专利名称：环形部件的提升设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及通过利用承载设备的承载来提升环形部件和将其放置在预定位置的环形部件提升设备。特别是，本发明涉及适用于诸如放置在半导体单晶拉伸设备的气密容器内部的加热器和保热缸的环形部件的提升设备。
CZ生长技术是目前已知的用于诸如硅(Si)或者砷化镓(GaAs)的半导体单晶生长技术的一个例子。
因为该CZ生长技术能够使无位移或者有极低程度晶格缺陷的大直径，高纯度单晶的制造简化，因此，其被广泛地用于各种半导体晶体的生长。
近些年来，单晶晶体直径的增加伴随着诸如用于储存半导体熔料的坩埚等部件直径的增加。结果，诸如包围着上述坩埚和将热施加其上的加热器和保热缸的环形部件，成为其直径大于坩埚的非常笨重的物体。因此在拉伸设备内部安装期间需要采用起重设备以便提升和随后拆除。为此目的，目前将环首螺栓在多个位置安装在环形部件的外表面和上部，然后每个环形部件利用穿过这些环首螺栓连接到起重设备的钢丝吊索提升起来。
然而环形部件的安装和拆除作业仍然被下列问题困扰着。因为环形部件由多个钢丝吊索支承着，所以每个钢丝吊索必须连接在起重设备和环形部件上，因而连接作业需要相当长的时间。特别是，在将钢丝吊索连接在环形部件的外侧的空间不足因而钢丝吊索必须连接在环形部件的内侧的情况下，钢丝吊索的连接比连接在外侧更加困难时，导致操作性能不良。
本发明考虑到上述问题因而其目的是提供一种环形部件的提升设备，其中，使环形部件定位的作业可以非常容易地完成。
对于本发明的一个实施例，采用了一种技术，其中，连接在安装有提升机构的承载设备的用于提升和承载环形部件和将环形部件放置在预定位置的环形部件提升设备设置有一个悬置在承载设备的提升机构之下的悬置部件；从悬置部件在一个水平平面内沿着径向延伸的多个支承臂；设置在各个支承臂上用于从环形部件的内部支承环形部件的啮合顶部。
当利用该提升设备提升环形部件时，首先，将悬置部件连接在提升机构上，然后，将悬置部件降低并放置在环形部件的内部。接着，悬置部件围绕其轴线旋转，使得支承臂定位在环形部件的预定位置。然后，每个支承臂的啮合顶部啮合，以便支承环形部件的预定部分。然后提升机构被致动，提升设备与环形部件一起被提升起来。
因此，啮合顶部与环形部件的啮合可以通过简单地使支承臂围绕悬置部件的轴线旋转和使它们定位在环形部件的预定位置而很容易地完成。
对于该实施例，环形部件是用于放置在半导体单晶体拉伸设备的气密容器内部并包括多个至少在上端闭合的竖向槽的圆筒形加热器。而每个啮合顶部包括一个在每个支承臂末端的啮合舌，其从加热器的内部伸入竖向槽中并且与竖向槽的上边相啮合，并且该啮合顶部被制成得仅仅可以在向上的方向上折叠。
对于该提升设备，每个支承臂的臂顶部仅仅可以相对于臂底部围绕在臂底部末端的一个枢转点向上折叠。因此，在支承臂处于延伸位置的情况下加热器悬置夹具被向下降低到加热器的内部时，每个支承臂的臂顶部将接触加热器的上边并围绕在臂底部末端的枢转点向上折叠。因为与加热器上边接触和向上折叠的不是整个支承臂而只是臂顶部，所以，作用在由诸如碳等脆性材料制成的加热器上的附加重量被减少。
另外，最好是支承臂的长度可以调节。
对于这样的提升设备，因为支承臂的长度可以调节，那么，在不同孔径的加热器要被提升和定位在气密容器内部的那些情况下，可以调节支承臂的长度，以便与加热器的内径相匹配。因此，不同尺寸的加热器的变换可以很容易地进行。
另外，最好是，啮合舌包括一个定位突体，当啮合舌伸入竖向槽时，定位突体在加热器的内表面或者外表面附近向上凸起。
对于这样的提升设备，因为定位突体安装在每个啮合舌上，所以即使侧向力作用在由竖向槽的上边处支承的加热器上，定位突体将与加热器的内表面或者外表面相接触，从而可以防止加热器位置的任何偏离。
另外，最好是，支承臂包括一个其底端连接在悬置部件上的臂底部和一个连接在臂底部末端的臂顶部，并且臂顶部可以围绕在臂底部末端的一个枢转点仅仅在相对于臂底部向上的方向上折叠。
