液体回收再利用装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种液体回收再利用装置，应用于对应用材料机台上制冷器的水管管路的保养中，所述水管管路上设置有出水口和进水口，所述液体回收再利用装置包括；一与所述进水口连接的吹气装置；一与所述出水口连接的弹性容器；其中，所述吹气装置向所述水管管路中吹气，以将该水管管路中残留的液体流入所述弹性容器中，进而实现将管路中残余的液体进行回收并可再次利用，减少了生产成本，保障了操作人员的安全；同时结构简单，操作快捷，可广泛应用于各领域的管路清洗及维护中。
【专利说明】液体回收再利用装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体清洗领域，确切的说，涉及一种液体回收再利用装置，利用该装置可很好的实现将水管管路中残留的液体回收并再利用。
【背景技术】
[0002]在半导体制备领域中，经常需要化学药剂来进行生产，例如:
[0003]1、在经过某些生产工艺后，在晶圆表面可能会留有杂质，而这些残留在晶圆表面的杂质会对产品的稳定性造成影响，可采用湿法清洗将其去除；
[0004]2、湿法刻蚀，利用湿法刻蚀来去除晶圆不需要的位置，相关工艺为本领域技术人员所公知，故在此不予赘述；
[0005]3、日常保养，某些特殊的半导体材料需要利用化学药剂来进行特殊处理，例如利用乙二醇来产品进行处理。
[0006]在进行上述工艺时，一般是通过一水管管路来进行化学药剂的输送，在完成相应工艺后或者进行保养时，则需要将水管管路内剩余的液体进行排出。
[0007]目前所采用的做法是将水管进行拆除后用快速接头分别连接水管的进水口和出水口，然后一端用气枪插入水管中，而水管的另一端则放置在可以盛放化学药剂的容器中，利用气枪喷射出的气体将管内残留的液体进行排出。但是该做法有一定弊端:由于气枪喷射的气体流速过快，水管另一端在排出液体时在气体的推动容易造成液体喷溅的风险，不仅容易对容器造成损伤，同时也会对操作人员造成伤害。同时，由于有将水管的残留液体吹出，在保养完成后会造成制冷器中的乙二醇水量下降至最低液位以下，需要在制冷器加水口手动添加乙二醇。增加了工作量，并且会造成一定的安全隐患。
实用新型内容
[0008]本实用新型提供了一种体回收再利用装置，通过该装置可很好的将水管内的剩余的液体继进行回收并可再次利用，同时回收过程也更加安全。
[0009]一种液体回收再利用装置，应用于对应用材料机台上制冷器的水管管路的保养中，所述水管管路上设置有出水口和进水口，其特征在于，所述液体回收再利用装置包括；
[0010]一与所述进水口连接的吹气装置；
[0011]一与所述出水口连接的弹性容器；
[0012]其中，所述吹气装置向所述水管管路中吹气，以将该水管管路中残留的液体流入所述弹性容器中。
[0013]上述的装置，其特征在于，所述弹性容器上还设置有接头母头，用以将所述弹性容器与所述出水口密封连接。
[0014]上述的装置，其特征在于，所述弹性容器上和/或接头母头上还设置有排气嘴，用以排出所述弹性容器中多余的气体。
[0015]上述的装置，其特征在于，通过一阀门来控制所述排气嘴的闭合状态。[0016]上述的装置，其特征在于，所述接头母头设置有内螺纹或外螺纹，所述内螺纹或外螺纹的表面覆盖有一层弹性材料薄膜。
[0017]上述的装置，其特征在于，所述接头母头材质为金属。
[0018]上述的装置，其特征在于，所述弹性容器上设置有一衔接模块，通过该所述衔接模块与所述接头母头活动连接。
[0019]上述的系统，其特征在于，所述弹性容器的内壁及所述接头母头的内壁均涂覆有一层防酸材料。
[0020]利用本实用新型提供的装置可很好的将管路中剩余的液体进行回收并再次利用，同时也提高了操作的安全性，保障了操作人员的安全。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]参考所附附图，以更加充分的描述本实用新型的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本实用新型范围的限制。
[0022]图1为本实用新型提供的一种体回收再利用装置结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]如图1所示，本实用新型提供了一种液体回收再利用装置，应用于对应用材料机台上制冷器的水管管路(图中未标出)的保养中，水管管路分别设置有出水口和进水口，其中，液体回收再利用装置包括一与进水口连接的吹气装置(图中未标出)，以及一与出水口连接的弹性容器2，利用吹气装置向水管管路中吹气，以将该水管路中残留的液体流入至弹性容器2进行存储并可再次利用。
[0024]进一步的，弹性容器2通过一接头母头I密封套设在水管管路的出水口上，接头母头I为空心的金属材质所制成，且该接头母头I的内壁涂覆有一层防酸材料，进而使得利用该接头母头I进行酸性液体材料的传输时，不会对接头母头I的内部结构造成腐蚀损伤；同时，该接头母头I与水管管路出水口接触的螺纹表面覆盖有一层弹性材料薄膜(例如橡胶或弹性塑料)，进而实现更好的固定及密封效果，避免液体发生泄露。
[0025]弹性容器2为弹性材料所制成，如橡胶皮囊或其他具有一定收缩能力的材料，同时该弹性容器2的内壁涂覆有一层防酸材料，进而可有效减少在存储酸性物质时弹性容器2所受到的腐蚀损伤；
