专利名称：一种制造光纤预制棒的装置和方法
技术领域：
本发明涉及光纤预制棒的制造技术，具体地说，涉及带气体加热器的
轴向汽相沉积(VAD)装置和使用该装置制造光纤预制棒的方法。
背景技术：
光纤由光纤预制棒按比例拉制而成，而预制棒通常由折射率较高的芯 层和折射率较低的包层组成。由于99°/。以上的光信号都是在芯层中传输的， 因此芯棒的制造技术决定了光纤预制棒的光学特性。作为光纤预制棒芯棒 的制造方法之一，轴向汽相沉积(VAD)法(如申请号为10/142466、公开 号为US 6923024B2的美国专利申请，申请号为10/142689、公开号为US 6928841B2的美国专利申请，申请号为200610142065.5 、公开号为CN 19 94945 A的中国专利申请)是将燃烧反应生成的玻璃微粒沉积到旋转上升 的竖直种棒上形成疏松体，具有沉积效率高，成本低，易于大规模制造等 优点。
近年来，随着光纤需求量的增长和竟争的加剧，需要在不降低预制棒 光学特性的前提下制造较大尺寸规格的预制棒来进一步降低成本。使用轴 向汽相沉积制造大尺寸预制棒，需要更大、结构更复杂的多重喷灯来增大 玻璃粉尘的沉积量，同时需要严格控制反应腔内的压力场和温度场。如图 1所示，制造光纤预制棒的装置1包括反应腔2，用于沉积玻璃粉尘的第 一喷灯3和第二喷灯4，用于固定竖直种棒9的夹具5,用于使竖直种棒 旋转和提升的旋转提升部件6,排风口 7和补风口 8。制造光纤预制棒的 过程中，先将竖直种棒9竖直的固定在夹具5上，然后将SiCU、 GeC"气 体送至氢氧焰喷灯3、 4燃烧，在高温下水解生成玻璃粉尘。通常利用第 一喷灯3向竖直种棒9的中心部位喷射火焰在竖直种棒9的末端形成芯层 10，利用第二喷灯4向竖直种棒9的周围部分喷射火焰在芯层10上形成 包层11。芯层10的折射率高于包层11的折射率。竖直种棒不断地向上提 升和旋转，从而得到外径均匀的疏松体。疏松体经过脱水和玻璃化，形成
4具有芯层和部分包层组成的透明芯棒。
更具体地，原料气体(SiCU、 GeCl4)，可燃气体(H2)和助燃气体(02) 等从原料供应系统以设定的流速通向喷灯，当原料气体与喷灯中氬氧焰燃 烧产生的&0发生水解反应或者在IIO(TC甚至更高温度下与02发生直接氧 化反应生成Si02、 GeOW敖粒。反应式为
SiCl4 + 2H20 — Si02 + 4HC1
SiCl4 + 02 — Si02 + 2C12
GeCU + 2H20 — Ge02 + 4HC1
GeCh + 02 — Ge02 + 2C12 火焰产生的Si02、 Ge02颗粒漂浮在火焰中，形成气溶胶。当气溶胶粒 子存在于温度分布不均匀的气体中时，粒子受温度梯度的驱使会由高温处 往低温处运动，此现象称为热泳。由于温度梯度的作用，Si02、 GeO"鼓粒 随着从喷灯口喷出的热气体一起漂浮到温度相对较低的疏松体上。对疏松 体生长至关重要的芯层端面温度利用红外激光探测器监测，并通过控制芯 层喷灯的H2流量来调节疏松体端面温度(如申请号为10/131700、公开号 为US 6834516B2的美国专利申请)。
疏松体沉积过程中，排风口 7产生的负压将反应腔2内的废气以及未 沉积到疏松体上的玻璃粉尘抽送到排废管道当中。同时反应腔2通过补风 口 8补充洁净空气来达到压力平衡。从而保证了整个系统气体的正常循环， 使废气可以快速离开反应腔2避免了 HC1等化学物质扩散到反应腔2内壁 造成侵蚀。另一方面，气体的流动对预制棒的周围环境具有一定的冷却作 用，增大了温度梯度，增强了沉积效率，使更多的玻璃粉尘附着到疏松体 上。然而进入补风口的是处于室温状态的空气，由于昼夜温差等原因会使 空气温度存在一定的差异，引起喷灯火焰以及预制棒芯层端面温度的波 动，端面温度的波动使沉积到疏松体上的玻璃粉尘的组分发生变化，同时 疏松体的密度也可能发生改变。随着预制棒疏松体不断地向上提升，疏松 体长度方向上的芯层尺寸也随之变化，从而导致预制棒轴向生长的不均匀 性，使预制棒轴向的包芯比(内包层与芯层直径的比值)产生波动。
