专利名称：水晶装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及具有形成有贯通部的AT切割的水晶框架的水晶装置。
背景技术：
已知有具有水晶框架的水晶装置，其中水晶框架具有通过施加电压而振动的振动部和包围振动部的框部。这种水晶装置通过在晶片上形成多个水晶框架来一次性地大量制造。水晶框架通过形成贯通晶片的贯通部而形成振动部和框部。另外，在振动部上形成使振动部振动的励振电极，在框部上形成有与励振电极连接的引出电极。虽然这些电极通过喷镀等方法形成，但是存在如下情况，因喷镀时掩膜的错位等使金属粒子通过贯通部扩散并在不打算喷镀的部位形成电极。为了对应这种掩膜的错位，最好在贯通部设置用于防止金属粒子扩散的遮蔽部。作为遮蔽部例如可以考虑如专利文件I(日本特开 2010-147627号公报)所公开的形成于框部的贯通部侧的侧面上的凸部。但是，由于专利文献I公开的水晶振动片仅在形成于框部上的凸部上形成引出电极，因此使引出电极的表面面积变小。因此，可设想引出电极的电阻值变高，振动部的振动特性恶化。
发明内容
因此，本发明提供一种水晶装置，该水晶装置在框部的贯通部侧的侧面形成凸部， 使得在不必要的部分不形成电极，并且在框部的表面形成引出电极，使电阻值降低。第一观点的水晶装置包括水晶框架及底部，其中该水晶框架具有利用形成于两主面上的一对励振电极进行振动的水晶振动部、包围水晶振动部的由四个边构成的矩形形状的框部、以及连结水晶振动部与框部中的第一边或该第一边的端部附近的连结部，该底部与框部接合，并且在第一边侧和与该第一边对置的第二边侧具有向励振电极施加电压的一对外部电极；在框部的与第一边交叉的第三边上形成有与水晶振动部的两主面平行的第一平面、第一平面的相反侧的第二平面、与第一平面连接的第一斜面或与第二平面连接的第二斜面、以及包含第一斜面或第二斜面并向水晶振动部侧突出的凸部；在水晶框架的框部上具备第一引出电极及第二引出电极，其中，该第一引出电极从一对励振电极的一方经由连结部而与形成在底部的第一边侧的外部电极连接，该第二引出电极从一对励振电极的另一方经由连结部和框部的第三边的第一平面及凸部的第一斜面或者框部的第三边的第二平面及凸部的第二斜面而与形成在底部的第二边侧的外部电极连接。第二观点的水晶装置，在第一观点的前提下，AT切割的水晶框架包含形成在水晶振动部与框部之间并贯通AT切割的水晶框架的贯通部，第二引出电极通过贯通部的一部分从第一平面引出至第二平面或者从第二平面引出至第一平面。第三观点的水晶装置，在第二观点的前提下，贯通部具有由连结部、框部的第一边、第二边以及第三边中俄任意两个形成直角以下的角度的角部，第二引出电极通过的贯
3通部的一部分包含角部。第四观点的水晶装置，在第一观点至第三观点的前提下，AT切割的水晶框架将长度方向规定为X轴，将厚度方向规定为Y’轴，将短边方向规定为Z’，框部通过湿刻而形成, 框部的第一边及第二边向V轴方向延伸，第三边向X轴方向延伸。根据本发明，能够提供在框部的贯通部侧的侧面形成凸部，使得在不必要的部分不形成电极，并且使引出电极的电阻值降低的水晶装置。
图I是水晶装置100的分解立体图。图2是图I的A-A剖视图。图3(a)是水晶框架110的俯视图。图3 (b)是图3 (a)的B-B剖视图。图3(c)是图3(a)的C-C剖视图。图4是表示水晶装置100的制造方法的流程图。图5是水晶晶片Wl 10的俯视图。图6是表示水晶晶片WllO的制造方法的流程图。图7是表示水晶晶片WllO的制造方法的流程图。图8是表示水晶晶片WllO的制造方法的流程图。图9是盖部晶片W120的俯视图。图10是底部晶片W130的俯视图。图11是水晶装置200的概略分解立体图。图12(a)是水晶框架210的俯视图。图12 (b)是图12 (a)的D-D剖视图。图12 (C)是图12 (a)的E-E剖视图。图13(a)是水晶框架310的俯视图。图13 (b)是水晶框架410的俯视图。