一种碳化硅加工用脱胶加热板的制作方法

文档序号:11926925阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种碳化硅加工用脱胶加热板,包括加热板(2),其特征在于:所述加热板(2)的内腔设有加热管(10),所述加热板(2)的内腔底部设有导电板(3),所述导电板(3)上均匀开有插孔(4),所述插孔(4)的内侧壁设有内螺纹(41),所述加热管(10)的一端外侧壁设有与所述内螺纹(41)相配合的外螺纹(42),所述插孔(4)和加热管(10)通过内外螺纹配合连接,所述加热板(2)的顶端设有导热铝基板(1),所述导热铝基板(1)的底端均匀设有受热凸点(6),所述受热凸点(6)位于加热板(2)的内腔上方,所述加热板(2)的内壁均匀设有温度感应器(5),所述温度感应器(5)电性连接设在隔热层(8)底端的控制装置(9),所述隔热层(8)位于加热板(2)的底端,所述控制装置(9)电性连接导电板(3)和报警器(7),所述报警器(7)设在加热板(2)的右侧。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用脱胶加热板,其特征在于:所述加热管(10)的内腔设有电阻丝,所述电阻丝为螺旋结构。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用脱胶加热板,其特征在于:所述隔热层(8)包括相配合的云母层(81)和保温棉层(82)。

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