接触的时间，从而以降低硅片表面反应过腐蚀的发生机率来避免黑纹的产生；但是，这种办法在应用时不仅会増加机械臂的磨损程度及降低操作的稳定性，而且其还只能减少黑纹的产生，却不能根除黑纹；ニ、在机械臂上加装喷淋管，从而利用喷淋管在换槽过程中对硅片承载盒内的硅片进行喷淋，避免混合溶液与硅片表面发生反应，从而杜绝黑纹的产生；然而，这种办法却会导致喷淋出的水将硅片表面的混合溶液冲击的四处飞溅，从而极易造成周边的设备部件被腐蚀，严重时不但会影响设备的使用寿命，而且还会引发安全事故。
发明内容
为了克服背景技术中的不足，本发明公开了ー种防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，在太阳能电池清洗制绒エ序中制备硅片减反射绒面时应用所述的制备方法，能够在制备太阳能电池硅片表面减反射绒面的エ序中有效解决黑纹的产生，从而避免太阳能电池的转换效率受到黑纹的影响。为实现上述发明目的，本发明采用如下技术方案
ー种防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，所述的方法步骤如下
A.将HF和HN03混合后的混合溶液温度控制在6 8度；
B.待将混合溶液输入至溶液槽内后，利用机械臂把放有硅片的硅片承载盒放入溶液槽中的混合溶液内，使硅片承载盒内的硅片浸泡于混合溶液中进行减反射绒面制备；
C.制备结束，打开在溶液槽槽底设置的出液ロ，将溶液槽内的混合溶液排出；D.当溶液槽内的混合溶液排完后密闭出液口，然后利用喷淋装置对溶液槽中硅片承载盒内的硅片进行喷淋以冲刷掉残留在硅片表面的混合溶液；
E.喷淋结束，打开在溶液槽槽底设置的出液口，将溶液槽内的水液排出；
F.待溶液槽内的水液排完后密闭出液口，利用机械臂将放有硅片的硅片承载盒提取出溶液槽进行后续工序所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，所述的方法是通过在放置混合溶液的容器内安置冷却水盘管，并根据混合溶液的温度调节在冷却水盘管中循环引入的冷却水水量，从而将混合溶液的温度控制在6 8度。所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，所述方法中在进行减反射绒面制备时，硅片承载盒内的硅片需要浸泡在混合溶液中2 5分钟。所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，所述方法中在冲刷残留在硅片表面的混合溶液时，喷淋装置需要对硅片喷淋I 3分钟。所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，应用所述方法的喷淋装置为安装在溶液槽槽盖板上的喷淋管，以及在喷淋管管头设置的对应硅片承载盒盒内硅片的喷嘴。所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，所述方法中喷淋出的是18ΜΩ的纯水。所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，应用所述方法的溶液槽槽底设置有一个用于轮换排出混合溶液及喷淋水液的出液口，或者是设置有分别对应排出混合溶液和排出喷淋水液的出液口。所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，所述方法中用于排出混合溶液或喷淋水液的出液口设置有气动阀。所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，所述方法中排出的混合溶液能够循环利用。由于采用如上所述的技术方案，本发明具有如下有益效果
在太阳能电池清洗制绒工序中制备硅片减反射绒面时应用所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法时，能够在不改造机械臂及不改变现有太阳能电池硅片表面减反射绒面制备工序的大环境前提下，有效的解决在制备减反射绒面时出现黑纹的问题，即所述的方法能够解决因黑纹而降低太阳能电池转换效率的问题。
具体实施方式
通过下面的实施例可以更详细的解释本发明，公开本发明的目的旨在保护本发明范围内的一切变化和改进，本发明并不局限于下面的实施例；
实施所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法时，步骤如下
A、在放置混合溶液的容器内安置冷却水盘管，然后根据混合溶液的温度调节在冷却水盘管中循环引入的冷却水水量，从而将HF和HN03混合后的混合溶液的温度控制在6 8度；
B、待将混合溶液输入至溶液槽内后，利用机械臂把放有硅片的硅片承载盒放入溶液槽中的混合溶液内，并让硅片承载盒内的硅片浸泡在混合溶液中4分钟，即通过混合溶液与硅片表面产生的化学反应来制备减反射绒面；C、当制备完 成结束后，打开在溶液槽槽底设置的出液口，将溶液槽槽内的混合溶液排