图中100-水晶装置，110、210、310、410_水晶框架，111-水晶振动部，112-框部，112a 112d-第一边 第四边，113-贯通部，114-励振电极，115a、215a、315a、415a-第一引出电极，115b、215b、315b、415b-第二引出电极，116-台面部，117、317、417_ 连结部，118-凸部， 118a-第一斜面，118b-第二斜面，119a-第一平面，119b_第二平面，120-盖部，121、132_接合面，130-底部，131-凹部，133-外部电极，134-侧槽，135-电极垫片，136-侧槽电极， 161-第一掩膜，162-第二掩膜，163-第三掩膜，164a、164b_第四掩膜，180-金属膜，181-抗蚀剂膜，190-包含紫外线的光，WllO-水晶晶片，W120-盖部晶片，W130-底部晶片。
具体实施例方式以下，基于附图详细地说明本发明的实施方式。此外，在以下的说明中，只要没有特别限定本发明的宗旨，本发明的范围就不限于这些实施方式。(第一实施方式)
<水晶装置100的结构>图I是水晶装置100的概略分解立体图。水晶装置100是表面实装型的水晶装置，实装在印制电路板等而使用。水晶装置100主要由水晶框架110、盖部120、底部130构成。在水晶框架110上使用AT切割的水晶材料。AT切割的水晶材料是主面(YZ面)相对于晶轴(XYZ)的Y轴以X轴为中心从Z轴向Y轴方向倾斜了 35度15分。在以下说明中， 以AT切割的水晶材料的轴方向为基准，将倾斜的新轴用作Y’轴及Z’轴。即，在水晶装置 100中，将水晶装置100的长边方向为X轴方向，将水晶装置100的高度方向为Y’轴方向， 将与X轴及Y’轴垂直的方向为Z’轴方向进行说明。水晶框架110具有通过电压的施加而振动的水晶振动部111 ;以包围水晶振动部111的方式形成的框部112 ;以及连结水晶振动部111与框部112的一对连结部117。另外，在水晶振动部111与框部112之间形成在Y’轴方向上贯通水晶框架110的贯通部113。 以下，将框部112的-X轴侧的边设为第一边112a，将框部112的+X轴侧的边设为第二边 112b，将框部112的+Z’轴侧的边设为第三边112c，将-V轴侧的边设为第四边112d进行说明。此外，水晶振动部111通过一对连结部117与框部112的第一边112a连结。在水晶振动部111的+Y’轴侧的面与-Y’轴侧的面上形成有一对励振电极114。另外，水晶框架 110具有与-Y’轴侧的励振电极114连接并通过一侧的连结部117而形成至框部112的第一边112a的-Z’轴侧的角落的第一引出电极115a。再有，水晶框架110具有与+Y’轴侧的励振电极114连接并通过另一侧的连结部117且经由贯通部113而从水晶框架110的+Y’ 轴侧的面向-Y’轴侧的面引出的第二引出电极115b。另外，第二引出电极115b在水晶框架 110的-Y’轴侧的面中通过框部112的第一边112a及第三边112c而形成至第二边112b的 +Z’轴侧的角落。盖部120在+Y’轴侧的面及-Y’轴侧的面上形成没有凹凸的平板状，配置在水晶框架Iio的+Y’轴侧。在盖部120的-Y’轴侧的面上形成有与水晶框架110的框部112接合的接合面121。底部130配置在水晶框架110的-Y’轴侧。在底部130的+Y’轴侧的面上形成有凹部131及接合面132。另外，在底部130的+Y’轴侧的面的四角形成有电极垫片135。底部130的-Y’轴侧的面的+X轴侧及-X轴侧形成有一对外部电极133。另外，在底部130的四角形成有侧槽134，侧槽134上形成有侧槽电极136。各侧槽电极136分别电连接形成于 +Y’轴侧的面上的电极垫片135和形成于-Y’轴侧的面上的外部电极133。图2是图I的A-A剖视图。水晶装置100在水晶框架110的+Y’轴侧配置盖部 120，在-Y’轴侧配置底部130。盖部120的接合面121及底部130的接合面132与水晶框架110的框部112利用封装材料140进行接合。