发明内容
本发明首先要解决的技术问题和提出的技术任务是克服现有技术存在的随着预制棒疏松体的提升，预制棒轴向生长不均匀，使预制棒轴向的包 芯比产生波动的缺陷，提供一种制造光纤预制棒的装置。为此，本发明采
用下述技术方案
一种制造光纤预制棒的装置，其包括
一个带有竖直种棒的反应器，该反应器具有反应腔；
设置在所述反应腔内用于将原料气体火焰水解生成的玻璃粉尘沉积到 所述竖直种棒上形成疏松体的至少一个喷灯；
用于排放所述反应腔内的废气以及未沉积到疏松体上的玻璃粉尘的排 风口以及用于向所述反应腔内补充清洁空气的补风口；
其特征是为所述的补风口配置有能够以设定的温度向所述的反应腔内 供给气体的气体加热器。
本发明其次要解决的技术问题和提出的技术任务是克服现有技术存在 的随着预制棒疏松体的提升，预制棒轴向生长不均匀，使预制棒轴向的包 芯比产生波动的缺陷，提供一种制造光纤预制棒的方法。为此，本发明采 用下述技术方案
一种制造光纤预制棒的方法，是在一个带有竖直种棒并设置有排风口 和补风口的反应器的反应腔内，通过喷灯燃烧，将原料气体火焰水解生成
的玻璃粉尘沉积到不断向上提升和旋转的竖直种棒上形成疏松体，其特征 是在所述形成疏松体的同时，通过所述的补风口向所述的反应腔以设定 的温度供给气体，使所述反应腔内温度场稳定。 本发明具有以下功能和效果
(1 )使从补风口进入到反应腔内的空气始终保持设定的温度，从而获 得包芯比稳定的光纤预制棒，提高疏松体的沉积效率。
(2 )温度控制单元能够根据出风口处的温度传感器测量的温度，自动 调节加热体的功率，保证出风口提供设定温度的热风，减小了进入到反应 腔气体的温度波动。
(3)加热气体进入反应腔，可以提高反应腔内的温度，节省用于加热 疏松体表面的可燃气体和助燃气体的量。
(4 )导流板具有整流作用，可使气体加热器24内流出的气体呈稳定、 均匀的层流状态，消除反应腔内气流紊乱的现象。从而减小了未沉积的Si02, Ge02微粒附着到反应腔内壁的可能性。
本发明其它的特征和优点，可以从以下结合附图的说明中将更全面的展现。
图1是现有的用轴向汽相沉积法制造光纤预制棒的装置的示意图。 图2是本发明用轴向汽相沉积法制造光纤预制棒的装置的优选实施例 的示意图。
图3是本发明的气体加热器24的轴向剖面示意图。
图4是本发明的气体加热器24出风口的横截面结构示意图。
图5是本发明用轴向汽相沉积法制造光纤预制棒的装置的另一个实施
例的示意图(该示意图项对于图l、 2的左视方向)。
图6是图5所示制造光纤预制棒的装置的气体加热器24出风口的横截
面结构示意图。
图7是本发明用轴向汽相沉积法制造光纤预制棒的装置的加热体的又 一种结构的横截面示意图。
图中l-制造光纤预制棒的装置，2-反应腔，3-第一喷灯，4-第二喷 灯，5-夹具，6-旋转提升部件，7-排风口， 8-补风口， 9-竖直种棒，10-芯层，11-包层，12-进风口， 13-壳体，14-加热体，15-温度传感器，16-温度控制单元，17-导流板，18-线圈骨架，19-电热丝，20-绝缘套筒，21-气体通孔，22-保护罩，23-出风口， 24-气体加热器。
具体实施例方式
以下结合附图对本发明的技术方案做进一步的说明。
本发明的制造光纤预制棒的装置，其包括
一个带有竖直种棒9的反应器，该反应器具有反应腔2;
设置在反应器的反应腔2内用于将原料气体火焰水解生成的玻璃粉尘 沉积到竖直种棒9上形成疏松体的至少一个喷灯3、 4;
用于排放反应腔2内的废气以及未沉积到疏松体上的玻璃粉尘的排风 口 7以及用于向反应腔2内补充清洁空气的补风口 8;