另外，最好是，每个臂顶部包括一个折叠止挡，该止挡从臂顶部的上表面凸起并且当臂顶部向上折叠时与臂底部的上表面相接触，从而可以控制折叠的程度。
对于这样的提升设备，因为臂顶部安装有折叠止挡，所以当支承臂置于折叠状态时，每个折叠止挡与臂底部的上表面相接触，因此可以控制支承臂折叠的程度，从而可以防止支承臂折叠超过设定的角度。
另外，最好是，悬置部件具有一个连接在承载设备的提升机构上的中央部分，并且支承臂装备有多个在预定位置的啮合部分，并且每个啮合部分位于一个与悬置部件的中央部分近似同心的圆上，并且具有所述啮合顶部的吊钩部件可以脱开地与每个啮合部分相啮合。另外每个吊钩部件设置有充当啮合顶部的吊钩部分，用于啮合连接在环形部件上的杆式件，和一个用于啮合环形部件的是吊钩部分的一部分的突体部分，并且该吊钩部件形成有一个用于支承吊钩部分和突体部分以便它们可以围绕近似的垂直线自由旋转的旋转支承部分。
对于这样的实施例，每个吊钩部件可以与位于支承臂上的预定位置处的啮合部分相啮合。吊钩部件然后利用旋转支承部分旋转，然后或者吊钩部件的吊钩部分与连接在环形部件上的杆式件相啮合，或者连接在吊钩部件上的突体部分与环形部件相啮合，然后悬置部件可以利用承载设备提升，从而将环形部件运送到预定位置。
图1A和图1B分别是用于本发明的环形部件提升设备的第一实施例的加热器的平面图和立视图；图2是本发明的环形部件提升设备的第一实施例的立视图；图3是本发明的环形部件提升设备的第一实施例的平面图；图4是用于本发明的环形部件提升设备的实施例中的承载设备的平面图；图5是图4的立视图；图6是本发明的环形部件提升设备的第二实施例的平面图；图7是本发明的环形部件提升设备的第二实施例的一部分的放大图；图8是图7的前视图；图9是利用本发明的环形部件提升设备的第二实施例的技术说明简图；图10是利用本发明的环形部件提升设备的第二实施例的技术的又一个说明简图；图11是利用本发明的环形部件提升设备的第二实施例的技术的又一个说明简图；图12是利用本发明的环形部件提升设备的第二实施例的技术的又一个说明简图；如下是参照附图1-5对于本发明的环形部件提升设备的第一实施例的说明。在这些附图中，标号1指提升设备，2指加热器，4指中央轴部件，5指支承臂。
包括加热炉的硅单晶拉伸设备布置在工厂的地面上。用于供应包括拉伸设备的各种部件和用于承载诸如原料等物品的承载设备布置在拉伸设备附近。
承载设备的例子包括诸如在附图4和5中所示的那些起重设备。更具体来说，如图4和5所示的承载设备102包括固定在工厂地面上的竖轴103，连接在竖轴103的上部具有自由回转能力的主回转臂104，连接在主回转臂104的顶端具有自由回转能力的次回转臂105，和一个借助钢丝吊索Y从次回转臂的顶端悬置下来的吊钩机构(提升机构)106。主和次回转臂104和105可以旋转并且由独立的驱动机构来驱动。
如上所述，目前的加热器提升装置要求将多个诸如环首螺栓的提升部件连接在加热器上，以便在提升过程中使用。另外，在半导体单晶体拉伸设备工作期间，因为加热器本身变得很热，并且为了防止拉伸设备的内部由上述部件所污染，在加热器于拉伸设备的内部定位之后，必须拆除这些部件，而这是非常耗时的。另外，因为加热器相当重，并且是由诸如碳之类的脆性材料制成的，所以在连接着诸如环首螺栓等部件的部位有被损坏的危险。因为这些部位需要有较大的强度，所以这对该加热器的结构有了约束。
因此，考虑到上述问题的本发明第一实施例的环形部件的提升设备1是这样一种提升设备，它不需要将提升部件连接在加热器上，然而又能够在将加热器定位在半导体单晶体拉伸设备的内部期间简单而稳定地提升加热器。
该环形部件提升设备1放置在半导体单晶体拉伸设备的气密性容器的内部，并且如图1A，1B和2所示，通过连接在承载设备102的吊钩机构106的钢丝吊索Y上，而将由碳制成的并且含有多个竖向槽2A，2B的圆筒加热器2提升起来。
