弹性波装置的制作方法

文档序号:13109239阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种弹性波装置,具备:LiNbO3基板;IDT电极,设置在所述LiNbO3基板上;和氮化铝膜,设置在所述LiNbO3基板上以覆盖所述IDT电极,所述弹性波装置利用了在所述LiNbO3基板中传播的漏泄弹性波,其中,所述IDT电极由以从Cu、Al、Au、Pt及Ni所构成的组中选择的一种材料为主体的金属来构成,在将所述LiNbO3基板的欧拉角设为(0°±5°,θ,0°±5°)、将所述IDT电极的波长标准化厚度设为X、将所述欧拉角的θ设为Y时,对应于构成所述IDT电极的金属的种类以及所述氮化铝膜的波长标准化厚度的范围,将所述欧拉角的θ即Y设为下述的表1~表5所示的任意一个范围,[表1][表2][表3][表4][表5]2.一种弹性波装置,具备:LiNbO3基板;IDT电极,设置在所述LiNbO3基板上;和氮化硅膜,设置在所述LiNbO3基板上以覆盖所述IDT电极,所述弹性波装置利用了在所述LiNbO3基板中传播的漏泄弹性波,其中,所述IDT电极由以从Cu、Al、Au、Pt及Ni所构成的组中选择的一种材料为主体的金属来构成,在将所述LiNbO3基板的欧拉角设为(0°±5°,θ,0°±5°)、将所述IDT电极的波长标准化厚度设为X、将所述欧拉角的θ设为Y时,对应于构成所述IDT电极的金属的种类以及所述氮化硅膜的波长标准化厚度的范围,将所述欧拉角的θ即Y设为下述的表6~表10所示的任意一个范围,[表6][表7][表8][表9][表10]
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