尤其是为补风口 8配置有能够以设定的温度向反应腔2内供给气体的 气体加热器24。该制造光纤预制棒的装置使从补风口 8进入到反应腔2内的空气始终保持设定的温度，从而获得包芯比稳定的光纤预制棒，提高疏 卡>体的沉积效率。
作为对上述技术方案的进一步完善和补充，本发明还包括以下附加的
技术特征，以便在实施上述技术方案时选用
首先，气体加热器24包括具有进风口 12和出风口 23的壳体13、设 置在壳体13内部的至少一个加热体14、设置在出风口 23处的测量气体温 度的温度传感器15、用于根据测得的温度而调节加热体功率的温度控制单 元16,壳体13连接在反应器上并令出风口 23与补风口 8对应，温度传感 器15与温度控制单元16相连接，温度控制单元16与加热体14相连接。
此时，
加热体14由绝缘材料制成的线圈骨架18、缠绕在线圈骨架18上的电 热丝19以及围绕在线圈骨架18和电热丝19周围的绝缘套筒20构成，并 在该加热体14内部形成有气体通孔21，具体的，线圈骨架18的^f黄截面为 十字形或米字形，从而在线圈骨架18与绝缘套筒20之间形成气体通孔21; 绝缘材料是陶瓷或云母。
气体加热器24出风口 23处设置用于使气体产生稳定层流的导流板 17，导流板17沿轴向平行分布于壳体13内部，且间隔相同。
气体加热器24进风口 12处设置能够透气的保护罩22,该保护罩22 可拆卸地安装在壳体13上。
其次，该制造光纤预制棒的装置还包括用于固定竖直种棒9的夹具5 和用于使竖直种棒9旋转和提升的旋转提升部件6。
图2示意的说明了本发明用轴向汽相沉积法制造光纤预制棒的装置的 一个较佳的实施例。该制造光纤预制棒的装置1包括带有反应腔2的反 应器，分别用于沉积预制棒疏松体芯层IO和包层11的第一喷灯3和第二 喷灯4 (图2中给出了两个喷灯的情况，但也可以使用一个喷灯或者多于 两个喷灯沉积疏松体)，用于固定竖直种棒9的夹具5,用于使竖直种棒9 旋转和提升的旋转提升部件6，形成在反应器上的用于排放反应腔2内的 废气和未沉积到疏松体上的玻璃粉尘的排风口 7以及用于向反应腔2内补 充清洁空气的补风口 8，为补风口 8配置的气体加热器24;其中的气体加 热器24包括具有进风口 12和出风口 23的壳体13、设置在壳体13内部轴
8向方向的加热体14、设置在出风口 23处的测量气体温度的温度传感器15、 用于根据温度传感器15测得的温度而调节加热体14功率的温度控制单元 16。
如图3所示，壳体13内壁设有保温层(图中未示出)，在壳体13—端 安装具有透气孔的保护罩22,壳体13另一端用于与反应腔2连接并位于 两喷灯上方。加热体14安装在壳体13内靠近出风口 23处，加热体14由 绝缘材料制成的线圈骨架18、缠绕在该线圈骨架18上的电热丝19以及围 绕在线圈骨架18和电热丝19外侧周围的绝缘套筒20构成，加热体14中 间留有气体通孔21使气流通过。线圈骨架18横截面为十字形，由两块绝 缘基板构成，基板厚度在0. 5~ 3mm之间。线圈骨架18横截面也可采用米 字形，但不限于此。线圈骨架18上均布凹槽，电热丝19以环绕的方式不 重叠地依序定位于凹槽内。绝缘材料最好是陶乾或者云母。电热丝19由 Ni-Cr合金制成。绝缘套筒20的外径略小于壳体13的内径，如此将绝缘 套筒20固定在壳体13内部，可减少热量的散失。温度传感器15设置于 气体加热器的出风口 23处并连接到温度控制单元16，温度控制单元16再 连接到加热体14上。温度控制单元16主要是由一个反馈电路和一个比较 器构成。当设定温度后，温度传感器15会测量出风口温度，当出风口温 度低于设定温度时，温度控制单元16会加大加热体14功率，反之则减小 加热体14功率或者停止加热，使气体温度达到设定温度。 一般的，从气
体加热器进入反应腔2的气体温度的波动幅度控制在rc以内，并以此作
