一种离心清洗机的精密清洗系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种离心清洗机的精密清洗系统，包括相互连接的离心工作盘系统、环境净化系统、二流体雾化系统以及静电消除系统；所述离心工作盘系统由马达、联轴器、主轴及工作盘夹具连接组成；所述环境净化系统包括空气净化器、清洗室、前门气缸、排气口的连接；所述二流体雾化系统包括液路依次连接的纯水入口、电阻率、检测开关、泵浦、第一压力表、角座阀以及第一可调流量计；所述静电消除系统包括消静电装置、第三可调流量计、第一空气过滤器以及第二空气过滤器，消静电装置与清洗室连接。本实用新型实现更加人性化、自动化、高品质、节能环保的离心清洗机。
【专利说明】一种离心清洗机的精密清洗系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种精密清洗系统，特别涉及一种离心清洗机的精密清洗系统。
【背景技术】
[0002]半导体产业是现代电子工业的核心，而半导体产业的基础是硅材料工业。虽然有各种各样新型的半导体材料不断出现，但90%以上的半导体器件和电路，尤其是超大规模集成电路(ULSI)都是制作在高纯优质的硅单晶抛光片和外延片上的。
[0003]在MCP的工艺制造过程中，不可避免遭到尘埃、金属、有机物和无机物的污染。这些污染很容易造成其表面缺陷及孔内污垢，产生发射点、黑点、暗斑等，导致MCP的良品率下降，使得管子质量不稳定以至失效，因此在MCP的制造过程中利用清洗技术去除污染物十分重要。
[0004]以往电子清洗主要使用的是具有优良清洗效果和兼容性的氟氯烃溶剂的超声波清洗技术，但是在20世纪80年代，发现氟氯烃对大气臭氧层有破坏作用，故已被联合国列为禁用产品。随着电子设备不断向高频、高功率、小型化和可靠性发展，印制线路板组件密度越来越大，也导致传统的方法如喷淋和超声波清洗工艺的应用效果越来越不明显，并且发现超声波对微小型的器件有损伤作用，被各国禁止使用。
[0005]当前迫切需要一种新的清洗工艺以解决上述难题。离心清洗工艺技术是一种既能减少环境污染又能避免损伤元器件，而且能高效干净的清洗低架空高度和高密度封装的BGA及CSP的底部，同时能够满足绿色环保和高可靠性。而离心设计与二流体清洗的配合使用，更能大幅提高清洗品质，这两种系统的结合具有更好的渗透、溶解和去污效果。
实用新型内容
[0006]本实用新型主要是解决现有技术所存在的技术问题，从而提供一种实现清洗机更加人性化、自动化、高品质、节能环保的离心清洗机的精密清洗系统。
[0007]本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:
[0008]一种离心清洗机的精密清洗系统，包括相互连接的离心工作盘系统、环境净化系统、二流体雾化系统以及静电消除系统；所述离心工作盘系统由马达、联轴器、主轴以及工作盘夹具连接组成；所述环境净化系统包括依次连接的空气净化器、清洗室、前门气缸、排气口 ；所述二流体雾化系统包括依次连接的纯水入口、电阻率、检测开关、泵浦、第一压力表、角座阀以及第一可调流量计，所述二流体雾化系统还包括气路依次连接的气源入口、调压阀、第三压力表、第一空气过滤器、第二空气过滤器、第二电磁阀、第二流量计、第二压力表，二流体上喷杆气路处连接第一截止阀、二流体下喷杆气路处连接第二截止阀后，分别与第一可调流量计和第二可调流量计连接，二流体下喷杆液路单独设置有第一手动阀，二流体下喷杆气路单独设置有第二手动阀，二流体上喷杆与二流体下喷杆设置在清洗室内；所述静电消除系统包括消静电装置、第三可调流量计、第一空气过滤器以及第二空气过滤器，消静电装置与清洗室连接。
[0009]进一步地，所述气源入口后设置有调压阀和压力表。
[0010]进一步地，所述气路上连接有第一空气过滤器和第二空气过滤器。
[0011 ] 进一步地，所述二流体上喷杆连接有第一截止阀。
[0012]进一步地，所述二流体下喷杆连接有第二截止阀。