在加热器2中的竖向槽2A，2B形成竖向槽2A和竖向槽2B交替的形式，竖向槽2A在顶端封闭，而竖向槽2B在底端封闭，当电流通过加热器2时产生长的电流路径。
提升设备1，如图2和3所示，装备有一个竖向悬置的长的中央轴部件(悬置部件)4，其上部连接在环首螺栓4a上，而螺栓4a悬吊在钢丝吊索Y上，和三个支承臂5，支承臂5长于加热器2的半径并且从固定在一个圆板4b上的基点在一个水平平面内沿着径向向外延伸，而该圆板4b固定在中央轴部件4的下部。
这些支承臂5围绕中央轴部件布置(支承臂之间为120°角)，并且包括一个臂底部6和一个臂顶部7，其中，臂底部6的底端固定在中央轴部件4上，而臂顶部7又连接在臂底部6的端部。
另外关于支承臂5，该臂顶部7可以围绕在臂底部6的端部的一个枢转点旋转并且向上折起，而臂顶部7从延伸位置向下的旋转可以由一个支承板6a所阻止，其中，支承板6a固定在臂底部6的顶部的下边，因此可以使臂的延伸位置保持在一个直的水平线上。
每个臂顶部7装备有一个在上边用于与臂底部6的上表面相接触的矩形折叠止挡7a，因而可以控制臂顶部折叠的程度。
另外，一个啮合舌(啮合顶部)8连接在每个臂顶部7的顶部并且从其向外凸出。在提升加热器期间，每个啮合舌8从加热器2的内侧插入一个竖向槽2A中并且与竖向槽2A的上边相啮合。
另外，每个臂顶部7含有两个阴螺纹孔7b，这两个阴螺纹孔7b沿着臂延伸的方向布置，隔开一个固定的距离，而啮合舌8含有四个通孔8a，这四个通孔8a隔开的距离与两个阴螺纹孔7b隔开的距离相同。
每个啮合舌8包括一个侧向凹槽部分8b，凹槽8b的宽度与臂顶部7的宽度相同。臂顶部7插入凹槽部分8b中，并且连接在距臂顶部7的顶部一个预定伸出距离处。从中央轴部件4的轴线至啮合舌8的顶部的长度当支承臂5沿着直线位置延伸时被设定为大于被提升的加热器2的半径的长度。然后将螺栓9插过通孔8a并且拧入阴螺纹孔7b中，因此将啮合舌8固定在臂顶部7上。
支承臂5的长度可以通过改变螺栓9得以穿过并之后拧入阴螺纹孔7b中以便连接啮合舌8的通孔8a来调节。
另外，一个矩形定位突体8c位于每个啮合舌8的上边，其位置从啮合舌8的顶部稍稍向内偏置。定位突体8c的位置这样设定，使得当支承臂5沿着直线位置延伸时，从中央轴部件4的轴线至定位突体8c的外侧边缘的长度稍稍小于被提升的加热器2的内部半径。
下面是利用本发明的环形部件提升设备1的第一实施例来提升加热器2所采用的技术的解释。
(提升设备安装步骤)首先，提升设备1通过将中央轴部件4的上部连接在位于拉伸设备(气密容器)附近的承载设备102的钢丝吊索Y上而竖向悬置起来，并且每个支承臂5围绕在臂底部6的末端的枢转点向上折起。然后，将提升设备1定位在底座安装的加热器2的中央轴线之上的某一个位置处，并且利用承载设备102向下降低到加热器2的内部。
在将提升设备1降低到加热器内部的预定位置后，通过将中央轴部件4围绕其轴线旋转来使各个啮合舌8对中，然后这样延伸支承臂5，使得在每种情况下臂底部6和臂顶部7与伸入加热器2的一个竖向槽2A中的啮合舌8形成一个水平直线。如果此时将在该布置中的提升设备1利用承载设备102提升起来，每个啮合舌8将在竖向槽2A的内部上移，并且在竖向槽2A的上边处啮合。
(加热器提升过程)如果提升设备1从上述状态进一步提升，通过啮合舌8支承在竖向槽2A上边的加热器2可以被提升起来离开底座。这样，被提升的加热器2然后可以利用承载设备102移到拉伸设备之上的位置并降低到拉伸设备内部的预定位置，然后在那里予以安装，(提升设备的拆卸过程)如果提升设备1利用承载设备102再进一步降低，啮合舌8将在竖向槽2A内部离开槽2A的上边向下运动。每个啮合舌8然后通过将臂顶部7围绕在臂底部6末端的枢转点向上折叠而从相应的竖向槽2A移出。提升设备然后由承载设备102再向上提起并从加热器2和拉伸设备内部移出。