另外，形成于水晶框架110上的第一引出电极115a及第二引出电极115b与形成于底部130的+Y’轴侧的面上的电极垫片135连接。因此，形成于水晶框架110上的励振电极114经由第一引出电极115a或第二引出电极 115b、电极垫片135及侧槽电极136与形成在底部130上的外部电极133电连接。如图2所示，在水晶框架110中，由于水晶振动部111的+Y’轴侧的面比框部112 的+Y’轴侧的面更向-Y’轴侧凹进而形成，因此框部112比水晶振动部111在Y’轴方向上形成得更厚。另外，水晶振动部111形成中心比外周在Y’轴方向更厚的台面型形状。励振电极114形成在水晶振动部111的厚度加厚的台面部116。
图3(a)是水晶框架110的俯视图。水晶框架110具备水晶振动部111、框部112 及连结水晶振动部111与框部112的连结部117。另外，在水晶振动部111与框部112之间形成有贯通部113。水晶振动部111形成台面型，分别在形成得比外周更厚的台面部116 的+Y’轴侧的面和-Y’轴侧的面上形成有励振电极114。另外，在各励振电极114上连接有第一引出电极115a和第二引出电极115b。在框部112的水晶振动部111侧形成有朝向水晶振动部111突出的凸部118。形成于框部112的第三边112c上的第二引出电极115b 还形成在凸部118的一部分。另外，第二引出电极115b经由虚线191所包围的贯通部113 的-X轴侧端部从+Y’轴侧的面引出至-Y’轴侧的面。如虚线191所包围的部分所示，第一边112a与第二边112b交叉而形成的第一角部113a、以及连结部117与第一边112a交叉而形成的第二角部113b以直角以下的角度形成，尤其是凸部较大地突出而形成。因此，在第一角部113a及第二角部113b中，容易在贯通部113的侧面形成作为电极的金属膜，在将电极从+Y’轴侧的面引出至-Y’轴侧的面的情况下，最好使其经由贯通部113。图3(b)是图3(a)的B-B剖视图。将框部112的+Y’轴侧的面设为第一平面119a， 将-Y’轴侧的面设为第二平面119b。另外，将与第二平面11%连结的凸部118的斜面设为第二斜面118b。第二引出电极115b形成在第二平面119b上，另外形成在第二斜面118b 的一部分上。图3 (C)是图3(a)的C-C剖视图。第二引出电极115b经由贯通部113的第一角部113a及第二角部113b从+Y’轴侧的面引出至-Y’轴侧的面。这是因为，在贯通部113 的第一角部113a及第二角部113b中，凸部较大地突出而形成，容易在贯通部113的侧面形成作为电极的金属膜。<水晶装置100的制造方法>图4是表示水晶装置100的制造方法的流程图。首先，在步骤SlOl中，准备水晶晶片W110。水晶晶片WllO由AT切割的水晶材料形成，在水晶晶片WllO上形成多个水晶框架110。参照图5对水晶晶片WllO进行说明，另外参照图6至图8对水晶晶片WllO的制造方法进行说明。图5是水晶晶片WllO的俯视图。在水晶晶片WllO上形成有多个水晶框架110。 在图5中，用双点划线表示邻接的水晶框架110的边界线。该边界线在以后说明的图4的步骤S105中作为切断晶片的线的切断线170。在各水晶框架110上形成有水晶振动部111、框部112、贯通部113及连结部117。另外，在水晶振动部111的+Y’轴侧的面和-Y’轴侧的面上形成有励振电极114，各励振电极114分别与第一引出电极115a或第二引出电极115b 连接。图6至图8是表示水晶晶片WllO的制造方法的流程图。参照图6至图8对水晶晶片WllO的制造方法、尤其是水晶振动部111及贯通部113的形成方法进行说明。在图6至图8中，在流程图的右侧表示用于说明各步骤的图。另外，图6至图8是相当于图5的F-F 截面的位置的剖视图。首先，在图6的步骤S201中，准备AT切割的水晶晶片W110。图6(a)是在步骤 S201中准备的AT切割的水晶晶片WllO的剖视图。