元件装配系统及元件装配装置的异常停止诊断方法与流程

本发明涉及具备保持元件而向对象物装配的元件装配装置的元件装配系统及诊断元件装配装置是否需要异常停止的异常停止诊断方法。

背景技术：

以往，在这种元件装配系统中，已知有对于错误的产生执行恢复处理的系统。例如，在专利文献1中公开了如下的系统：当产生元件吸附错误时，显示吸附错误画面，当在吸附错误画面中被指示恢复时，执行再次装配元件的重试处理(恢复处理)。另外，在专利文献1中也公开了如下的系统：当产生元件的识别错误时，在进行使产生了识别错误的元件(不良元件)向废弃部移动并排出的排出处理之后，判定产生了识别错误的元件是否被排出，若排出未结束，则进行重复排出处理的重试处理，当重试次数达到规定次数时，向操作员报告错误并且使装置主体停止。

专利文献1：日本特开2005-64366号公报

技术实现要素：

在这样的元件装配系统中，通常，设置规定次数作为恢复处理的执行次数的上限，当恢复处理的执行次数达到规定次数时，使装置异常停止。当产生异常停止时，操作员必须在确认异常的原因并进行了必要的处置的基础上解除异常停止。然而，在异常停止的原因之中也存在被认为可以继续生产的原因，当在对于全部的异常一律执行规定次数的恢复处理之后使装置异常停止时，使生产效率显著地降低。

本发明的主要目的在于，减少异常停止的产生频率，进一步提高效率。

本发明为了达成上述的主要目的而采用以下的手段。

本发明的元件装配系统具备元件装配装置，该元件装配装置具有：保持单元，保持元件；判定单元，判定是否正常执行了所述保持单元对所述元件的保持；装配单元，在由所述判定单元判定为正常执行了所述元件的保持的情况下，向对象物装配所保持的所述元件；及恢复单元，在由所述判定单元判定为没有正常执行所述元件的保持的情况下，进行再次执行所述保持单元对所述元件的保持的恢复处理，所述元件装配系统的主旨在于，具备：计数单元，对所述恢复处理的执行次数进行计数；异常停止单元，在所述恢复处理的执行次数达到规定次数的情况下，使所述元件装配装置异常停止；解除单元，基于操作员的操作来解除所述元件装配装置的异常停止；计时单元，对从通过所述异常停止单元使所述元件装配装置异常停止起至通过所述解除单元解除该异常停止为止的经过时间进行计时；及规定次数更新单元，基于计时得到的所述经过时间来更新所述规定次数。

在本发明的元件装配系统中具备元件装配装置，该元件装配装置判定是否正常执行了元件的保持，在判定为正常执行了元件的保持的情况下，向对象物装配所保持的元件，在判定为没有正常执行元件的保持的情况下，进行再次执行元件的保持的恢复处理，对恢复处理的执行次数进行计数，在恢复处理的执行次数达到规定次数的情况下使元件装配装置异常停止，基于操作员的操作来解除元件装配装置的异常停止。并且，对从元件装配装置异常停止起至解除该异常停止为止的经过时间进行计时，基于计时得到的经过时间来更新规定次数。在此，从使元件装配装置异常停止起至解除该异常停止为止的经过时间能够被认为与操作员的作业时间对应。因此，直至解除异常停止为止的经过时间越短，则操作员的作业时间越短，异常越轻微。由此，通过基于直至解除异常停止为止的经过时间来设定恢复处理的重复次数(规定次数)，能够根据异常的程度将元件装配装置的异常停止的产生频率设定为适当的频率，能够使元件装配装置的效率进一步提高。

在这样的本发明的元件装配系统中，也可以是，在所述经过时间不足预定时间的状况下所述异常停止被解除的情况下，所述规定次数更新单元使所述规定次数增加，在所述经过时间为预定时间以上的状况下所述异常停止被解除的情况下，所述规定次数更新单元使所述规定次数减少。这样一来，对于停止时间比较短的轻微异常，能够使恢复处理的重复次数增加，因此能够减少装置的异常停止的产生频率。

在该方式的本发明的元件装配系统中，也可以是，每当在所述经过时间不足所述预定时间的状况下所述异常停止被解除时，所述规定次数更新单元使所述规定次数增加预定次数。此外，规定次数也可以在不超过上限次数的范围内每次增加预定次数。