[0013]进一步地，所述二流体下喷杆液路连接有第一手动阀。
[0014]进一步地，所述二流体下喷杆气路连接有第二手动阀。
[0015]进一步地，所述在泵浦出口设置角座阀。
[0016]进一步地，所述角座阀前连接第一压力表。
[0017]进一步地，所述电阻率与泵浦之间的连接管道上有检测开关。
[0018]进一步地，所述二流体上喷杆与二流体下喷杆的液路连接第一可调流量计。
[0019]进一步地，所述二流体上喷杆与二流体下喷杆的气路连接第二可调流量计。
[0020]进一步地，所述消静电装置连接有第三可调流量计。
[0021]进一步地，所述清洗室顶部连接FFU。
[0022]进一步地,所述前门气缸与清洗室连接。
[0023]进一步地,所述旋转气缸与二流体上喷杆连接。
[0024]进一步地，所述空气净化器由风扇和过滤器连接组成。
[0025]采用上述技术方案的离心清洗机的精密清洗系统，由于烘干采用传统的烘干方式会二次污染产品，所以本实用新型采用离心脱水的离心工作盘系统；由于产品要求清洗的颗粒更小，对清洗室内部的空气要求非常高，所以本实用新型采用环境净化系统来净化清洗室内的空气；由于此类产品的清洗要求对产品无损伤、节省使用成本并能达到废水排放标准，所以本实用新型采用二流体清洗方式的二流体雾化系统；由于产品清洗过程中附带静电，静电会吸附环境中的尘埃，所以本实用新型采用静电消除系统避免环境污染清洗后的广品。
【专利附图】
【附图说明】
[0026]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本实用新型离心清洗机的精密清洗系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0028]下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0029]一种离心清洗机的精密清洗系统，包括相互连接的离心工作盘系统、环境净化系统、二流体雾化系统以及静电消除系统。
[0030]如图1所示,所述离心工作盘系统由马达34、联轴器35、主轴36及工作盘夹具37连接组成，该离心工作盘系统由马达34通过联轴器35连接主轴36，传递扭力带动工作盘夹具37作旋转运动，利用该系统旋转运动中产生的离心力辅助清洗，离心力与清洗压力的相互作用下，有很好的渗透、溶解和去污效果，并且该离心工作盘系统利用高转速下产生的离心力为元器件离心脱水，以此来达到干燥的目的。；
[0031]所述环境净化系统包括依次连接的空气净化器38、清洗室27、前门气缸25、排气口 21，所述环境净化系统由外部空气通过空气净化器38的净化后送至清洗室27，清洗室27内的空气由排气口 21排出，前门气缸25用于控制清洗室27内的密封，因产品要求去除的颗粒更小，所以设备的清洗室内部的空气要求非常高，因此环境净化系统用于避免环境污染清洗后的产品。
[0032]所述二流体雾化系统由气路和液路组成，包括通过液路依次连接的纯水入口 23、电阻率1、检测开关2、泵浦3、第一压力表5、角座阀4以及第一可调流量计6，所述二流体雾化系统还包括提高气路依次连接的气源入口 24、调压阀10、第三压力表11、第一空气过滤器12、第二空气过滤器13、第二电磁阀30、第二流量计14、第二压力表15，二流体上喷杆8气路处连接第一截止阀17、二流体下喷杆9气路处连接第二截止阀18后，分别与第一可调流量计6和第二可调流量计14连接，二流体下喷杆9液路单独设置有第一手动阀7，二流体下喷杆9气路单独设置有第二手动阀16，二流体上喷杆8与二流体下喷杆9设置在清洗室27内，清洗室27内的液体由排水口 22排出，第四电磁阀32控制角座阀4，第五电磁阀32控制旋转气缸26，旋转气缸26连接在二流体上喷杆8上；该二流体雾化系统中的气体和液体混合后形成二流体喷雾，喷雾高速冲击清洗面时产生冲击波和膨胀波，可在低破坏下使被清洗雾得到最佳效果；该二流体雾化系统的设计简单实用、成本低，在实际应用中能得到稳定的效果，并且易于保养和维护。