水晶晶片WllO在+Y，轴侧的面及-Y’ 轴侧的面上具有主面，两主面形成没有凹凸的平面。在步骤S202中，在水晶晶片WllO的两面依次形成金属膜180及抗蚀剂膜181。图6(b)是形成有金属膜180及抗蚀剂膜181的水晶晶片WllO的剖视图。金属膜180在水晶晶片WllO的+Y’轴侧的面与-Y’轴侧的面上形成铬(Cr)层(未图示)，在铬层的表面形成金(Au)层(未图示)。另外，在金属膜180的表面形成抗蚀剂膜181。抗蚀剂膜181例如使用相对于显像液能够提高溶解性的正向型的抗蚀剂膜。在步骤S203中，对抗蚀剂膜181进行曝光及显像，并除去金属膜180。在步骤S203 中，除去形成于框部122以外(对应于图3(a)的水晶振动部111及贯通部113)的+Y’轴侧的面上的金属膜180及抗蚀剂膜181。图6(c)是对抗蚀剂膜181进行曝光及显像，并除去了金属膜180的水晶晶片WllO的剖视图。在步骤S203中，首先将第一掩膜161配置在水晶晶片WllO的+Y’轴侧的面上。第一掩膜161以与形成框部112的位置的+Y’侧重叠的方式形成。配置了第一掩膜161之后在水晶晶片WllO的+Y’轴侧的面上照射包含紫外线190的光，从而对抗蚀剂膜181进行曝光。再有，将抗蚀剂膜181浸在显像液(未图示) 内进行显像，对露出的金属膜180进行蚀刻而除去。在步骤S204中，对水晶晶片WllO进行湿刻，使得水晶振动部111(参照图3(a)) 的厚度变薄。图6(d)是局部被较薄地蚀刻的水晶晶片WllO的剖视图。在步骤S204中，水晶晶片WllO的框部112以外的+Y’轴侧的面被湿刻而形成得比框部112更薄。就水晶材料而言，在晶轴的X轴、Y轴及Z轴上蚀刻速度不同。因此，就AT切割的水晶材料而言，在X 轴、Y’轴及Z’轴上蚀刻速度也不同，水晶晶片WllO各向异性地被蚀刻。如图6(d)的虚线所包围的区域171a及171b所示，水晶晶片WllO相对于主面而倾斜地被蚀刻。其次，在图7的步骤S205中，在水晶晶片WllO的两面依次形成金属膜180及抗蚀剂膜181。在步骤S205中，除去步骤S204之后残留的金属膜180及抗蚀剂膜181，重新形成用于在水晶振动部111上形成台面部116(参照图2)的金属膜180及抗蚀剂膜181。图 7(a)是在步骤S205形成金属膜180及抗蚀剂膜181的水晶晶片WllO的剖视图。金属膜 180及抗蚀剂膜181形成于整个水晶晶片WllO的+Y’轴侧的面及-Y’轴侧的面上。在步骤S206中，进行抗蚀剂膜181的曝光及显像，并进行金属膜180的除去。在步骤S206中，除去形成框部112及水晶振动部111的台面部116 (参照图2)的区域以外的金属膜180及抗蚀剂膜181。图7(b)是在步骤S206中对抗蚀剂膜181进行曝光及显像且除去了金属膜180的水晶晶片WllO的剖视图。在图7(b)中，除去形成于水晶振动部111 的外周及贯通部113(参照图3(a))的+Y’轴侧及-Y’轴侧的面上的金属膜180及抗蚀剂膜181。在步骤S206中，首先将第二掩膜162配置在水晶晶片WllO的+Y，轴侧及-Y’轴侧的面上。第二掩膜162以与形成有框部112及台面部116 (参照图2)的位置重叠的方式形成。配置了第二掩膜162之后在水晶晶片WllO的+Y’轴侧及-Y’轴侧的面上照射包含紫外线190的光，从而对抗蚀剂膜181进行曝光。再有，将抗蚀剂膜181浸在显像液(未图示)内进行显像，对露出的金属膜180进行蚀刻而除去。在步骤S207中，水晶振动部111形成台面型。在步骤S207中，以水晶晶片WllO 的水晶振动部111的外周的厚度变薄的方式进行湿刻。图7(C)是在步骤S207中水晶振动部111的外周的厚度变薄的水晶晶片WllO的剖视图。在步骤S207中，水晶晶片WllO的贯通部113 (参照图3(a))及水晶振动部111的外周的+Y’轴侧及-Y’轴侧的面被湿刻而在水晶振动部111上形成台面部116。在步骤S208中，在水晶晶片WllO的两面依次形成金属膜180及抗蚀剂膜181。