专利名称：卡盘工装的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及卡盘领域，特别是指一种卡盘工装。
背景技术：
现有的分体式塑料卡盘工装在使用过程中具有如下缺点:(1)同心度有所偏差，在高速旋转时会导致卡盘上的掩膜板偏离中心，清洗后的洁净度无法达到标准，亦会出现无法在工作中正常自动翻转需人工手动翻转的情况。(2)塑料工装容易变形，若时间长了在工装上加工的卡盘不平整则掩膜板无法平整地固定在卡盘上，在清洗时高速旋转过程中易发生掩膜板从卡盘中脱落的现象。
实用新型内容本实用新型提出一种卡盘工装，解决了现有技术中的分体式塑料卡盘同心度有偏差，容易变形的问题。本实用新型的技术方案是这样实现的:一种卡盘工装，所述的工装本体是金属材料制成，所述的工装本体是一体铸造成型，所述的工装本体上设置有四个工装孔。进一步包括，所述的工装孔是由四个圆孔相交形成，所述的四个圆孔的圆心在一条直线上。进一步包括，所述的四个圆孔的直径大小不同。进一步包括，所述的工装本体上还设置有固定孔。有益效果:本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，通过把卡盘一体设计，使得同心度没有偏差；用金属制成的工装卡盘不易变形，不会出现工装卡盘上的卡盘脱落的现象。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型一个实施例的平面结构示意图；其中:1、工装本体；2，工装孔；3，固定孔。
具体实施方式
如图1所示，一种卡盘工装，工装本体I是金属材料制成，工装本体I是用铁一体铸造成型，在铣出加工各种尺寸卡盘所需加工工装的形状，然后将其六面磨平；工装本体上设置有四个工装孔2，工装孔2是由四个圆孔相交形成，所述的四个圆孔的圆心在一条直线上，重合部分去除掉，四个圆孔的直径大小不一定相同，形成了边缘是多个圆弧构成的工装孔2 ;工装本体上还设置有固定孔3，固定孔3设置在相邻的两个工装孔2之间，用于安装固定卡盘。使用改进的铁质一体卡盘工装可有效改善同心度偏离、掩模版脱落的情况。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种卡盘工装，其特征在于:所述的工装本体是金属材料制成，所述的工装本体是一体铸造成型，所述的工装本体上设置有四个工装孔。
2.按权利要求1所述的卡盘工装，其特征在于:所述的工装孔是由四个圆孔相交形成，所述的四个圆孔的圆心在一条直线上。
3.按权利要求2所述的卡盘工装，其特征在于:所述的四个圆孔的直径大小不同。
4.按权利要求1所述的卡盘工装，其特征在于:所述的工装本体上还设置有固定孔。
专利摘要本实用新型提出了一种卡盘工装，所述的工装本体是金属材料制成，所述的工装本体是一体铸造成型，所述的工装本体上设置有四个工装孔。本实用新型提供了一种铁质一体卡盘工装，可有效改善同心度偏离、掩模版脱落的情况。
文档编号B08B13/00GK202921629SQ20122058637
公开日2013年5月8日 申请日期2012年11月8日 优先权日2012年11月8日
发明者万庆, 李栋 申请人:常州瑞择微电子科技有限公司