技术总结
本发明涉及一种用于生成可听波长谱中的声波的MEMS扬声器(1)，其具有：载体衬底(2)，其具有拥有两个衬底开口(7，8)的衬底空腔(6)，所述衬底开口(7，8)被构造在载体衬底(2)的两个相对的侧；执行器结构、尤其是压电执行器结构(3)，其布置在两个衬底开口(7，8)之一的区域中并且在其边缘区域中与载体衬底(2)连接；以及紧固在其边缘区域中的隔膜(4)，所述隔膜(4)能够借助于执行器结构(3)为了生成声波而被置于振动中。根据本发明，在MEMS扬声器(1)的横截面图中，隔膜(4)与执执行器结构(3)间隔开，使得在这二者之间形成中间空腔(13)。此外，MEMS扬声器(1)具有布置在中间空腔(13)中的耦合元件(5)，所述耦合元件(5)将执行器结构(3)与隔膜(4)连接并且能够利用这二者相对于载体衬底(2)振动。
技术研发人员：安德里亚·韦斯高尼·克莱里西;费鲁乔·博托尼
受保护的技术使用者：悠声股份有限公司
文档号码：201580037404
技术研发日：2015.05.13
技术公布日：2017.05.17