在步骤S208中，除去步骤S207之后残留的金属膜180及抗蚀剂膜181，重新形成用于形成贯通部113(参照图3(a))的金属膜180及抗蚀剂膜181。图7 (d)是在步骤S208形成金属膜180及抗蚀剂膜181的水晶晶片WllO的剖视图。金属膜180及抗蚀剂膜181形成于整个水晶晶片WllO的+Y’轴侧的面及-Y’轴侧的面上。其次，在图8的步骤S209中，进行抗蚀剂膜181的曝光及显像，并进行金属膜180 的除去。在步骤S209中，除去贯通部113(参照图3(a))的+Y’轴侧及-Y’轴侧的面上的金属膜180及抗蚀剂膜181。图8(a)是在步骤S209中对抗蚀剂膜181进行曝光及显像且除去了金属膜180的水晶晶片WllO的剖视图。在图8(a)中，除去形成于贯通部113 (参照图3(a))的+Y’轴侧及-Y’轴侧的面上的金属膜180及抗蚀剂膜181。在步骤S209中，首先将第三掩膜163配置在水晶晶片WllO的+Y’轴侧及-Y’轴侧的面上。第三掩膜163是覆盖贯通部113(参照图3(a))以外的区域的掩膜。配置了第三掩膜163之后在水晶晶片 WllO的+Y’轴侧及-Y’轴侧的面上照射包含紫外线190的光，从而对抗蚀剂膜181进行曝光。再有，将抗蚀剂膜181浸在显像液(未图示)内进行显像，对露出的金属膜180进行蚀刻而除去。在步骤S210中，通过对水晶晶片WllO进行湿刻而形成贯通部113。图8 (b)是在步骤S210中形成了贯通部113的水晶晶片WllO的剖视图。由于水晶晶片WllO因AT切割的水晶材料的各向异性而相对于主面倾斜地被蚀刻，因此在贯通部113的侧面形成凸部 118。在步骤S211中，在水晶晶片WllO上形成励振电极114、第一引出电极115a(参照图3(a))及第二引出电极115b。在步骤S211中，首先除去步骤S210之后残留的金属膜180 及抗蚀剂膜181。另外，通过第四掩膜164a及第四掩膜164b形成励振电极114、第一引出电极115a(参照图3(a))及第二引出电极115b。图8 (c)是通过步骤S211形成了励振电极 114、第一引出电极115a(参照图3(a))及第二引出电极115b的水晶晶片WllO的剖视图。 第四掩膜164a以形成于水晶框架110的+Y’轴侧的面上的电极的形状具有开口，并且通过配置在水晶晶片WllO的+Y’轴侧的面上而使用。第四掩膜164b以形成于水晶框架110 的-Y’轴侧的面上的电极的形状具有开口，并且通过配置在水晶晶片WllO的-Y’轴侧的面上而使用。励振电极114、第一引出电极115a (参照图3(a))及第二引出电极115b与在步骤S202中说明的金属膜180相同地将铬层及金层通过第四掩膜164a及第四掩膜164b而形成在水晶晶片WllO上。回到图4，在步骤S102中，准备盖部晶片W120。在盖部晶片W120上形成多个盖部 120。盖部晶片W120由水晶材料或玻璃材料等形成。参照图9对盖部晶片W120进行说明。图9是盖部晶片W120的俯视图。在盖部晶片W120上形成有多个盖部120。在图 9中，在相邻的盖部120的边界表示作为切断线170的双点划线。各盖部120在形成于-Y’ 轴侧的面上的接合面121与水晶振动片110的框部112接合。在步骤S103中，准备底部晶片W130。在底部晶片W130上形成有多个底部130。底部晶片W130例如由水晶材料或玻璃材料形成。参照图10对底部晶片W130进行说明。图10是底部晶片W130的俯视图。在底部晶片W130上形成有多个底部130。在图 10中，在相邻的底部130的边界表示作为切断线170的双点划线。在各底部130的-Y’轴侧的面上形成有外部电极133，在+Y’轴侧的面上形成电极垫片135。另外，在向X轴方向