[0026]弹性容器2上设置有一衔接模块5，通过该衔接模块5来将弹性容器2与接头母头I连接在一起。在一个实施例中，该衔接模块5可为一螺母，来实现与接头母头I的连接。在此实施例中，螺母上设置的螺纹表面可包覆有一层弹性材料薄膜，从而使得弹性容器2与接头母头I连接时两者的衔接位置处密封性更好。在一个实施例中，衔接模块5可通过卡接方式实现与接头母头I的固定。在此需要说明的是，弹性容器2与接头母头I并不仅仅局限于上述连接方式，还可通过其他连接方式进行密封活动连接，在此不予赘述。
[0027]进一步的，在接头母头I上和/或弹性容器2上还设置有一排气嘴3，(图1所示为排气嘴仅设置在接头母头I上)，并可通过一手动或自动的旋转阀门4来对排气嘴3的闭合状态进行控制。利用该旋转阀门4不仅可以控制排气嘴3的开合状态，还可通过旋转阀门4来对排气嘴3的开口大小进行控制，进而实现对弹性容器内的气压进行调节。[0028]下面就本实用新型提供一具体实施例来进行进一步阐述:
[0029]首先提供一液体回收再利用装置，其结构可参照图1所示，相关描述可参照上文，在此不予赘述。
[0030]在进行保养工作时，将用于输送化学药剂(例如乙二醇)的水管管路拆卸下来，用无尘布包裹气枪(即吹气装置)插入水管管路的进水口，而将出水口与本实用新型中的接头母头I连接在一起。在此需要说明的是，连接母头I的规格根据水管管路的进水口尺寸而设定，进而保证水管管路与接头母头I连接的密封性。同时，由于接头母头I的螺纹表面设置有弹性材料薄膜，在将水管管路的进水口与接头母头I连接在一起时，可进一步实现更好的起到密封和固定的作用，保证在进行保养工作时，水管管路内的液体不容易从接头母头I与水管的衔接处泄露出来。
[0031]固定后，接通气枪电源，气枪喷射出高压气体，以将水管管路内的残留的液体吹出；由于接头母头I为空心，吹出的液体通过接头母头I内部进入至弹性容器2。在本实用新型中，由于弹性容器2为弹性材料(例如橡胶皮囊)所制成，因此具有一定的弹性，在进行液体回收时，弹性容器2会逐渐膨胀，并将水管管路内的残留液体收集起来。当清除完残留液体后，通过排气嘴3来将将弹性容器2内多余的气体进行排出，在此过程中，通过一手动或自动的旋转阀门4来控制气体的排出量，同时要保证在排除多余气体的同时，弹性容器2内的液体不会被排出，在弹性容器2内多余气体排出并恢复至正常状态后，将接头母头I及弹性容器2拆下，放置到安全位置。当完成保养工作时，可将接头母头I与水管的出水口再次连接，并用挤压的方式将储存在弹性容器2中的液体压回至水管管路中，起到了回收液体并再利用的作用，减少了生产成本，并在对管路中液体进行回收时避免操作人员所可能受到的伤害。同时，由于接头母头I和弹性容器2的内壁均涂覆有一层防酸材料，进而可减少酸性液体对其造成的损伤，提高了液体回收再利用装置100的使用寿命。
[0032]综上所述，本实用新型提供的一种液体回收再利用装置，通过该装置可有效的实现将管路中残余的液体进行回收并可再次利用，减少了生产成本，保障了操作人员的安全；同时结构简单，操作快捷，可广泛应用于各领域的管路清洗及维护中，适合大范围推广使用。
[0033]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本实用新型的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本实用新型的意图和范围内。
【权利要求】
1.一种液体回收再利用装置，应用于对应用材料机台上制冷器的水管管路的保养中，所述水管管路上设置有出水口和进水口，其特征在于，所述液体回收再利用装置包括； 一与所述进水口连接的吹气装置； 一与所述出水口连接的弹性容器； 其中，所述吹气装置向所述水管管路中吹气，以将该水管管路中残留的液体流入所述弹性容器中。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述弹性容器上还设置有接头母头，用以将所述弹性容器与所述出水口密封连接。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述弹性容器上和/或接头母头上还设置有排气嘴，用以排出所述弹性容器中多余的气体。
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，通过一阀门来控制所述排气嘴的闭合状态。
5.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述接头母头设置有内螺纹或外螺纹，所述内螺纹或外螺纹的表面覆盖有一层弹性材料薄膜。
6.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述接头母头材质为金属。
7.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述弹性容器上设置有一衔接模块，通过该所述衔接模块与所述接头母头活动连接。
8.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述弹性容器的内壁及所述接头母头的内壁均涂覆有一层防酸材料。
【文档编号】C30B33/00GK203795019SQ201420095626
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年3月4日 优先权日:2014年3月4日
【发明者】郭佩 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司