专利名称：压电谐振器支持结构和含有该结构的压电元件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种压电谐振器支持结构以及含有这种结构的压电元件，本发明尤其涉及用于通过固定件将压电谐振器支持在诸如底座之类的支持件上的压电谐振器支持结构。
图21描述了一种压电谐振器的例子，它和本发明的背景相关，并应用了本发明。图22是示出在压电谐振器的基片上形成绝缘薄膜的状态的平面图。图21所示的压电谐振器10包含4mm长、1mm宽、1mm高的矩形平行六边形基片12。基片12包含20个压电层14，它们相互叠堆，并且由例如压电陶瓷材料制成。这些压电层14具有相同的尺寸。如图21中的箭头所示，压电层14沿基片12的纵向极化，从而相邻的压电层14的极化方向是相对的。基本12两端的压电层14不极化。
将内部电极16设置在基片12的压电层14之间，垂直于基片12的纵向延伸，并且沿基片12的纵向相互分离。内部电极16设置得覆盖压电层14的整个主表面。因此，内部电极16露出基片12的四个侧面。
在基片12的一个侧表面上沿该基片12的宽度方向在其中心部分形成凹槽17。在基片12没有形成凹槽17的一个侧表面的一部分上，沿着基片12的宽度方向将交替的内部电极16的端部设置得由绝缘薄膜18覆盖。另外的内部电极16的端部沿基片12的宽度方向设置在基片12没有形成凹槽17的一个侧表面上其它的部分。
在基片12的一个侧表面的一部分处，将外部电极22设置在例如设置在交替的电极16上的绝缘薄膜18上，以便连接到设置在其它部分的交替的电极16。在基片12的一个侧表面的其它部分处，将外部电极24设置在例如设置在交替的电极16上的绝缘薄膜20上，以便连接到设置在该部分上的交替的电极16。
在图21所示的压电谐振器10中，将外部电极22和24用作输入/输出电极。由于当信号提供给外部电极22和24时在相邻层的内部电极16之间施加了电场，所以压电层14(除了基片12两端的压电层)压电激活。在这种情况下，将方向相反的电场提供给基片12沿相反方向极化的压电层14。由此，压电层14作为整体趋向于以同方向扩展和收缩。换句话说，当将沿基片12纵向的交流电场通过内部电极16和连接到外部电极22和24的内部电极16提供给各个压电层14，从而产生使各个压电层14扩展和收缩的驱动力时，整个压电谐振器10以纵向振动的基本振动激励，其中基片12沿其纵向的中心部分作为波节。
现在将描述传统的压电元件，其中通过固定件将图21所示的压电谐振器10安装到限定了支持件的底座上。
图23说明了传统的压电元件的压电谐振器安装之前的状态。图24说明了压电元件的压电谐振器安装之后的状态。图23和24所示的压电元件1包含限定了支持件的底座2。在底座2上设置两个图案电极3。在外部电极22和24沿其纵向的各个中心部分上设置由氨基甲酸酯型导电材料，即含有85wt％的Ag的氨基甲酸酯型合成树脂制成的固定件4。通过由环氧型导电材料，即含Ag的环氧型合成树脂制成的导电膏5将固定件4粘接到底座2上的两个图案电极3。这使压电谐振器10的外部电极22和24通过各个固定件4电气耦合到底座2上的各个图案电极3，由此将压电谐振器10通过固定件4固定到底座2。
在这种情况下，压电谐振器10的每一个固定件4的上面部分的尺寸W1越大，就越容易传输振动。尺寸W1在从1.0mm到1.4mm的范围内。
振动的传输和压电谐振器10的每一个固定件4的下面部分沿其纵向的尺寸W2之间的关系很小，但是考虑到底座2和固定件4用以接地的强度，将它设置为例如等于或大于0.5mm。
虽然传输的振动量随着固定件4的硬度和固定件4中含Ag量而变化，但是它可以沿固定件4的厚度方向减小某一量(固定件4的厚度t1)。厚度t1的值越大，则传输的振动量越小。由于所制造的压电元件的高度，厚度t1具有上限。它在例如从130μm到170μm的范围内。
虽然在用导电膏5连接之前的厚度t2(图23所示)不直接和振动的传输相关，但是当导电膏5厚时，相对于固定件4的粘合尺寸变大，由此增加了传输的振动量。另一方面，当它薄时，固定件4用以接地的强度减小。由此，厚度t2在从35μm到55μm的范围内。
图23和24所示的压电元件1具有如图25所示的阻抗特性和相位特性，以及如图26所示的滤波特性。