另外，在这些方式的本发明的元件装配系统中，也可以是，在所述经过时间为所述预定时间以上的状况下所述异常停止被解除的情况下，所述规定次数更新单元使所述规定次数返回到初始值。这样一来，对于异常停止的时间比较长的重大异常，能够使装置迅速地异常停止。

另外，在本发明的元件装配系统中，也可以是，所述元件装配系统具备初始值设定单元，该初始值设定单元基于操作员的操作来设定所述规定次数的初始值。这样一来，能够应对顾客的多样需求。

另外，在本发明的元件装配系统中，也可以是，所述判定单元判定没有正常执行所述元件的保持的保持不良的种类，所述计数单元针对所述保持不良的每个种类对所述恢复处理的执行次数进行计数，作为所述规定次数设有针对所述保持不良的每个种类建立了对应的多个规定次数，在所述恢复处理的执行次数达到与判定出的所述保持不良的种类对应的规定次数的情况下，所述异常停止单元使所述元件装配装置异常停止，所述规定次数更新单元基于在对于判定出的所述保持不良而使所述元件装配装置异常停止且该异常停止被解除的情况下由所述计数单元计时得到的经过时间，来更新与判定出的该保持不良的种类对应的规定次数。这样一来，能够根据保持不良的种类来自动设定合适的规定次数。

本发明的异常停止诊断方法中，诊断是否需要使元件装配装置异常停止，该元件装配装置具备：保持单元，保持元件；判定单元，判定是否正常执行了所述保持单元对所述元件的保持；安装单元，在由所述判定单元判定为正确执行了所述元件的保持的情况下，向对象物装配所保持的所述元件；及恢复单元，在由所述判定单元判定为没有正常执行所述元件的保持的情况下，进行再次执行所述保持单元对所述元件的保持的恢复处理，所述异常停止诊断方法的主旨在于，对所述恢复处理的执行次数进行计数，在所述恢复处理的执行次数达到规定次数的情况下，使所述元件装配装置异常停止，基于操作员的操作来解除所述元件装配装置的异常停止，对从使所述元件装配装置异常停止起至解除该异常停止为止的经过时间进行计时，基于计时得到的所述经过时间来更新所述规定次数。

附图说明

图1是表示作为本发明的一实施例的元件安装系统1的结构的概略的结构图。

图2是表示元件安装机10的结构的概略的结构图。

图3是表示元件供给装置20的结构的概略的结构图。

图4是表示元件安装机10的控制装置70与管理装置80的电连接关系的说明图。

图5是表示由元件安装机10的控制装置70执行的元件安装处理的一个例子的流程图。

图6是表示由管理装置80执行的规定次数更新处理的一个例子的流程图。

图7是表示由管理装置80执行的初始值设定处理的一个例子的流程图。

具体实施方式

接下来，使用实施例对本发明的具体实施方式进行说明。

图1是表示作为本发明的一实施例的元件安装系统1的结构的概略的结构图，图2是表示元件安装机10的结构的概略的结构图，图3是表示元件供给装置20的结构的概略的结构图，图4是表示元件安装机10的控制装置70与管理装置80的电连接关系的说明图。此外，图1及图2的左右方向是X轴方向，前(近前)后(里面)方向是Y轴方向，上下方向是Z轴方向。

如图1所示，元件安装系统1具备沿基板S的搬运方向(基板搬运方向)并排配置的多台元件安装机10及管理元件装配系统整体的管理装置80。

作为元件安装机10的外观，如图2所示，元件安装机10由基台11与被基台11支撑的主体框12构成。如图2所示，该元件安装机10具备设于主体框12的中段部的支撑台14、搬运基板S的基板搬运装置30、供给元件P的元件供给装置20、使吸嘴51吸附由元件供给装置20供给的元件P而向由基板搬运装置30搬运来的基板S上安装的头50、使头50朝XY方向移动的XY机器人40及控制安装机整体的控制装置70(参照图4)。另外，元件安装机10除这些以外还具备设于头50且用于拍摄附设于基板S的基板定位基准标记的标记相机56、用于拍摄吸嘴51所吸附的元件P的吸附姿势的零件相机60等。

如图3所示，元件供给装置20构成为带式供料器，具备供载带卷绕的带盘22、通过驱动马达26的驱动从带盘22拉出载带而输送至元件供给位置的带输送机构24、从载带剥离顶部薄膜而设为元件露出的状态(能够拾取元件的状态)的未图示的剥离部及控制装置整体的控制基板28。该元件供给装置20(带式供料器)构成为能够相对于形成于支撑台14的未图示的供料台进行装卸。