8延伸的切断线170与向Z’轴方向延伸的切断线170交叉的部位形成有在Y’轴方向上贯通底部晶片W130的贯通孔134a。贯通孔134a在后面说明的步骤S105中切断晶片而成为侧槽134 (参照图I)。在贯通孔134a的内壁形成有侧槽电极136 (参照图I)，外部电极133 与电极垫片135被电连接。另外，在底部130的+Y’轴侧的面上形成有凹部131，并且以包围凹部131的方式形成有接合面132。在步骤S104中，相互接合水晶晶片W110、盖部晶片W120及底部晶片130。切断是沿着图5、图9及图10所示的切断线170进行。由此，水晶装置100如图I所示地成为单体。在水晶装置100中，通过在框部112上形成凸部118，能够防止第二引出电极115b 形成在不打算形成的部位。例如，在图8(c)中，即使在第四掩膜164b向-Z’轴方向稍微错开的情况下，也可以通过形成凸部118防止第二引出电极115b形成在整个框部112的第三边112c的侧面。另外，由于凸部118利用AT切割的水晶材料的各向异性而形成，因此不需要用于形成凸部118的特别的工序。另外，由于第二引出电极115b形成在框部112的第三边112c的第二平面119b上，因此能够降低电阻值。(第二实施方式)在水晶装置100中，虽然第二引出电极115b经由框部112的第三边112c的第二平面119b从第一边112a引出至第二边112b，但是也可以经由第一平面119a从第一边112a 引出至112b。以下，对第二引出电极经由第一平面119a从第一边112a引出至第二边112b 的水晶装置200进行说明。另外，在以下的说明中，在与水晶装置100相同的部分标上相同的符号并省略其说明。<水晶装置200的结构>图11是水晶装置200的概略分解立体图。水晶装置200是表面实装型水晶装置， 实装在印制电路板等上而使用。水晶装置200主要由水晶框架210、盖部120及底部130构成。水晶框架210具备水晶振动部111、框部112及连结部117，并且形成有在Y’轴方向上贯通水晶框架210的贯通部113。再有，在水晶振动部111上形成有一对励振电极 114。另外，一对励振电极114与通过一对连结部117形成至框部112的角落的第一引出电极215a及第二引出电极215b连接。第一引出电极215a从-Y’轴侧的励振电极114通过一个连结部117而形成至框部112的第一边112a的-Y’轴侧的面的+Z’轴侧的角落。另外， 第二引出电极215b从+Y’轴侧的励振电极114通过另一个连结部117及框部112的第四边112d而在第二边112b及第四边112d交叉的贯通部113的第三角部113c上从+Y’的面引出至-Y’轴侧的面，形成至框部112的第二边112b的-Y’轴侧的面的-V轴侧的角落。水晶装置200通过水晶框架210夹持并接合在盖部120及底部130上而形成。另外，通过水晶框架210与盖部120的相互接合，使底部130的外部电极133与第一引出电极 215a及第二引出电极215b连接，外部电极133与励振电极114被电连接。图12(a)是水晶框架210的俯视图。水晶框架210具备水晶振动部111、框部112 及连结部117，并且在水晶振动部111与框部112之间形成有贯通部113。在水晶振动部111 的台面部116的+Y’轴侧的面和-Y’轴侧的面上分别形成有励振电极114。从形成于水晶振动部111的-Y’轴侧的面上的励振电极114(未图示)引出的第一引出电极215a从形成于-Y’轴侧的面上的励振电极114经由一侧的连结部117而引出至框部112的第一边112a 上，并且形成至第一边112a的+Z’轴侧的角落。另外，从形成于水晶振动部111的+Y’轴侧的面上的励振电极114引出的第二引出电极215b从形成于+Y’轴侧的面上的励振电极 114经由另一侧的连结部117而引出至框部112的第一边112a，并且通过第四边112d在第二边112b与第四边112d交叉的贯通部113的第三角部113c (虚线192)上从+Y’轴侧引出至-Y’轴侧，并形成至第四边112d的+X轴侧的角落。图12(b)是图12(a)的D-D剖视图。