如果在支承臂处在延伸位置，同时每个臂底部6和臂顶部7形成一个水平直线的情况下，欲将提升设备1插入加热器2内部，那么，只要支承臂位于不是在竖向槽2B之一之上的任何位置，每个支承臂的臂顶部7将接触加热器2的上边并向上折叠，因此，将提升设备1连接在加热器2的操作将没有障碍。
此时，因为与加热器2的上边接触和向上折叠的不是整个支承臂5而只是臂顶部7，所以作用在由例如碳之类的脆性材料制成的加热器2上的附加重量将减小。
在如上所述的该提升设备1的情况下，在将加热器2定位在拉伸设备的内部期间和在从拉伸设备中拆除加热器2期间，啮合舌8与加热器2的啮合可以容易地完成，只要使支承臂5围绕中央轴部件4的轴线转动使它们与加热器2的预定位置对中即可。
另外，因为支承臂5可以向上折叠，所以加热器2可以通过首先将提升设备1向下降低到加热器2的内部，延伸每个支承臂5至直线位置，使啮合舌8啮合在竖向槽2A的上边，然后提升提升设备1而向上提起。
另外，将提升设备1从加热器2内部拆除只需要将每个支承臂5向上折起来，然后提升提升设备1。因此，不需要将提升部件连接在加热器2上，另外，因为是在竖向槽2A的上边支承着加热器，所以不需要制出特殊的支承部分。
另外，通过改变啮合舌8的连接位置，可以调节支承臂5的长度，因此，在不同孔径的加热器被提起和定位在拉伸设备的内部的那些情况下，支承臂5的长度可以予以调节来与加热器的内径匹配。因此不同尺寸的加热器的变换可以容易地进行。
例如，如图2和3所示，在半径大于加热器2的加热器12欲被提升的情况下，每个啮合舌8凸出的程度预先设定至一个较大的值，这样便可以加长支承臂5。
另外，因为每个臂顶部7安装有一个折叠止挡7a，那么，当支承臂5置于折叠位置时，每个折叠止挡7a将接触相关臂底部6的的上表面，因此可以控制支承臂5折叠的程度，从而防止支承臂超出设定角度的折叠。因此支承臂5不会比需要的折叠得更多。并且当支承臂5折叠时在臂顶部7的顶部和中央轴部件4之间的任何干涉可以避免，并且支承臂5的延伸和缩回可以简化。
另外，因为定位突体8c设置在每个啮合舌8的上边，那么，即使侧向力作用在支承于竖向槽2A的上边的加热器2上，定位突体8c也将与加热器2的表面接触，因此可以防止加热器2的位置的任何偏离。
本发明也包括下列实施例。
(1)在第一实施例的情况下，每个支承臂5分成一个臂底部6和一个臂顶部7。然而，只要支承臂可以向上折叠，其它的布置也是可行的。例如，支承臂这样连接，使得至中央轴部件的底部连接点充当枢转点，并且整个臂可以向上折叠(即臂是不分开的)，那么这样的支承臂也是适宜的。
(2)在第一实施例的情况下，三个支承臂5连接在中央轴部件4上。然而臂的数量不限于三个，任何多个臂都是可行的。在这种情况下，每个臂位于与加热器的竖向槽之一相应的位置。例如，四个臂可以围绕中央轴部件布置，在臂之间有90°的夹角，并且位于与竖向槽相应的位置处，而竖向槽的上边闭合。
(3)定位突体8c这样放置，使得在提升期间它们靠近加热器2的内表面。然而，它们也可以布置得靠近加热器的外表面。也就是说，定位突体可以这样形成，使得当啮合舌伸入竖向槽时，它们在伸过加热器的外侧表面的啮合舌的顶部向上凸出。这样，侧向偏离便可以通过与加热器的外表面相接触的定位突体来予以防止。
在加热器和其它部件之间没有多少分开距离的情况下(例如在保热缸的情况下)，最好是这样布置定位突体，使得它们靠近加热器的内表面，以便使突体超出加热器的外表面的量最少。
(4)支承臂5的长度是通过改变啮合舌从臂顶部凸出的距离来调节的。然而，也可以通过改变支承臂的不同部分来达到同样的调节。例如，臂底部可以这样构成，使得它的长度可以调节。
下面参照附图6-12描述用于将其它环形部件，例如溢流盘150，下屏151，保热缸152，和上环153等放置在加热炉内部的提升设备107。
目前，诸如环形保热部件等部件的形状和尺寸是与加热炉的各个部分的形状和尺寸相对应的，因此，有必要使用于提升各种部件的悬置夹具的形状和尺寸也是不同的。这意味着，每次提升不同部件时，必须使用适当的悬置夹具。因此，改变悬置夹具花费相当长的时间，并且各种悬置夹具的管理也是复杂的。
