技术总结
本发明提供一种检查装置，提高元件的电特性的测定精度。检查装置包括保持台(32)、把持保持于该保持台(32)的元件(s)而能够测定电特性的一对测定件(37)及与主体(29)的表面(29f)连接的接地线(132)。保持台(32)在初始位置处于与主体(29)导通的状态，因此处于经由接地线(132)而接地的状态。因此，在初始位置，能够快速且可靠地进行载置于保持台(32)的元件(s)的除电，能够提高元件(s)的电特性的测定精度。
技术研发人员：泽田利幸
受保护的技术使用者：富士机械制造株式会社
文档号码：201610562170
技术研发日：2016.07.15
技术公布日：2017.01.25