出；
D、当溶液槽槽内的混合溶液排完后密闭出液口，然后利用安装在溶液槽槽盖板上的喷淋管，以及在喷淋管管头设置的对应硅片承载盒盒内硅片的喷嘴对硅片喷淋18ΜΩ的纯水3分钟，从而利用喷淋的冲力将残留在硅片表面的混合溶液冲刷掉，即避免了混合溶液与硅片表面继续反应，防止了黑纹的产生；
E、当喷淋结束，打开在溶液槽槽底设置的出液口，将喷淋后积存在溶液槽内的水液排
出；
F、待溶液槽内的水液排完后密闭出液口，利用机械臂将放有硅片的硅片承载盒提取出溶液槽，然后进行相应的后续工序。根据需要，在操作所述的方法时，能够在溶液槽槽底设置一个用于轮换排出混合溶液及喷淋水液的出液口，或者是设置两个分别对应排出混合溶液和排出喷淋水液的出液口 ；为便于控制排出混合溶液及喷淋水液，用于排出混合溶液或喷淋水液的出液口设置有能够控制开合的气动阀；此外，由溶液槽排出的混合溶液能够循环再利用，从而达到了资源再利用的目的，为使用方节省了成本。本发明未详述部分为现有技术，故本发明未对其进行详述。
权利要求
1.一种防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，其特征是所述的方法步骤如下 A、将HF和HN03混合后的混合溶液温度控制在6 8度； B、待将混合溶液输入至溶液槽内后，利用机械臂把放有硅片的硅片承载盒放入溶液槽中的混合溶液内，使硅片承载盒内的硅片浸泡于混合溶液中进行减反射绒面制备； C、制备结束，打开在溶液槽槽底设置的出液口，将溶液槽内的混合溶液排出； D、当溶液槽内的混合溶液排完后密闭出液口，然后利用喷淋装置对溶液槽中硅片承载盒内的硅片进行喷淋以冲刷掉残留在硅片表面的混合溶液； E、喷淋结束，打开在溶液槽槽底设置的出液口，将溶液槽内的水液排出； F、待溶液槽内的水液排完后密闭出液口，利用机械臂将放有硅片的硅片承载盒提取出溶液槽进行后续工序。
2.根据权利要求I所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，其特征是所述的方法是通过在放置混合溶液的容器内安置冷却水盘管，并根据混合溶液的温度调节在冷却水盘管中循环引入的冷却水水量，从而将混合溶液的温度控制在6 8度。
3.根据权利要求I所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，其特征是所述方法中在进行减反射绒面制备时，硅片承载盒内的硅片需要浸泡在混合溶液中2 5分钟。
4.根据权利要求I所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，其特征是所述方法中在冲刷残留在硅片表面的混合溶液时，喷淋装置需要对硅片喷淋I 3分钟。
5.根据权利要求I或4所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，其特征是应用所述方法的喷淋装置为安装在溶液槽槽盖板上的喷淋管，以及在喷淋管管头设置的对应硅片承载盒盒内硅片的喷嘴。
6.根据权利要求I或4所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，其特征是所述方法中喷淋出的是18ΜΩ的纯水。
7.根据权利要求I所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，其特征是应用所述方法的溶液槽槽底设置有一个用于轮换排出混合溶液及喷淋水液的出液口，或者是分别设置有用于排出混合溶液和排出喷淋水液的出液口。
8.根据权利要求I或7所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，其特征是所述的出液口设置有气动阀。
9.根据权利要求I所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，其特征是所述方法中排出的混合溶液能够循环利用。
全文摘要
一种涉及太阳能电池加工领域的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法，所述的方法采用在一放置混合溶液的溶液槽内对硅片承载盒内的硅片进行减反射绒面制备和清洗操作，从而能够在制备太阳能电池硅片表面减反射绒面的工序中有效解决黑纹的产生，避免了太阳能电池的转换效率受到黑纹的影响。
文档编号C30B33/10GK102629642SQ20121010835
公开日2012年8月8日 申请日期2012年4月13日 优先权日2012年4月13日
发明者刘绪红, 李洋, 梁冬青, 段少雷, 韩帅君 申请人:上海超日(洛阳)太阳能有限公司