除了原来的问题还考虑了上述问题的第二实施例的环形部件提升设备107是一种可以利用单一的设备提升各种环形部件而无需提供各种悬置夹具的环形部件提升设备。
该环形部件提升设备107装备有一个从上述的承载设备102的吊钩机构106悬挂下来的悬置部件108，多个在一个近似水平的平面内从悬置部件108径向向外延伸的延伸臂(支承臂)109，110，111，112，113，114，和多个位于每个延伸臂的预定位置并且自由脱开的吊钩部件130可以在其上啮合的啮合部分115，116，117，118，119，120，121，122，123，124，125，126，127。
环形部件提升设备107由上述的吊钩机构106悬置。
在延伸臂109，111，112，113上的啮合部分118，119，123，127布置在以悬置部件的中央部分0为中心的近似的圆上。另外，在延伸臂110，112，114上的啮合部分115，120，124，啮合部分116，121，125，啮合部分117，122，126分别位于以悬置部件的中央部分0为中心的近似圆上。
啮合部分115，116，117，118，119，120，121，122，123，124，125，126，127通过布置几组彼此平行的具有预定间隔并在其内于相应的部位形成窄槽的角杆而形成。啮合部分115，117，120，122，124，126，如图7和8所示，每个都安装有一个螺钉131，以便防止已啮合吊钩部件130的脱开。
吊钩部件130，如图7和8所示，每个都装备有一个用于与连接环形部件的杆式零件(下面说明)相啮合的吊钩部分(啮合顶部)132，一个安装在吊钩部分132上用于啮合环形部件的突体部分133，和一个用于支承吊钩部分132和突体部分133以便它们可以自由围绕近似垂直的轴线旋转的旋转支承部分134。
销135安装在每个旋转支承部分134的上端用于啮合上述啮合部分。另外，吊钩部分132和突体部分133通过一个松紧螺丝扣136连接在旋转支承部分134的下部。球轴承(图中未示出)位于松紧螺丝扣136的内部，以便减小旋转期间的摩擦力。
每个吊钩部分132通过一个连接件137和一个销138连接在松紧螺丝扣136上，以便自由回转。吊钩部分132通过利用螺栓141将J形钩板140固定在一个基件139上而形成，而基件139通过销138连接，以便可以自由回转。突体部分133利用螺栓143将突体板142固定在钩板140的竖向部分而形成，使得突体板142沿着与钩板140的方向近似垂直的方向延伸出去。一个支承板144利用螺栓连接在突体板142的顶部。
下面描述在利用本发明的环形部件提升设备的第二实施例时采用的技术。
与环形部件提升设备107一起采用的加热炉通过构成多个不同的环形部件来形成，即放置一个底部环形部件，然后连续地将每个随后的环形部件放在前一个的顶部而形成，如图12所示。因此，通过将次屏151放置在一个溢流盘150上，将一个保热缸152放置在次屏151的上部上，然后将上环153安装在保热缸152的上表面上而形成加热炉。
首先，溢流盘150放置在底部，如图10所示。四个通孔150a位于围绕溢流盘150圆周的四个等距隔开的位置处。每个通孔150a中插入一个杆式件154。每个杆式件154包括一个中空底部156，同时一个突体155形成在底部156的一个端部上。底部156插入通孔150a中。
悬置件108从承载设备102的钩机构106上悬置下来。然后吊钩部件130与从悬置件108延伸出去的延伸臂109，111，115，113的啮合部分118，119，123，127相啮合，并且悬置件108逐渐降低并移动到靠近杆式件154的位置。然后延伸臂109，111，115，113围绕悬置件108的轴线旋转和定位，使得吊钩部件130的各个吊钩部分132与杆式件154的突体155相啮合。接着，承载设备的钩机构106向上提起，主和次回转臂104，105回转，将溢流盘150移动到希望的位置，然后在那里其被降低到位。