[0033]所述静电消除系统，压缩空气通过调压阀10连接第一空气过滤器12、第二空气过滤器13，由第一电磁阀29控制，经第三可调流量计19连接至消静电装置20，接入的压缩空气通过第一空气过滤器12、第二空气过滤器13净化后，通过消静电装置20后产生大量正负电荷吹出；形成一股正负电荷的气流，将物体表面所带的电荷中和掉，当物体表面所带为负电荷时，它会吸引气流中的正电荷，当物体表面所带为正电荷时，它会吸引电流中的负电荷，从而使物体表面上的静电被中和，达到消除静电的目的。该静电消除系统使用的是净化后洁净的压缩空气，对产品无二次污染，产品在消除了静电后能减少后期尘埃的粘附。
[0034]所述气源入口后设置有调压阀10和压力表11 ;所述气路上连接有第一空气过滤器12和第二空气过滤器13 ;所述二流体上喷杆8连接有第一截止阀17 ;所述二流体下喷杆9连接有第二截止阀18 ;所述二流体下喷杆9液路连接有第一手动阀7 ;所述二流体下喷杆9气路连接有第二手动阀16 ;所述泵浦3出口设置角座阀4 ;所述角座阀4前连接第一压力表5 ;所述电阻率I与泵浦之间3的连接管道上有检测开关2 ;所述二流体上喷杆8与二流体下喷杆9的液路连接第一可调流量计6 ;所述二流体上喷杆8与二流体下喷杆9的气路连接第二可调流量计14 ;所述消静电装置20连接有第三可调流量计19 ;所述清洗室27顶部连接空气净化器38 ;所述前门气缸25与清洗室27连接；所述旋转气缸26与二流体上喷杆8连接。
[0035]以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
【权利要求】
1.一种离心清洗机的精密清洗系统，包括相互连接的离心工作盘系统、环境净化系统、二流体雾化系统以及静电消除系统；其特征在于:所述离心工作盘系统包括马达、联轴器、主轴以及工作盘夹具；所述环境净化系统包括依次连接的空气净化器、清洗室、前门气缸以及排气口 ；所述二流体雾化系统包括通过依次连接的纯水入口、电阻率、检测开关、泵浦、第一压力表、角座阀以及第一可调流量计，所述二流体雾化系统还包括气路依次连接的气源入口、调压阀、第三压力表、第一空气过滤器、第二空气过滤器、第二电磁阀、第二流量计、第二压力表，二流体上喷杆气路处连接第一截止阀、二流体下喷杆气路处连接第二截止阀后，分别与第一可调流量计和第二可调流量计连接，二流体下喷杆液路单独设置有第一手动阀，二流体下喷杆气路单独设置有第二手动阀，二流体上喷杆与二流体下喷杆设置在清洗室内；所述静电消除系统包括消静电装置、第三可调流量计、第一空气过滤器以及第二空气过滤器，消静电装置与清洗室连接。
2.根据权利要求1所述的离心清洗机的精密清洗系统，其特征在于:所述气源入口后设置有调压阀和压力表。
3.根据权利要求2所述的离心清洗机的精密清洗系统，其特征在于:所述气路上连接有第一空气过滤器和第二空气过滤器。
4.根据权利要求1所述的离心清洗机的精密清洗系统，其特征在于:所述二流体上喷杆连接有第一截止阀。
5.根据权利要求1所述的离心清洗机的精密清洗系统，其特征在于:所述二流体下喷杆连接有第二截止阀。
6.根据权利要求1所述的离心清洗机的精密清洗系统，其特征在于:所述二流体下喷杆液路连接有第一手动阀。
7.根据权利要求1所述的离心清洗机的精密清洗系统，其特征在于:二流体下喷杆气路连接有第二手动阀。
8.根据权利要求1所述的离心清洗机的精密清洗系统，其特征在于:所述角座阀前连接第一压力表。
9.根据权利要求1所述的离心清洗机的精密清洗系统，其特征在于:所述电阻率与泵浦之间的连接管道上有检测开关。
10.根据权利要求1所述的离心清洗机的精密清洗系统，其特征在于:所述二流体上喷杆与二流体下喷杆的液路连接第一可调流量计。
【文档编号】B08B13/00GK203955616SQ201420231782
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年5月8日 优先权日:2014年5月8日
【发明者】李鑫 申请人:李鑫