控制基板28在元件供给装置20(带式供料器)装配于供料台时经由连接器29以能够通信的方式与元件安装机10的控制装置连接。连接器29构成为从元件安装机10接受供电而向带输送机构24(驱动马达26)、控制基板28等各部分供给的供电连接器。由此，操作员在从供料台暂时卸下元件供给装置20(带式供料器)之后，将其向供料台再次装配，由此能够使元件供给装置20的电源复位。

如图2所示，基板搬运装置30具备传送带装置32，通过传送带装置32的驱动从图1的左向右(基板搬运方向)搬运基板S。在基板搬运装置30的基板搬运方向(X轴方向)中央部，设有从里面侧支撑搬运来的基板S的支撑板34。

如图4所示，头50具备使吸嘴51沿Z轴(上下)方向移动的Z轴促动器52及使吸嘴51绕Z轴旋转的θ轴促动器54。吸嘴51的吸引口经由电磁阀57与真空泵58及空气配管59中的任一方选择性地连通。控制装置70通过以使吸嘴51的吸引口与真空泵58连通的方式驱动电磁阀57，能够使吸引口作用负压而吸附元件P，通过以使吸嘴51的吸引口与空气配管59连通的方式驱动电磁阀57，能够使吸引口作用正压而解除元件P的吸附。

如图2所示，XY机器人40具备沿着前后方向(Y轴方向)设于主体框12的上段部的Y轴导轨43、在架设于Y轴导轨43的状态下沿着Y轴导轨43能够移动的Y轴滑动件44、沿着左右方向(X轴方向)设于Y轴滑动件44的下表面的X轴导轨41及沿着X轴导轨41能够移动的X轴滑动件42。在X轴滑动件42上安装有头50，控制装置70通过对XY机器人40进行驱动控制，能够使头50向XY平面上的任意位置移动。

零件相机60在吸嘴51所吸附的元件P通过零件相机60的上方时，拍摄元件P，将获得的拍摄图像向控制装置70输出。控制装置70通过对由零件相机60拍摄出的拍摄图像实施图像处理，识别被吸嘴51吸附的元件P是否为正确的元件，或者判定元件P是否被吸嘴51正确地吸附。

如图4所示，控制装置70构成为以CPU71为中心的微处理器，除CPU71之外，具备ROM72、HDD73、RAM74、输入输出接口75。它们经由总线76电连接。在控制装置70中，经由输入输出接口75输入有来自检测X轴滑动件42的位置的X轴位置传感器47的位置信号、来自检测Y轴滑动件44的位置的Y轴位置传感器49的位置信号、来自标记相机56的图像信号及来自零件相机60的图像信号等。另一方面，从控制装置70经由输入输出接口75输出有朝向元件供给装置20的控制信号、朝向基板搬运装置30的控制信号、朝向使X轴滑动件42移动的X轴促动器46的驱动信号、朝向使Y轴滑动件44移动的Y轴促动器48的驱动信号、朝向Z轴促动器52的驱动信号、朝向θ轴促动器54的驱动信号、朝向电磁阀57的驱动信号等。另外，控制装置70与管理装置80以能够双向通信的方式连接，彼此进行数据、控制信号的交换。

管理装置80例如是通用的计算机，如图4所示，具备CPU81、ROM82、HDD83、RAM84及输入输出接口85等。它们经由总线86电连接。在该管理装置80中经由输入输出接口75从鼠标、键盘等输入设备87输入有输入信号。另外，从管理装置80经由输入输出接口85输出有朝向显示器88的图像信号。HDD83存储有基板S的生产计划。在此，基板S的生产计划是指确定了在各元件安装机10中以何种顺序向基板S安装何种元件、并且制作几块这样安装有元件P的基板S等的计划。在该生产计划中包含有与生产的基板相关的基板数据、与使用的头50相关的头数据、与使用的吸嘴51相关的嘴数据、与安装的元件P相关的元件数据、与各元件的安装位置相关的安装位置数据等。管理装置80基于操作员经由输入设备87输入的数据(生产块数、基板数据、元件数据、安装位置数据等)而生成生产计划，将生成的生产计划向各元件安装机10发送。