接着，次屏151被放置在溢流盘150的上部，如图9所示。次屏151是具有矩形截面的环形部件。吊钩部件130现在移过到啮合部分115，120，124并且利用安装在每个啮合部分上的螺钉131来固定。承载设备的钩机构106然后被降低，于是使悬置件108降低到吊钩部件130的突体部分133在次屏151的底边之下所在位置的位置。然后每个突体部分133围绕吊钩部件130的旋转支承部分134转过大约90°达到突体部分133所面对的次屏151的底边的位置。然后钩机构106上升，使突体部分133与次屏151的底边相啮合，于是将次屏151提升。然后主和次回转臂104和105回转，载着次屏151到希望的位置，然后在那里被降低到位。
接着，将保热缸152放置在次屏151的上部，如图11所示。三个通孔152a位于围绕保热缸152的圆周的三个等距隔开的位置处，并且圆筒件158插入每个通孔152a中。首先，将一个杆式件159插入在通孔152a内部的每个圆筒件158中，使得在每种情况下在杆式件159的末端的顶部160都从圆筒件158伸出。
然后吊钩部件130移过到啮合部分116，121，125，并且悬置件108逐渐降低并移到杆式件159的顶部160附近的位置。吊钩部件130的吊钩部分132然后与杆式件159的顶部160相啮合。接着，承载设备的吊钩机构106向上移动，并且主和次回转臂回转将保热缸152移动到需要的位置，在那里，其然后被降低到位。
最后，上环153被放置在保热缸的上表面，如图12所示。上环153是一个环形件。吊钩部件130移过到啮合部分117，122，126并且利用安装在每个啮合部分上的螺钉131固定。接着，承载设备的吊钩机构106被降低，于是将悬置件108降低到吊钩部件130的突体部分133处于上环153底边之下的位置的位置。然后将每个突体部分133围绕吊钩部件130的旋转支承部分134旋转大约90°到突体部分133面朝上环153的底边的位置。然后提升吊钩机构106，在突体部分133与上环153底边相啮合的情况下，于是将上环153提升。然后主和次回转臂104，105回转，将上环153载到所需要的位置，在那里其被降低到位。
通过利用第二实施例的环形部件提升设备和使吊钩部件130啮合在从悬置件108向外伸出的延伸臂109-114的经选择的啮合部分115-127，不同形状和不同尺寸的环形件(溢流盘150，次屏151，保热缸152，上环153)可以被提升和移到需要的地方。
因此，不必为每个环形部件提供单独的悬置夹具，因而也不必更换悬置夹具。因此，通过移动吊钩部件130的简单操作，便可以适应所有各种环形部件。因此操作效率显著提高，夹具的管理也成为简单的事情。
本发明具有下列效果。
本发明的一个实施例能够使啮合顶部啮合在环形部件上，在环形部件提升期间，只要使支承臂围绕悬置件轴线旋转并且将它们置于环形部件的预定位置，其可非常容易地进行，因此能够使提升作业的性能得以提高。
利用该实施例，每个支承臂能够向上折叠。因此，加热器可以通过将每个支承臂伸展至直线位置并且使啮合舌与加热器上的竖向槽的上边相啮合而被提升起来。另外，要从加热器上拆除提升设备时，只要将支承臂再折叠起来即可。因此，不需要将提升部件连接在加热器上，也不需要在加热器上形成特殊的支承部分，因此加热器的提升和定位的作业可以很容易地以稳定的方式完成。
另外，因为支承臂的长度可以调节，所以本发明可以通过调节支承臂的长度来与加热器的内径相匹配，而适用于所有尺寸，甚至于不同孔径的加热器。
另外，因为每个啮合舌都设置有定位突体，所以即使侧向力作用在支承于竖向槽上边的加热器上，定位突体也将或者与加热器的内表面接触或者与其外表面接触，从而可以防止任何侧向偏离，因此能够稳定提升加热器。
