技术总结
基板搬运装置(24)构成为，具备用于搬运基板的一对传送带(64)及使被该一对传送带载置的基板上升的升降器(70、74、78)，在利用升降器使基板(S)上升的状态下，利用该一对传送带能够搬运其它的基板(S′)。另外，对基板作业系统构成为包括以上述方式构成的基板搬运装置及对利用该基板搬运装置的升降器进行上升的基板进行作业的对基板作业装置。尽管是仅具备一个搬运通道的简单构造，也能够进行基板相对于其它的基板的超越，实现具有实用性的基板搬运装置、对基板作业系统。
技术研发人员：城户隆志
受保护的技术使用者：富士机械制造株式会社
文档号码：201480074035
技术研发日：2014.01.30
技术公布日：2017.02.15