技术总结
本实用新型公开了一种微波等离子体粉体处理装置，包括安装于角度调节架上的装置体，所述装置体包括管式微波等离子体源，管式微波等离子体源由石英、陶瓷或耐热玻璃介质制成的介质管，矩形波导的一端连接微波源，其另一端连接可调节短路板，介质管一端与水冷金属法兰相连接，另一端与矩形波导的H面相连接。本实用新型用石英管式微波等离子体源，增添放置处理粉体的石英制成的旋转鼓杯，构成一种微波等离子体粉体处理装置，用这种装置，将纳米级或微米级的金刚石粉体、石墨烯粉体、立方氮化硼粉体或其他无机物粉体放置入旋转鼓杯，在管式微波等离子体源的高密度等离子体区域进行表面刻蚀、净化、接枝、沉积等功能化处理。
技术研发人员：邬钦崇;邬明旭;全峰
受保护的技术使用者：深圳优普莱等离子体技术有限公司
文档号码：201720204055
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2017.10.27