技术总结
一种凸凹探针及其等离子体诊断方法，用于诊断等离子体获得准确的等离子体空间电位、电子密度和电子能量分布函数。其特征是：凸探针、绝缘管和金属导线组成凸探针组件；凹探针、绝缘套管和金属导线组成凹探针组件；凸探针组件和凹探针组件构成凸凹探针组合，凸凹探针组合包括分体式和一体伸缩式两种形式；诊断等离子体时，测量凸探针和凹探针各自的电流随扫描偏置电压的变化，得到凸探针和凹探针各自的伏安特性曲线，再利用公式获得电子能量分布函数。本发明能够准确地指示出等离子体空间电位和确定凸探针的电子收集面积，获得的电子密度和电子能量分布函数更准确；凸探针对等离子体扰动最小，电流密度均匀，获得的电子能量分布函数更准确。
技术研发人员：陆文琪;李建泉;徐军;王奇
受保护的技术使用者：大连理工大学
文档号码：201710096622
技术研发日：2017.02.22
技术公布日：2017.06.13