但是，在上述传统的压电元件1中，当使每一个固定件4的上面部分的尺寸W1较小以限制振动的传输时，固定件4的下面部分的尺寸W2必然变小，从而无法得到足够的支持强度。另一方面，为了使固定件4的下面部分的尺寸W2等于或大于特定的值(该值等于或大于0.5mm)，则固定件4的上面部分的尺寸W1等于或大于0.9mm，这使得振动的传输更加容易。
另外，在上述传统的压电元件1中，当使固定件4的厚度t1变大以限制振动的传输时，制造的压电元件1变得更高，从而无法实现制造轻薄短小的压电元件的目的。另外，对于减小目前的产品的最大高度(从1.9mm到1.7mm或1.5mm)有日益增长的要求，从而固定件4正变得越来越短，故必须研究减小能量的传递量的方法。
再有，在具有上述结构和尺寸的传统的压电元件1中，为了限制振动的传输，必须改进用于固定件4和导电膏5的材料。由于在压电谐振器的切割或使用切割机器的切割操作中的强度要求和不良的切割性能，无法得到有效低的杨氏模量。另外，很清楚，由于振动通过固定件4中的Ag填料而传递，故可以通过减小Ag的量限制传输的振动量。但是，由于为了确保导电，目前的导电膏建立在氨基甲酸酯型合成树脂基础上，故所含的Ag量无法减小到80wt％或更小。
为了克服上述问题，本发明的较佳实施例提供了一种压电谐振器支持结构，它可以限制从压电谐振器传输到支持件的振动量，同时保持支持件支持压电谐振器所需要的强度；和包含这种支持结构的压电元件。
本发明的一个较佳实施例提供了一种压电谐振器支持结构，用于通过固定件将压电谐振器支持在支持件上，其中这种压电谐振器适合于以纵向振动模式振动，其中至少固定件与压电谐振器接触的部分由限制振动传输的材料制作，用于限制振动通过固定件从压电谐振器传输到支持件。
在本发明的这个较佳实施例的这种压电谐振器支持结构中，固定件接触压电谐振器的部分可以对应于例如固定件的外侧部分或内侧部分。
在这种压电谐振器支持结构中，固定件从其接触压电谐振器的部分延伸到其在支持件侧的部分的那部分可以由限制振动传输的材料制成。
在这种压电谐振器支持结构中，限制振动传输的材料可以包含氨基甲酸酯或硅铜。
本发明的另一个较佳实施例提供了一种压电元件，它包含上述的任何一种压电谐振器支持结构，其中支持件是个底座，并在底座上设置盖子以遮盖压电谐振器。
在这种压电元件中，可以提供多个压电谐振器。
在这种压电谐振器支持结构和含有这种结构的压电元件中，固定件接触压电谐振器的部分由限制振动传输的材料制成，使得可限制振动从压电谐振器传输到支持件，同时保持由支持件支持压电谐振器所需的强度。
从下面参照附图对本发明的描述，本发明的其它特点和优点将是显然的。
图1是根据本发明的较佳实施例的压电元件的分解透视图。
图2是图1的压电元件的主要部分的正视图。
图3示出在安装压电元件的压电谐振器之前的状态。
图4示出安装好图1的压电元件的压电谐振器之后的状态。
图5是一曲线图，说明图1的压电元件的阻抗特性和相位特性。
图6是一曲线图，说明图1的压电元件的滤波特性。
图7示出图1的压电元件的修改。
图8示出安装根据本发明的压电元件的另一个较佳实施例的压电谐振器之前的状态。
图9示出安装好图8的压电元件的压电谐振器之后的状态。
图10示出图8和9所示的压电元件的阻抗特性和相位特性。
图11示出图8和9所示的压电元件的修改。
图12示出根据本发明的压电元件的另一个较佳实施例。
图13示出安装图12的压电元件的修改的压电谐振器之前的状态。
图14示出安装好图13的压电元件的压电谐振器之后的状态。
图15示出图13和14所示的压电元件的阻抗特性和相位特性的例子。
图16示出图13和14所示的压电元件的阻抗特性和相位特性的另一个例子。
图17示出安装图12的压电元件的另一个修改的压电谐振器之前的状态。
图18示出安装好图17的压电元件的压电谐振器之后的状态。
图19示出图17和18所示的压电元件的阻抗特性和相位特性的例子。
图20示出图17和18所示的压电元件的阻抗特性和相位特性的另一个例子。
图21示出应用本发明的压电谐振器的一个例子，并作为本发明的背景。
图22示出将绝缘薄膜设置在用于图21所示的压电谐振器的底座上的状态的平面图。
图23示出安装传统的压电元件的压电谐振器之前的状态。
图24示出已经安装了图23的压电元件的压电谐振器之后的状态。
图25是一曲线图，说明图23和24所示的压电元件的阻抗特性和相位特性。
图26是一曲线图，说明图23和24所示的压电元件的滤波特性。