为设定温度的参照。气体加热器24出风口 23处设置用于使气体产生稳定 层流的导流板17。如图4所示，长条形的片状导流板17等间隔的沿轴向 平行分布于壳体13内部，相邻的导流板17之间均有可使气流通过的间隙， 导流板17可自由拆除。被加热的气体沿平行的板片进入反应腔2，由于导 流板17均匀分布于出风口 23,因此能够产生稳定的层流热风。气体加热 器24进风口 12处设置能够透气的保护罩22,该保护罩22可拆卸地如通 过螺钉或螺紋连接安装在壳体13上。
气体加热器24与补风口 8相连，出风口 23与补风口 8相通，气体加 热器的补风口 8位于靠近喷灯4的上方，相对于包层喷灯口垂直距离为 5Q 200mm，而排风口 7位于反应腔2的另一侧，与补风口 8相对。通过对排风风口 7的抽风使反应腔2内的压力控制在-100Pa (-100Pa，即小于 标准大气压100Pa)左右，外部的空气通过气体加热器24、补风口8补充 到反应腔2内形成气流，可以及时地将未沉积到疏;^体上的Si(h、 Ge02微 粒排放到废气管道，防止其沉积到反应腔2内壁上。同时也有利于将两个 喷灯燃烧反应产生的热量及时带走，以降低预制棒周围的环境温度，增加 喷灯火焰与预制棒表面的温度梯度，增强热泳效率。需要说明的是，为了 保证产品纯度，外部的空气要求是10000级以上的洁净空气。补风口8的 大小可以根据反应腔2的大小以及所需的风量大小决定。通常其横截面积 在0. 05 ~ 0. 31112之间。
预制棒沉积过程中，外界气体在负压作用下进入气体加热器24，沿着 加热体内部气体通孔21流动，带走电热丝19所产生的高温热能，使被加 热气体温度升高，加热气体进入到反应腔2。其间，温度控制单元16依据 出风口 23处的温度传感器15的信号自动调节气体加热器输出功率，将出 风口 23的气体控制在设定温度，从而制造出包芯比均匀的预制棒。
图5是本发明用轴向汽相沉积法制造光纤预制棒的装置的另一个实施 例的示意图。图6是图5所示制造光纤预制棒的装置的气体加热器24出 风口的横截面结构示意图。在本实施例中，气体加热器24的部件与图2、 图3所示的实施例基本相同，但出风口位于喷灯3、 4的两侧，截面形状 为矩形。采用两个相同的气体加热器24或者带有两个出风口的气体加热 器24给反应腔补风，同时结合在高度方向上范围更大的矩形出风口，可 以有效地带走更多的未沉积到疏松体上的玻璃粉尘。
图7是本发明用轴向汽相沉积法制造光纤预制棒的装置的加热体的又 一种结构的横截面示意图。图中，除了加热体以外其它部件与图2、图3 所示的实施例相同。图3所示的实施例中气体加热器24中只有一个加热 体，而本实施例中安装了多个加热体。十字形的绝缘线圈骨架18上缠绕 有电热丝19，线圈骨架18和电热丝19固定在绝缘套筒20内构成一个加 热体。7个同样的加热体均勻地安装在壳体13内部，外部空气通过通孔 21被加热体加热。采用这种装置，气体加热更为均匀，效率更高。
以下说明本发明的方法'
根本的，本发明的制造光纤预制棒的方法，是在一个带有竖直种棒9
10并设置有排风口 7和补风口 8的反应器的反应腔2内，通过喷灯燃烧，将 原料气体火焰水解生成的玻璃粉尘沉积到不断向上提升和旋转的竖直种 棒9上形成疏松体，尤其是在形成疏松体的同时，通过补风口8向反应 腔2以设定的温度供给气体，使反应腔2内温度场稳定。
作为对上述方法的完善和补充，还包括以下附加的技术特征 通过为补风口 8配置气体加热器24以对补充向反应腔2内的清洁空气 加热使清洁空气保持在设定的温度，实现反应腔内温度场稳定。气体加热 器24,是通过在补风口 8内设置一带有进风口 12和出风口 23的壳体13， 在该壳体13内部位于进风口 12和出风口 23之间设置至少一个的加热体 14,在出风口 23处设置测量气体温度的温度传感器15,设置根据温度传 感器15测得的温度而调节加热体功率的温度控制单元16,将温度传感器 15与温度控制单元16相连接，温度控制单元16与加热体14相连接形成。 进一步的，在出风口 23处设置用于使气体产生稳定层流的导流板17以及 设置于进风口 12处能够透气的保护罩22。用绝缘材料制成线圈骨架18， 在线圈骨架18上缠绕电热丝19并在线圏骨架18和电热丝19周围围绕绝 缘套筒20构成加热体14,并在该加热体14内部形成气体通孔21。