接下来，对如此构成的实施例的元件安装系统1(元件安装机10)的动作进行说明。图5是表示由控制装置70的CPU71执行的元件安装处理的一个例子的流程图。该处理在由操作员指示了生产的开始时被执行。控制装置70接收从管理装置80发送来的生产计划，根据接收到的生产计划来执行元件安装处理。

当元件安装处理被执行时，控制装置70的CPU71首先进行使吸嘴51吸附从元件供给装置20供给来的元件P的吸附动作(S100)。在此，具体来说，吸附动作通过如下方式进行：对XY机器人40进行驱动控制，以使装配于头50的吸嘴51来到元件P的正上方，之后，对Z轴促动器52进行驱动控制，以使吸嘴51下降至吸引口与元件P抵接，对电磁阀57进行驱动控制，以便向吸嘴51的吸引口作用负压。接着，CPU71对XY机器人40进行驱动控制，以使吸嘴51所吸附的元件P向零件相机60的上方移动(S110)，利用零件相机60对元件P进行拍摄(S120)。

然后，CPU71对拍摄到的图像(拍摄图像)实施图像处理(S130)，判定是否产生吸附不良(是否在吸嘴51上正常地吸附有元件P)(S140)。此外，吸附不良包含在吸嘴51上未吸附元件P的吸附失误、在元件P立于吸嘴51的状态下被吸附的立起吸附错误、被吸嘴51吸附的元件P产生有超出允许范围的吸附偏差的吸附偏差错误及被吸嘴51吸附的元件P并非正确元件的元件差异错误等。

CPU71在判定为没有产生吸附不良时，将恢复次数Nr初始化为值0(S150)，进行将吸嘴51所吸附的元件P向基板S的安装位置安装的安装动作(S160)，结束元件安装处理。在此，具体来说，安装动作通过如下方式来进行：对XY机器人40进行驱动控制，以使吸嘴51所吸附的元件P来到基板S的安装位置的正上方，之后，对Z轴促动器52进行驱动控制，以使吸嘴51下降至该元件P与基板S的安装位置抵接，对电磁阀57进行驱动控制，以便对吸嘴51的吸引口作用正压。

另一方面，CPU71在判定为产生有吸附不良时，判定恢复次数Nr是否为规定次数Nth以上(S170)。在此，规定次数Nth是指被允许的恢复处理的反复次数，通过由管理装置80执行后述的规定次数更新处理来更新。此外，关于规定次数Nth，在生产开始时设定初始值Nini。CPU71在判定为恢复次数Nr不足规定次数Nth时，使恢复次数Nr的值加1(S180)，并且返回到S100进行重复吸附动作的恢复处理。此外，作为恢复处理，CPU71在吸附动作之前进行排出被吸嘴51吸附的元件P的排出处理。在此，作为吸附不良的产生原因，考虑元件供给装置20(带式供料器)的带输送的异常、吸嘴51的异常、图像处理的异常等各种原因，但根据吸附不良的产生原因，有时即便继续生产也不会造成阻碍。因此，通过在规定次数Nth的范围内重复恢复处理，防止与异常停止相伴的生产效率的降低。另一方面，CPU71在判定为恢复次数Nr为规定次数Nth以上时，进行元件安装机10的异常停止(S190)，向管理装置80发送停止信号(S200)。接收到停止信号的管理装置80进行后述的错误报告。由此，操作员在确认异常停止的状况并进行必要的处置之后，解除异常停止。关于异常停止的解除，在本实施例中，通过由操作员从供料台卸下元件供给装置20(带式供料器)并再次装配而使供料器电源复位来进行。此外，元件供给装置20(带式供料器)在供料器电源复位时进行带输送机构24(链轮)的原点对位等预定的初始化动作。

在此，如所述那样，CPU71在判定为没有产生吸附不良而进行安装动作的情况下，将恢复次数Nr初始化为值0，因此只要没有连续产生吸附不良而使恢复处理的连续执行次数成为规定次数Nth以上，就不进行异常停止。

CPU71在向管理装置80发送停止信号时，待机至由操作员进行解除操作(S210)，当进行解除操作时，向管理装置80发送停止解除信号(S220)，并且使恢复次数Nr复位为值0(S230)，返回到S100的处理(安装动作)。由此，元件安装机10解除异常停止的状态，再次开始生产。

接下来，对管理装置80执行的规定次数更新处理进行说明。图6是表示管理装置80的CPU81执行的规定次数更新处理的一个例子的流程图。该处理以预定时间为单位反复执行。