图1是根据本发明的较佳实施例的压电元件的分解透视图。图2是该压电元件的主要部分的正视图。图3说明了在安装压电元件的压电谐振器之前的状态。图4说明了已经安装好压电元件的压电谐振器之后的状态。
图1所示的压电元件30包括限定支持件的底座32。较好地，在底座32的相对边缘上各形成两个凹口34。在底座32的一个表面上设置两个图案电极36和38。将图案电极36设置在一组两个相对凹口34之间，它具有大致上为L形状的部分，从图案电极36的一端侧延伸到底座32的大致中心部分。图案电极38设置在另一组两个凹口34之间，具有大致上为L形状的部分，从图案电极38相对的一端侧延伸到底座32的大致中心部分。如此安排图案电极36和38，从而由底座32中的凹口34绕到另一个表面。
通过固定件40将图21所示的压电谐振器10固定在底座32的大致中心部分。这里，较好地，将两个固定件40沿压电谐振器10的两个外部电极22和24的纵向设置在这两个外部电极22和24的大致中心部分。
固定件40之一的外侧部分40a(即接触外部电极22，并沿压电谐振器10的纵向延伸的部分)由诸如氨基甲酸酯或硅酮之类的限制振动传输的材料制成，以限制振动通过该固定件40由压电谐振器10传输到底座32。该固定件40的两个外侧部分40a上的其它部分40b最好由氨基甲酸酯型导电材料(即含有约85wt％Ag的氨基甲酸酯型合成树脂)制成。可以使用的氨基甲酸酯型导电材料不限于含有大约85wt％Ag的氨基甲酸酯型合成树脂，从而还可以使用含有例如从大约80wt％到不大于大约85wt％Ag的氨基甲酸酯型合成树脂。
类似地，另外的固定件40的两个外侧部分40a(即接触外部电极24，并设置得沿压电谐振器10的纵向延伸的部分)最好由诸如氨基甲酸酯或硅酮之类的限制振动传输的材料制成，以限制振动通过该固定件40由压电谐振器10传输到底座32。两个外侧部分40a上的其它部分40b由氨基甲酸酯型导电材料制成，即较好地，含有大约85wt％Ag的氨基甲酸酯型合成树脂。
这里，虽然在每一个固定件40的外侧部分40a之间沿压电谐振器10的纵向的尺寸X1在例如大约0.3mm到大约0.5mm(即压电谐振器10的长度的大约7.5％到大约12.5％)之间，但是它例如等于或小于大约1.0mm(这等于或小于压电谐振器10的长度的大约25％)。尺寸X1还可以具有其它的尺寸。尺寸X1的下限由外部电极22和24与图案电极36和38之间的导电率确定。
每一个固定件40的下部沿压电谐振器10的纵向的尺寸X2是例如等于或大于约0.5mm，但是可以是其它值。
每个固定件40的上面部分沿压电谐振器10的纵向的尺寸X3最好是例如等于或小于大约1.5mm，这依赖使用的安装夹具的类型。考虑尺寸X2，它较好地等于或大于大约0.8mm(即等于或大于压电谐振器10的长度的大约20％)。尺寸X3可以具有其它值。
每个固定件40的外侧部分40a的厚度T1是例如约20μm，但是可以具有其它值。
每一个固定件40的外侧部分40a上的其它部分40b的厚度和每一个固定件40的外侧部分40a的厚度之间的差T2等于或大于大约0mm。
每一个固定件40的厚度T3是例如大约200μm，但是可以具有其它值。
较好地，通过最好由环氧型导电材料(即含Ag的环氧型合成树脂)制成的导电膏42分别将两个固定件40粘接到底座32上的两个图案电极36和38。这使压电谐振器10的外部电极22和24通过固定件40电气耦合到底座32上的两个图案电极36和38，由此将压电谐振器10通过固定件40安装到底座32上。
将限定了外罩的金属盖子44放置在压电谐振器10上，以便设置在底座32上。在这种情况下，将诸如绝缘树脂之类的绝缘材料涂覆在底座32和图案电极36和38上，从而在金属盖子44和图案电极36和38之间不发生导电。
通过用金属盖子44覆盖压电谐振器10，制造出电子元件30(包括例如压电谐振器或压电鉴别器)。在压电元件30中，将图案电极36和38设置得从底座32上的凹口34延伸并朝背面缠绕，限定连接到外部电路的输入/输出端子。
在图1所示的压电元件30中，每一个固定件40的外侧部分40a即是接触压电谐振器10的部分最好由限制振动传输的材料制成，使得可以限制振动由压电谐振器10传输到底座32，同时保持用底座32支持压电谐振器10的强度。
图1中所示的压电元件30具有图5所示的阻抗特性和相位特性，以及图6所示的滤波特性。从图5所示的阻抗特性和相位特性看，可以看到由图1所示的压电元件30产生的噪声量大大小于由图23和24所示的压电元件1产生的噪声量。