补风口 8的风速控制在3m/s ~ 20m/s之间。当风速小于3m/s时，可能 造成未沉积的微粒不能有效地排放出反应腔2。由于补风口 8对着预制棒 疏松体，当风速大于20m/s时可能会造成疏松体晃动从而导致沉积过程中 的外径波动。
作为一个实例，使用图2所示的装置制造光纤预制棒疏松体。排气口 7与排气风机(图中未示出)连接，排气风机进行抽气，使反应腔2内的 压力为负压(如-100Pa,即小于标准大气压100Pa)。此时气体加热器24 工作，外部空气在负压作用下通过气体加热器1进入反应腔2，待反应腔 2的气体达到设定温度如IO(TC后保持恒温。将竖直种棒9安装在夹具5 上，使第一喷灯3对准竖直种棒9的下端，种棒9以30rpm的速度匀速旋 转。然后分别向第一喷灯3、第二喷灯4通入氢气和氧气，依次点燃第一 喷灯3和第二喷灯4，密封反应腔使压力控制在-100Pa左右。接着向第一 喷灯3通入气体原料SiCU、 GeCh使之发生水解反应，产生Si02、 Ge02微 粒沉积在竖直种棒9的下端形成芯层10,同时向第二喷灯4通入气体原料SiCh使之发生水解反应，产生Si02微粒沉积到芯层10的周围形成包层 11，竖直种棒9不断地旋转和提升，最后形成内外两层具有不同折射率的 预制棒疏松体。由于在沉积过程中补风温度始终保持在IO(TC (可以设定 一定的幅度如士O. 5°C),避免了补风对疏松体芯层端面温度的波动，制造 出的预制棒疏松体纵向波动较小。此外，反应腔内温度场的稳定可以减小 气流扰动，使疏^^体生长更为稳定。疏;^体经过脱水玻璃化后得到4)45 x 1550mm的透明芯才奉，包芯比为5. 0,芯/包同心度i吴差《4. 4mm，包层不圓 度《1. l,。
用图5所示的装置实施本发明的方法，所得产品的性能不亚于用图2 所示的装置实施本发明所得产品的性能。
尽管已经详细描述了本发明的优选实施例，本领域技术人员可以理解 的是，在不脱离如权力要求书所公开的本发明的精神和范围的前提下，对 具体要素的各种改进、添加和替换是可能的。
权利要求
1、一种制造光纤预制棒的装置(1)，其包括一个带有竖直种棒(9)的反应器，该反应器具有反应腔(2)；设置在所述反应腔(2)内用于将原料气体火焰水解生成的玻璃粉尘沉积到所述竖直种棒(9)上形成疏松体的至少一个喷灯(3、4)；用于排放所述反应腔(2)内的废气以及未沉积到疏松体上的玻璃粉尘的排风口(7)以及用于向所述反应腔(2)内补充清洁空气的补风口(8)；其特征是为所述的补风口(8)配置有能够以设定的温度向所述的反应腔(2)内供给气体的气体加热器(24)。
2、 根据权利要求1所述的一种制造光纤预制棒的装置，其特征是所述 的气体加热器(24)包括具有进风口 (12)和出风口 (23)的壳体(13)、设置在 壳体(13)内部的至少一个加热体(14)、设置在出风口 (23)处的测量气体温 度的温度传感器(15)、用于根据测得的温度而调节加热体功率的温度控制与补风口 (8)对应，所述的温度传感器(15)与所述的温度控制单元(16)相 连接，所述的温度控制单元(16)与所述的加热体(14)相连接。
3、 根据权利要求2所述的一种制造光纤预制棒的装置，其特征是所述 的加热体(14)由绝缘材料制成的线圏骨架(18)、缠绕在所述线圈骨架(18) 上的电热丝(19)以及围绕在所述的线圏骨架(18)和电热丝(19)周围的绝 缘套筒(20)构成，并在该加热体(14)内部形成有气体通孔(21)。