当执行规定次数更新处理时，管理装置80的CPU81首先判定是否接收到在图5的元件安装处理的S200中由控制装置70发送的停止信号(S300)。CPU81在判定为没有接收到停止信号时，进入S330的处理，在判定为接收到停止信号时，使计时器T开始(S310)，并且进行错误报告(S320)。此外，错误报告通过在显示器88上显示警告画面并且产生警告音，对于操作员进行错误产生的报告。

接下来，CPU81判定元件安装机10是否处于异常停止中(S330)，在判定为处于异常停止中时，判定是否从元件安装机10的控制装置70接收到解除信号(S340)。CPU81在判定为并非异常停止中、或者判定为没有接收到解除信号时，暂时结束规定次数更新处理。另一方面，CPU81在判定为处于异常停止中且接收到解除信号时，使计时器T停止(S350)，判定计时器T的值是否不足规定时间Tth(S360)。在此，计时器T的值是从元件安装机10异常停止起至解除该异常停止为止的经过时间，能够认为是操作员的作业时间。因此，在计时器T的值不足规定时间Tth的情况下，认为是操作员的作业时间较短，元件安装机10的异常的程度比较轻微，在计时器T的值为规定时间Tth以上的情况下，认为是操作员的作业时间较长，元件安装机10的异常的程度比较重大。在本实施例中，规定时间Tth被确定为比对供料器电源进行复位的复位作业通常所需的时间稍长的时间(例如15秒)。即，规定时间Tth是假定元件安装机10没有明显的异常、操作员早期进行解除操作的情况。CPU81在判定为计时器T不足规定时间Tth时，判定规定次数Nth是否不足上限值Nmax(例如5次)(S370)，在判定为规定次数Nth不足上限值Nmax时，对规定次数Nth加预定值(例如为值1)(S380)，在判定为规定次数Nth为上限值Nmax以上时，不进行规定次数Nth的更新。即，规定次数Nth保持上限值Nmax。另一方面，CPU81在由S360判定为计时器T为规定时间Tth以上时，使规定次数Nth返回到初始值Nini(S390)。在此，初始值Nini例如能够设为0次或1次。此外，初始值Nini能够由操作员在后述的初始值设定处理中变更。

CPU81在这样更新规定次数Nth时，将更新后的规定次数Nth向元件安装机10的控制装置70发送(S400)，使计时器T复位(S410)，结束规定次数更新处理。

接下来，对初始值设定处理进行说明。图7是表示由管理装置80的CPU81执行的初始值设定处理的一个例子的流程图。该处理根据操作员的指示来执行。

当执行初始值设定处理时，管理装置80的CPU81向显示器88显示初始设定画面而接受操作员的设定操作(S500)。然后，CPU81在判定为由操作员进行了设定操作时(S510)，将该设定值更新为初始值(S520)，结束初始值设定处理。在此，在本实施例中，初始值能够设定在从值0至上限值Nmax的范围内。由此，若作为初始值而设定上限值Nmax，则直至进行异常停止为止的恢复次数Nr与从元件安装机10进行异常停止起至该异常停止被解除为止的经过时间无关地成为固定次数。

以上说明的实施例的元件安装系统1在产生了吸附不良的情况下，在恢复次数Nr成为规定次数Nth以上之前重复恢复处理，当恢复次数Nr成为规定次数Nth以上时，使元件安装机10异常停止，其中，对从元件安装机10异常停止起至该异常停止被解除为止的经过时间(计时器T)进行计时，基于计时得到的经过时间来更新规定次数Nth。具体来说，在经过时间不足规定时间Tth的情况下使规定次数Nth增加，在经过时间为规定时间Tth以上的情况下使规定次数Nth减少。由此，对于操作员的作业时间短的比较轻微的异常，能够减少装置的异常停止的产生频率。其结果是，能够进一步提高生产效率。并且，在经过时间为规定时间Tth以上的情况下使规定次数Nth返回到初始值，因此，对于停止时间比较长的重大异常，能够使装置迅速地异常停止。另外，初始值能够根据操作员的操作进行变更，因此能够应对顾客的多样需求。