在作为框部112的+Y’轴侧的面的第一平面 119a和作为与第一平面119a连接的凸部118的斜面的第一斜面118a的一部分形成有第二引出电极215b。图12(c)是图12(a)的E-E剖视图。第二引出电极215b在第二边112b与第四边 112d交叉的贯通部113的角部从+Y’轴侧引出至-Y’轴侧。另外，在该角部上，凸部118较大地突出而形成，并容易在框部112的侧面形成金属膜。另外，由于第二引出电极215b形成在框部112的第四边112d的第一平面119a上，因此能够降低电阻值。(第三实施方式)水晶框架的一对连结部最好形成在框部112的第一边112a与第三边112c交叉的贯通部113的角部以及第一边112a与第四边112d交叉的贯通部113的角部。另外，最好与框部112的第三边112c与第四边112d连接而形成。以下，对在框部112的第一边112a 与第三边112c交叉的贯通部113的角部以及第一边112a与第四边112d交叉的贯通部113 的角部形成有连结部的水晶框架310、和在框部112的第三边112c和第四边112d上形成有连结部的水晶框架410进行说明。另外，在以下的说明中，其结构与水晶框架110相同的部分标上相同的符号并省略其说明。<水晶框架310的结构>图13(a)是水晶框架310的俯视图。水晶框架310具备水晶振动部111、框部112 及连结水晶振动部111与框部112的一对连结部317，在水晶振动部111与框部112之间形成有贯通部313。一对连结部317中的一个连结框部112的第一边112a及第四边112d交叉的贯通部313的角部与水晶振动部111的-X轴方向的-Z’轴侧的端部。一对连结部317 中的另一个连结框部112的第一边112a及第三边112c交叉的贯通部313的角部与水晶振动部111的-X轴方向的+Z’轴侧的端部。水晶振动部111的台面部116的+Y’轴侧的面与-Y’轴侧的面上分别形成有励振电极114。从形成于水晶振动部111的-Y’轴侧的面上的励振电极114(未图示)引出的第一引出电极315a从形成于-Y’轴侧的面上的励振电极 114经由一侧的连结部317而引出至框部112的第一边112a上的-Z’轴侧的角落。另外， 从形成于水晶振动部111的+Y’轴侧的面上的励振电极114引出的第二引出电极315b从形成于+Y’轴侧的面上的励振电极114在另一侧的连结部317与第三边112c交叉的贯通部313的角部(虚线193)上从+Y’轴侧的面引出至-Y’轴侧的面，并通过框部112的第三边112c形成至第二边112b的+Z’轴侧的角落。水晶框架310使连结部317与框部112的第三边112c或第四边112d以直角以下的角度连接，形成于连结部317与框部112之间的凸部118大于形成在框部112的各边上的凸部118地突出而形成。因此，在形成于连结部317与框部112之间的凸部118上容易在框部的侧面形成电极。另外，由于第二引出电极315b形成在框部112的第三边112c的第二平面119b，因此能够降低电阻值。<水晶框架310的结构>图13(b)是水晶框架410的俯视图。水晶框架410具备水晶振动部111、框部112 及连结水晶振动部111与框部112的一对连结部417，在水晶振动部111与框部112之间形成有贯通部413。一对连结部417连结水晶振动部111与框部112的第三边112c，连结水晶振动部111与框部112的第四边112d。水晶振动部111的台面部116的+Y’轴侧的面与-Y’轴侧的面上分别形成有励振电极114。从形成于水晶振动部111的-Y’轴侧的面上的励振电极114 (未图不)引出的第一引出电极415a从形成于-Y’轴侧的面上的励振电极114经由一侧的连结部417而引出至框部112的第三边112c上，并且形成至第一边112a 的+Z’轴侧的角落。另外，从形成于水晶振动部111的+Y’轴侧的面上的励振电极114引出的第二引出电极415b从形成于+Y’轴侧的面上的励振电极114经由另一侧的连结部417 引出至框部112的第四边112d上，并在第二边112b与第四边112d交叉的贯通部413的角部(虚线194)上从+Y’轴侧的面引出至-Y’轴侧的面，并形成至第二边112b的-Z’轴侧的角落。