另外，因为臂顶部能够向上折叠，当支承臂处于延伸位置而降低入加热器时，因为接触加热器上边的并向上折叠的不是整个支承臂，而只是臂顶部，因此作用在加热器上的附加重量是小的，所以不太可能对加热器的外观造成损坏。
另外，折叠止挡安装在每个臂顶部，可以防止支承臂的折叠超过所需要的量。因此折叠止挡可以防止在弯曲臂顶部和悬置件之间的干涉，因而可以改善支承臂延伸和缩回操作的性能。
对于本发明的其它实施例，悬置件具有连接承载设备的提升机构的中央部分，并且支承臂装备有多个在预定位置的啮合部分，并且每个啮合部分放置在近似与悬置件的中央部分同心的圆上，并且构成啮合顶部的吊钩部件与每个啮合部分相啮合，所以可以自由脱开。另外，每个吊钩部件设置有一个充当啮合顶部的吊钩部分，用于啮合连接环形部件的杆式件，和一个用于啮合环形部件的是吊钩部分的一部分的突体部分，和一个用于支承吊钩部分和突体部分以便它们能够围绕一个近似的垂直线自由旋转的旋转支承部分。因此，可以利用一个单一的设备提升各种部件，而无需准备各种悬置夹具。
权利要求
1.一种环形部件的提升设备，该设备连接在安装有提升机构的承载设备上，用于提升和承载环形部件和将环形部件定位在预定位置，其特征在于，其设置有一个悬置在所述承载设备的提升机构之下的悬置部件；从所述悬置部件在一个水平平面内沿着径向伸出的多个支承臂；和设置在各个支承臂上的用于从环形部件的内部支承所述环形部件的啮合顶部。
2.如权利要求1所述的环形部件承载设备，其特征在于，所述环形部件是用于放置在半导体单晶体拉伸设备的气密容器的内部并包括多个至少在顶端闭合的竖向槽的圆筒形加热器，所述支承臂设置得长于所述加热器的半径，并且每个所述啮合顶部包括一个在每个支承臂末端的啮合舌，该啮合舌可以从加热器的内部伸入所述竖向槽并啮合于竖向槽的上边，并且所述啮合顶部制成得仅可以在向上的方向上折叠。
3.如权利要求2所述的环形部件承载设备，其特征在于，所述支承臂的长度可以调节。
4.如权利要求2或者3中任何一项所述的环形部件承载设备，其特征在于，所述啮合舌包括一个定位突体，当啮合舌伸入所述竖向槽时，该定位突体在靠近加热器的内表面或者外表面处向上凸起。
5.如权利要求2-4中任何一项所述的环形部件承载设备，其特征在于，所述支承臂包括一个其底端连接在所述悬置部件上的臂底部和一个连接在臂底部末端的臂顶部，所述臂顶部可以围绕一个在臂底部末端的枢转点仅在相对于臂底部向上的方向上折叠。
6.如权利要求5所述的环形部件承载设备，其特征在于，所述每个臂顶部包括一个从臂顶部的上表面凸起的折叠止挡，当臂顶部向上折叠时，该折叠止挡与所述臂底部的上表面相接触，从而可以控制折叠程度。
7.如权利要求1所述的环形部件承载设备，其特征在于，所述悬置部件具有一个连接在所述承载设备的提升机构上的中央部分，而所述支承臂装备有多个在预定位置的啮合部分，每个啮合部分布置在与所述悬置部件的中央部分近似同心的圆上，并且具有所述啮合顶部的吊钩部件可以脱开地与每个啮合部分相啮合，每个所述吊钩部件设置有一个充当所述啮合顶部的吊钩部分，用于啮合连接在所述环形部件上的杆式件，和一个是吊钩部分的一部分的用于啮合所述环形部件的突体部分，并且该吊钩部件形成有一个用于支承所述吊钩部分和所述突体部分以便它们能够自由围绕近似的垂直线旋转的旋转支承部分。
全文摘要
一种利用安装有提升机构的承载设备来提升环形部件和将其承载和布置在预定位置的环形部件提升设备，它包括一个从提升机构悬挂下来的悬置部件，多个从悬置部件在一个水平平面内沿着径向延伸的支承臂。每个所述支承臂具有一个用于从环形部件的内部支承环形部件的啮合顶部。
文档编号B66C1/66GK1168859SQ9710493
公开日1997年12月31日 申请日期1997年3月25日 优先权日1996年3月25日
发明者山崎昌一, 筑场三千雄, 田口裕章, 热海贵, 降屋久 申请人:三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社, 三菱麻铁里亚尔株式会社