在实施例的元件安装系统1中，与吸附不良的种类无关地一律确定规定次数Nth，但也可以根据吸附不良的各种类而确定不同的规定次数Nth。在这种情况下，控制装置70的CPU71在S140、S170～S200的处理中，在判定为产生了吸附不良的情况下确定其不良种类，使与确定出的不良种类对应的恢复次数Nr加1，将恢复次数Nr与同确定出的不良种类对应的规定次数Nth相比较，在恢复次数Nr为规定次数Nth以上的情况下向管理装置80发送停止信号与确定出的不良种类。另外，管理装置80的CPU81在S370～S400的处理中，更新与同停止信号一并接收到的不良种类对应的规定次数Nth而向控制装置70发送。

在实施例的元件安装系统1中，CPU71在连续产生吸附不良而恢复处理的连续执行次数(恢复次数Nr)达到规定次数Nth的情况下使元件安装机10异常停止，但不限于此，即使在没有连续产生吸附不良的情况下，当恢复处理的累积执行次数达到规定次数Nth时，也可以进行异常停止。在这种情况下，只要省略元件安装处理的S150即可。此外，恢复处理的累积执行次数也可以在经过预定时间时初始化为值0。

在实施例的元件安装系统1中，在从元件安装机10异常停止起至该异常停止被解除为止的经过时间(计时器T)不足规定时间Tth的情况下，使规定次数Nth以每次增加预定值(值1)的方式逐渐增加，但不限于此，可以一次更新至上限值Nmax，也可以根据经过时间的长短而使规定次数Nth发生变化。在后者的情况下，例如，也可以通过经过时间越短而使规定次数Nth越增多的方式更新规定次数Nth。

在实施例的元件安装系统1中，在从元件安装机10异常停止起至该异常停止被解除为止的经过时间为规定时间Tth以上的情况下，使规定次数Nth一次返回到初始值，但不限于此，也可以以每次返回预定值(例如每次返回值1)的方式逐渐地返回。

在实施例的元件安装系统1中，利用管理装置80进行从元件安装机10异常停止起至该异常停止被解除为止的经过时间(计时器T)的计时、规定次数Nth的更新、初始值的设定，但不限于此，也可以由元件安装机10进行。

在实施例的元件安装系统1中，能够通过操作员的操作来变更规定次数Nth的初始值，但也可以无法变更。

在此，对于本实施例的主要的要素与发明内容的栏所记载的发明的主要的要素之间的对应关系进行说明。即，吸嘴51相当于“保持单元”，执行图5的元件安装处理的S130、S140的处理(图像处理)的控制装置70的CPU71相当于“判定单元”，执行元件安装处理的S160的处理(安装动作)的CPU71相当于“安装单元”，执行元件安装处理的S100、S180的处理(恢复处理)的控制装置70的CPU71相当于“恢复单元”，执行元件安装处理的S170的处理(恢复次数Nr加1)的控制装置70的CPU71相当于“计数单元”，执行元件安装处理的S190的处理(异常停止)的控制装置70的CPU71相当于“异常停止单元”，执行元件安装处理的S210、S220的处理的控制装置70的CPU71相当于“解除单元”，执行图6的规定次数更新处理的S300～S350的处理(计时器T的开始、停止)的管理装置80的CPU81相当于“计数单元”，执行规定次数更新处理的S360～S400的处理(使规定次数Nth加1或返回到初始值的处理)的管理装置80的CPU81相当于“规定次数更新单元”。另外，执行图7的初始值设定处理的管理装置80的CPU81相当于“初始值设定单元”。

此外，本发明不受上述实施例的任何限定，只要属于本发明的技术范围则能够以各种方式实施，这是不言而喻的。

工业实用性

本发明能够应用于元件安装系统的制造产业等。

附图标记说明

1 元件安装系统

10 元件安装机

11 基台

12 主体框

14 支撑台

20 元件供给装置

21 底座

22 带盘

24 带输送机构

26 驱动马达

28 控制基板

29 连接器

30 基板搬运装置

32 传送带装置

34 支撑板

40 XY机器人

41 X轴导轨

42 X轴滑动件

43 Y轴导轨

44 Y轴滑动件

46 X轴促动器

47 X轴位置传感器

48 Y轴促动器

49 Y轴位置传感器

50 头

51 吸嘴

52 Z轴促动器

54 θ轴促动器

56 标记相机

57 电磁阀

58 真空泵

59 空气配管

60 零件相机

70 控制装置

71 CPU

72 ROM

73 HDD

74 RAM

75 输入输出接口

76 总线

80 管理装置

81 CPU

82 ROM

83 HDD

84 RAM

85 输入输出接口

86 总线

87 输入设备

88 显示器

S 基板

P 元件