当温度由25摄氏度变化到30摄氏度时，图1的压电元件30的中心频率增加大约0.5kHz，而图23和24中的压电元件1的中心频率增加大约1.5kHz。相应地，和图23和24的压电元件1相比，图1的压电元件30提供极好的温度特性。
图7描述了图1所示的压电元件的修改。图7所示的压电元件30不同于图1所示的压电元件30，每一个固定件40的外侧部分40a上的其它部分40b形成薄的部分，它的厚度大约与每一个固定件40的外侧部分40a的厚度相同。由此，和图1所示的压电元件30相比，图7所示的压电元件30更薄。
图8说明了在安装根据本发明的另一个较佳实施例的压电元件的压电谐振器之前的状态。图9说明了已经安装好压电元件的压电谐振器后的状态。
图8和9所示的压电元件30不同于图1的压电元件30，每个固定件40的内侧部分40c(即，接触外部电极22和24并位于压电谐振器10沿其纵向的大致中心部分的部分)较好地由诸如氨基甲酸酯或硅酮之类限制振动传输的材料制成，以限制振动通过该固定件40由压电谐振器10传输到底座32上。其不同还在于，内侧部分40c上的其它部分40d较好地由氨基甲酸酯型导电材料，即含大约85wt％Ag的氨基甲酸酯型合成树脂制成。
每一个固定件40的内侧部分40c沿压电谐振器10的纵向的尺寸X1不大于每一个固定件40的上面部分的尺寸X3的大约80％。但是，尺寸X1可以具有其它值。
每一个固定件40的下面部分沿压电谐振器10的纵向的尺寸X2例如等于或者大于大约0.5mm，但是可以具有其它值。
每一个固定件40的上面部分沿压电谐振器10的纵向的尺寸X3较好地等于或小于大约1.5mm，这依赖于使用的安装夹具的类型。但是，尺寸X3可以具有其它值。
每一个固定件40的内侧部分40c的厚度T1是例如大约20μm，但是可以有其它值。
内侧部分40c上的其它部分40d的厚度与固定件40的各个内侧部分40c的厚度之间的差T2等于或大于大约0mm。
每一个固定件40的厚度T3是例如大约200μm，但是可以是其它值。
图8和9所示的压电元件30具有类似于图1所示的压电元件30的优点。
图8和9所示的压电元件30具有图10所示的阻抗特性和相位特性。例如从图10所示的阻抗特性和相位特性可见，由图8和9的压电元件30产生的噪声量大大小于由图23和24所示的压电元件1产生的噪声量。可见，由图1所示的压电元件30产生的噪声大大小于由图8和9的压电元件30产生的噪声。
压电谐振器10沿其纵向的中心部分确定了节点，并且偏移随着离开中心部分距离的增加而增加，从而，和图8和9所示的压电元件30的固定件40相比，图1的压电元件30的固定件40的由限制振动传输的材料制成的部分沿压电谐振器10纵向朝其外侧设置。这非常有效地限制了振动通过固定件40由压电谐振器10传输到底座32。
图11说明了图8和9的压电元件的修改。图11的压电元件30不同于图8和9所示的压电元件30，即，每一个固定件40的内侧部分40c上的其它部分40d的厚度与其相应的内侧部分40c的厚度相同。图11的压电元件30可以做得比图8和9的压电元件30更薄。
图12示出了根据本发明的压电元件的另一个较佳实施例。图12的压电元件30不同于图1的压电元件30，即，每个固定件40的两个外侧部分40e(即接触外部电极22和24以及图案电极36和38并设置得沿压电谐振器10的纵向延伸的部分)较好地由诸如氨基甲酸酯或硅酮之类的限制振动传输的材料制成，以限制振动通过每个固定件40由压电谐振器10传输到底座32。每一个固定件40剩余的内侧部分40f较好地由环氧型导电材料，即含Ag的环氧型合成树脂或其它适当的材料制成。
每一个固定件40的外侧部分40e之间沿压电谐振器10的纵向的尺寸X1是例如大约0.3mm到大约0.5mm(这是压电谐振器10的长度的大约7.5％到大约12.5％)，或等于或小于大约1.0mm(这等于或者小于压电谐振器10的长度的大约25％)。尺寸X1可以具有其它值。尺寸X1的下限由外部电极22和24与图案电极36和38之间的导电率确定。
每一个固定件40沿压电谐振器10的纵向的尺寸X2大于尺寸X1。从强度的角度考虑，尺寸X2是例如等于或大于大约0.8mm(它等于或大于压电谐振器10的长度的大约20％)。尺寸X2可以具有其它值。
每一个固定件40的厚度T1为大约20μm到大约100μm，但是可以具有其它值。