水晶框架410使连结部417与框部112的第三边112c或第四边112d以直角以下的角度连接，形成于连结部417与框部112之间的凸部118大于形成在框部112的各边上的凸部118地突出而形成。因此，在形成于连结部417与框部112之间的凸部118上容易在框部的侧面形成电极。另外，由于第二引出电极415b形成在框部112的第四边112d的第一平面119a，因此能够降低电阻值。以上，虽然详细地对本发明的最优的实施方式进行了说明，但是在本领域技术人员清楚的前提下，本发明可以在其技术范围内对实施方式施加各种变更、变形而实施。例如，虽然在上述实施例的水晶振动片的制造方法中，形成正向型抗蚀剂膜而形成水晶振动部及贯通部，但是也可以使用负向型抗蚀剂膜。由于负向型抗蚀剂膜具有若被曝光则对显像液的溶解性降低的性质，因此使用的曝光用掩膜覆盖希望进行蚀刻的部位。
权利要求
1.一种水晶装置，其特征在于，包括AT切割的水晶框架，该AT切割的水晶框架具有利用形成于两主面上的一对励振电极进行振动的水晶振动部、包围上述水晶振动部的由四个边构成的矩形形状的框部、以及连结上述水晶振动部与上述框部中的第一边或该第一边的端部附近的连结部；以及底部，该底部与上述框部接合，并且在上述第一边侧和与该第一边对置的第二边侧具有向上述励振电极施加电压的一对外部电极；在上述框部的与上述第一边交叉的第三边上形成有与上述水晶振动部的两主面平行的第一平面、上述第一平面的相反侧的第二平面、与上述第一平面连接的第一斜面或与上述第二平面连接的第二斜面、以及包含上述第一斜面或第二斜面并向上述水晶振动部侧突出的凸部，在上述水晶框架的上述框部上具备第一引出电极及第二引出电极，其中，该第一引出电极从上述一对励振电极的一方经由上述连结部而与形成在上述底部的上述第一边侧的上述外部电极连接，该第二引出电极从一对励振电极的另一方经由上述连结部和上述框部的上述第三边的上述第一平面及上述凸部的第一斜面或者上述框部的上述第三边的上述第二平面及上述凸部的上述第二斜面而与形成在上述底部的上述第二边侧的上述外部电极连接。
2.根据权利要求I所述的水晶装置，其特征在于，上述AT切割的水晶框架包含形成在上述水晶振动部与上述框部之间并贯通上述AT切割的水晶框架的贯通部，上述第二引出电极通过上述贯通部的一部分从上述第一平面引出至上述第二平面或者从上述第二平面引出至上述第一平面。
3.根据权利要求2所述的水晶装置，其特征在于，上述贯通部具有由上述连结部、上述框部的上述第一边、上述第二边以及上述第三边中俄任意两个形成直角以下的角度的角部，上述第二引出电极通过的上述贯通部的一部分包含上述角部。
4.根据权利要求I至3的任意一项所述的水晶装置，其特征在于，上述AT切割的水晶框架将长度方向规定为X轴，将厚度方向规定为Y’轴，将短边方向规定为V,上述框部通过湿刻而形成，上述框部的上述第一边及上述第二边向上述Z’轴方向延伸，上述第三边向X轴方向延伸。
全文摘要
本发明涉及一种水晶装置，该水晶装置在框部的贯通部侧的侧面形成凸部，使得在不必要的部分不形成电极。该水晶装置包括具有水晶振动部、框部及连结部的AT切割的水晶框架；以及在第一边侧及第二边侧具有外部电极的底部；在第三边上形成有第一平面、第二平面、第一斜面或第二斜面、以及包含第一斜面或第二斜面并向水晶振动部侧突出的凸部，在水晶框架的框部上具备第一引出电极、从一对励振电极的另一个经由连结部和框部的第三边的第一平面及凸部的第一斜面或者框部的第三边的第二平面及凸部的第二斜面而与形成在底部的第二边侧的外部电极连接的第二引出电极。
文档编号H03H3/02GK102594280SQ20111042449
公开日2012年7月18日 申请日期2011年12月16日 优先权日2011年1月12日
发明者水泽周一, 高桥岳宽 申请人:日本电波工业株式会社