技术总结
提供能实现高声速化和低损耗化的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置IDT电极(3)，层叠氮化铝膜(4)或氮化硅膜以覆盖IDT电极(3)，且利用了漏泄弹性波。IDT电极(3)由从Cu、Al、Au、Pt以及Ni所构成的组中选择的一种金属来构成。在弹性波装置(1)中，在将LiNbO3的欧拉角设为(0°±5°，θ，0°±5°)、将IDT电极(3)的波长标准化厚度设为X、将欧拉角的θ设为Y时，对应于氮化铝膜(4)或氮化硅膜的波长标准化厚度范围、构成IDT电极(3)的金属的种类和IDT电极(3)的波长标准化厚度的范围，将欧拉角的θ即Y设为特定的范围。
技术研发人员：门田道雄;
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所;
文档号码：201580007259
技术研发日：2015.02.20
技术公布日：2016.09.28