4、 根据权利要求3所述的一种制造光纤预制棒的装置，其特征是所述 的线圈骨架(18)的横截面为十字形或米字形，从而在所述的线圈骨架(18) 与所述的绝缘套筒(20)之间形成所述的气体通孔(21)。
5、 根据权利要求3所述的一种制造光纤预制棒的装置，其特征是所述 的绝缘材料是陶瓷或云母。
6、 根据权利要求2所述的一种制造光纤预制棒的装置，其特征是所述 的气体加热器(24)出风口 (23)处设置用于使气体产生稳定层流的导流板 (17),所述导流板(17)沿轴向平行分布于壳体内部，且间隔相同。
7、 根据权利要求2所述的一种制造光纤预制棒的装置，其特征是所述 的气体加热器(24)进风口 (12)处设置能够透气的保护罩(22)，该保护罩(22)可拆卸地安装在壳体(13)上。
8、根据权利要求1所述的一种制造光纤预制棒的装置，其特征是其还但降旋转和提升的旋转提升部件(6)。
9、 一种制造光纤预制棒的方法，是在一个带有竖直种棒(9)并设置有 排风口 (7)和补风口 (8)的反应器的反应腔(2)内，通过喷灯(3、 4)燃烧，将原料气体火焰水解生成的玻璃粉尘沉积到不断向上提升和旋转的竖直 种棒(9)上形成疏松体，其特征是在所述形成疏松体的同时，通过所述 补风口 (8)向所述的反应腔(2)以设定的温度供给气体，使所述反应腔(2) 内温度场稳定。
10、 根据权利要求9所述的一种制造光纤预制棒的方法，其特征是通 过为所述的补风口 (8)配置气体加热器(24)以对补充向所述反应腔(2)内 的清洁空气加热使清洁空气保持在设定的温度，实现所述反应腔(2)内温 度场稳定。
11、 根据权利要求IO所述的一种制造光纤预制棒的方法，其特征是通 过在所述的补风口 (8)内设置一带有进风口 (12)和出风口 (23)的壳体(13) ,在该壳体(13)内部位于所述进风口 (12)和出风口 (23)之间设置至少 一个加热体(14)，在出风口 (23)处设置测量气体温度的温度传感器(15)， 设置根据该温度传感器(15)测得的温度而调节加热体功率的温度控制单 元(16)，将所述温度传感器(15)与所述温度控制单元(16)相连接，温度控 制单元(16)与加热体(14)相连接形成所述的气体加热器(24)。
12、 根据权利要求11所述的一种制造光纤预制棒的方法，其特征是在 所述的出风口 (23)处设置用于使气体产生稳定层流的导流板(17)以及设 置于进风口 (12)处能够透气的保护罩(22)。
13、 根据权利要求11所述的一种制造光纤预制棒的方法，其特征是用 绝缘材料制成线圈骨架(18)，在线圈骨架(18)上缠绕电热丝(19)并在所述 的线圈骨架(18)和电热丝(19)周围围绕绝缘套筒(2 0)构成所述的加热体(14) ,并在该加热体(14)内部形成气体通孔(21)。
14、 根据权利要求9所述的一种制造光纤预制棒的方法，其特征是补 风口 8的风速控制在3m/s ~ 20m/s之间。
全文摘要
本发明公开了一种光纤预制棒的制造技术，现有技术存在随着预制棒疏松体的提升，预制棒轴向生长不均匀，使预制棒轴向的包芯比产生波动的缺陷，本发明是在一个带有竖直种棒并设置有排风口和补风口的反应器的反应腔内，通过喷灯燃烧，将原料气体火焰水解生成的玻璃粉尘沉积到不断向上提升和旋转的竖直种棒上形成疏松体，在所述形成疏松体的同时，通过补风口向所述的反应腔以设定的温度供给气体，使所述反应腔内温度场稳定。使从补风口进入到反应腔内的空气始终保持设定的温度，从而获得包芯比稳定的光纤预制棒，提高疏松体的沉积效率。
文档编号C03B37/018GK101492244SQ200810163529
公开日2009年7月29日 申请日期2008年12月29日 优先权日2008年12月29日
发明者冯高锋, 张立永, 杨军勇, 章海峰 申请人:富通集团有限公司