两个固定件40在它们的内侧部分40f(较好地，由环氧型导电材料制成)粘接到底座32上的两个图案电极36和38。
图12的压电元件30具有类似于图1的压电元件30的优点，并可以制得薄。
在生产图12的压电元件30的过程中，不需要在形成固定件40后印刷导电膏的步骤，从而几乎不发生由于导电膏移动到固定件40上引起的特性变化以及在限制振动传输中效果减小的问题。
图13说明了在安装用于图12的压电元件的修改中的压电谐振器之前的状态。图14示出已经安装好图13的修改的压电元件中使用的压电谐振器之后的状态。图13和14中所示的压电元件30不同于图12的压电元件30，即，每一个固定件40的内侧部分40f较好地由含Ag的氨基甲酸酯型导电材料，即含Ag的氨基甲酸酯型合成树脂制成，其厚度大于由限制振动传输的材料制成的外侧部分40e的厚度，以便覆盖外侧部分40e。使用包含环氧型导电材料的导电膏42，将固定件40粘接到两个电极图案36和38，从而由此粘接固定件40的内侧部分40f。
在这种情况下，导电膏42与压电谐振器10的外部电极22和外部电极24之间的厚度T是例如在大约50μm(即和固定件40的外侧部分40e的厚度相同)的范围内。
导电膏42的厚度最好是例如大约80μm。
图13和14所示的压电元件30具有类似于图12的压电元件30的优点。
图15示出当每一个固定件40的外侧部分40e和40e之间的尺寸L是大约0.314mm时，图13和14所示的压电元件30具有的阻抗特性和相位特性。图16示出当尺寸L是大约0.361mm时图13和14所示的压电元件30具有的阻抗特性和相位特性。
图17说明了安装图12的压电元件的另一个修改的压电谐振器之前的状态。图18示出已经安装好图17的压电元件的压电谐振器之后的状态。在图17和18所示的压电元件30中，每一个固定件40的内侧部分40g较好地由诸如氨基甲酸酯或硅酮之类的限制振动传输的材料制成，并且每一个固定件40的外侧部分40h由氨基甲酸酯型导电材料，即含有大约85wt％Ag的氨基甲酸酯型合成树脂制成，以便覆盖每一个固定件40的内侧部分40g。较好地，固定件40通过由含Ag的环氧型导电材料或环氧型合成树脂制成的导电膏42粘接到两个电极图案36和38，并设置得覆盖每一个固定件40的外侧部分40h。
在这种情况下，导电膏42和压电谐振器10的外部电极22和24之间的厚度T是例如在大约50μm的范围内，这大约是固定件40的内侧部分40g的厚度。
导电膏42的厚度是例如大约80μm。
图17和18所示的压电元件30具有类似于图12的压电元件30的优点。
图19示出了当每一个固定件40的上面部分处的外侧部分40h沿压电谐振器10的纵向的尺寸(L1+L2)是大约0.309mm时，图17和18所示的压电元件30实现的阻抗特性和相位特性。图20示出当尺寸(L1+L2)是大约0.322mm时由压电元件30实现的阻抗特性和相位特性。
从图15、16、19和20说明的阻抗特性和相位特性，可见图13和14所示的压电元件30产生比图17和18所示的压电元件30更少的噪声量。
虽然在上述压电元件30中，使用具有图21所示的具体结构的压电谐振器10，但是还可以使用诸如单个的、平板形状的压电谐振器之类的不同结构的压电谐振器。
虽然上述每个压电元件30的每个部分最好具有特定的尺寸和形式，但是它可以用其它尺寸和形式构成。
虽然上述每一个压电元件30中，将具体的材料用作固定件40和导电膏42的材料，但是还可以使用其它材料。
虽然已经参照本发明的较佳实施例具体示出和描述了本发明，但是熟悉本领域的人将知道，在不背离本发明的主旨的条件下可以有上述和其它形式和细节上的变化。
权利要求
1.一种压电谐振器设备，其特征在于包含压电谐振器；设置得将所述压电谐振器支持在其上的支持结构；设置在所述压电谐振器和所述支持结构之间，并设置得将所述压电谐振器固定在所述支持结构上的固定件；其中所述固定件接触所述压电谐振器的部分由限制振动传输的材料制成，用于限制振动通过所述固定件从所述压电谐振器传输到所述支持结构。
2.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于压电谐振器构成得以纵向振动模式振动。
3.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于固定件接触压电谐振器的部分是所述固定件的外侧部分。
