一种量子芯片封装装置的制作方法

文档序号:18650902发布日期:2019-09-12 09:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种量子芯片封装装置,所述量子芯片封装装置包括:

电磁屏蔽封装盒(1),用于水平放置待封装量子芯片;

其特征在于,所述量子芯片封装装置还包括:

静磁屏蔽罩(2),所述静磁屏蔽罩(2)包裹设置在所述电磁屏蔽封装盒(1)外。

2.根据权利要求1所述的量子芯片封装装置,其特征在于,所述电磁屏蔽封装盒(1)包括盒本体(11)和盖体(12);

所述盖体(12)盖合在所述盒本体(11)的顶部开口上。

3.根据权利要求2所述的量子芯片封装装置,其特征在于,所述盒本体(11)的顶部开口的周缘设置有卡勾(111);

所述盖体(12)的周缘设置有用于容置所述卡勾(111)的缺口(121)。

4.根据权利要求1所述的量子芯片封装装置,其特征在于,所述静磁屏蔽罩(2)包括两个罩壳(22);

两个所述罩壳(22)分别罩设在所述电磁屏蔽封装盒(1)的上下两端,并相互抵接。

5.根据权利要求4所述的量子芯片封装装置,其特征在于,所述罩壳(22)包括:

壳体(221),所述壳体(221)具有开口;

包裹柱(222),均匀间隔的设置在所述壳体(221)的开口处,并固定连接所述壳体(221);

所述壳体(221)通过所述开口罩设在所述电磁屏蔽封装盒(1)上,所述包裹柱(222)贴合在所述述电磁屏蔽封装盒(1)上。

6.根据权利要求5所述的量子芯片封装装置,其特征在于,所述包裹柱(222)朝向所述电磁屏蔽封装盒(1)的一侧的表面积小于所述包裹柱(222)远离所述电磁屏蔽封装盒(1)的一侧的表面积。

7.根据权利要求1所述的量子芯片封装装置,其特征在于:所述电磁屏蔽封装盒(1)的侧壁上开设有至少一个通孔(13);

所述通孔(13)对应所述待封装量子芯片的周缘的端口设置,用于容置与所待封装量子芯片的端口相连接的连接器的一端;

所述静磁屏蔽罩(2)上设置有与所述通孔(13)对应的过孔(21),所述过孔(21)用于容置与所待封装量子芯片的端口相连接的连接器的另一端。

8.根据权利要求2所述的量子芯片封装装置,其特征在于:所述量子芯片封装装置还包括:

散热件(3),所述散热件(3)的一端设置在所述电磁屏蔽封装盒(1)内,并贴合固定在所述待封装量子芯片上,所述散热件(3)的另一端依次伸出所述电磁屏蔽封装盒(1)和所述静磁屏蔽罩(2)。

9.根据权利要求8所述的量子芯片封装装置,其特征在于:所述量子芯片封装装置还包括:

导热件(4),所述导热件(4)的一端可拆卸的连接所述散热件(3)远离所述待封装量子芯片的一端,所述导热件(4)的另一端连接制冷平台。

10.根据权利要求8所述的量子芯片封装装置,其特征在于:所述量子芯片封装装置还包括:

安装工装(5),所述安装工装(5)的一端可拆卸的所述散热件(3)远离所述待封装量子芯片的一端、所述静磁屏蔽罩(2)和所述盒本体(11),所述安装工装(5)的另一端连接待安装部位。

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