4.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于固定件接触压电谐振器的部分是所述固定件的内侧部分。
5.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于固定件从其接触压电谐振器的部分延伸到所述固定件位于支持结构一侧的部分的那部分由限制振动传输的材料制成。
6.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于限制振动传输的材料包含氨基甲酸酯和硅铜中的至少一种。
7.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于支持结构是一个底座，并且在所述底座上设置外罩以便覆盖压电谐振器。
8.如权利要求7所述的压电谐振设备，其特征在于还包含多个压电谐振器。
9.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于，较好地在支持结构相对的边缘上各形成两个凹口，并在支持结构的一个表面上设置两个图案电极。
10.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于通过固定件将压电谐振器固定在支持结构的大致中心部分。
11.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于压电谐振器包含外部电极，并且压电谐振器的所述外部电极的大致中心部分设置有两个固定件。
12.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于固定件的外侧部分上的其它部分由氨基甲酸酯型导电材料制成。
13.如权利要求12所述的压电谐振设备，其特征在于氨基甲酸酯型导电材料包含含大约85wt％Ag的氨基甲酸酯型合成树脂与含从大约80wt％到不大于大约85％Ag的氨基甲酸酯型合成树脂中的一种。
14.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于还包含多个固定件，并且每一个所述固定件的外侧部分之间沿压电谐振器纵向的尺寸X1在大约0.3mm到大约1.0mm之间。
15.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于还包含多个固定件，并且其中并且其中每一个所述固定件的下面部分沿压电谐振器纵向的尺寸X2等于或大于大约0.5mm。
16.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于还包含多个固定件，每一个所述固定件的上面部分沿压电谐振器的纵向的尺寸X3等于或小于大约1.5mm。
17.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于还包含多个固定件，并且其中每一个固定件40的厚度T3是大约200μm。
18.如权利要求1所述的压电谐振设备，其特征在于还包含多个固定件，并且其中压电谐振器包括外部电极，支持结构包括图案电极，所述固定件通过由环氧型导电材料制成的导电膏粘接到所述支持结构上的图案电极。
19.如权利要求18所述的压电谐振设备，其特征在于压电谐振器的外部电极通过固定件电气连接到支持结构上的图案电极。
20.一种压电谐振器设备，其特征在于包含至少一个压电谐振器；其上安装有所述压电谐振器的支持结构；设置在所述压电谐振器和所述支持结构之间，并设置得将所述压电谐振器固定在所述支持结构上的固定件；其中，所述固定件接触所述压电谐振器的部分由限制振动传输的材料制成，以限制振动通过所述固定件从所述压电谐振器传输到所述支持结构，并且所述固定件的另一部分由氨基甲酸酯型导电材料制成。
全文摘要
本发明揭示了一种压电谐振器支持结构,它通过连接件将压电谐振器支持在支持件处。这种压电谐振器适合于以纵向振动模式振动。固定件接触压电谐振器的一部分由限制振动传输的材料制成,用于限制振动通过连接件从压电谐振器传输到支持件。
文档编号H03H9/10GK1270446SQ0010494
公开日2000年10月18日 申请日期2000年3月29日 优先权日1999年3月30日
发明者草开重雅, 山崎武志, 小杉裕二, 久保键 申请人:株式会社村田制作所