专利名称：玻璃膜的制造装置及制造方法
技术领域：
本发明涉及玻璃膜的制造技术的改良。
背景技术：
近年来，图像显示装置从CRT显示器，逐渐向比CRT显示器轻量且薄型的液晶显示器(IXD)、等离子显示器(PDP)、场致发射显示器(FED)、有机EL显示器(OLED)等平板显示器(FPD)转换。关于这些FPD，由于推进进一步的轻量化，因此FPD的主要结构构件之一的玻璃基板需要进一步的薄板化。另外，例如，有机EL不仅利用在通过TFT使光的三原色闪烁的显示器用途中，而且也仅使单色(例如白色)发光而逐渐被利用作为LCD的逆光或屋内照明的光源等平面光源。使用有机EL作为光源的照明装置由于构成有机EL的玻璃基板具有挠性，因此能够使 发光面自由地变形。因此，关于在这种照明装置中使用的玻璃基板，从充分的挠性确保的观点出发，进一步的薄板化(玻璃膜化)不断推进。在此，作为玻璃膜(薄板玻璃)的制造方法，例如在以下所示的专利文献I中有公开。详细而言，通过所谓下拉法将玻璃母材向铅垂下方拉出而成形玻璃膜带，使玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向，然后，对玻璃膜带实施宽度方向的切断加工而能得到规定尺寸的薄板玻璃。需要说明的是，根据玻璃膜带的板厚，在将行进方向转换成水平方向之后，有时不实施宽度方向的切断加工，卷绕于卷芯而得到所谓玻璃卷。在先技术文献专利文献专利文献I日本特开平9-52725号公报发明的概要发明要解决的课题作为用于转换玻璃膜带的行进方向的机构，如上述专利文献I记载那样，通常使用形成有弯曲成圆弧状的移送路的传送设备或多个辊体，而且，作为该传送设备或辊体，通常使用对玻璃膜带的宽度方向整个区域进行接触支承的结构。然而，在对玻璃膜带的宽度方向整个区域进行接触支承的状态下转换玻璃膜带的行进方向时，伴随着与传送设备等的接触，在玻璃膜带的表面、尤其是成为最终产品(玻璃膜)的宽度方向中央区域的表面上容易形成伤痕或裂纹等缺陷。这种缺陷多是目视无法发现的微小的缺陷，若将具有缺陷的玻璃膜直接交付给后工序，则在后工序中实施规定的追加加工时，玻璃膜容易产生预料外的破损等。当玻璃膜发生破损等时，会对生产效率和产品成品率造成很大的坏影响。
发明内容
本发明的目的是在将玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向时，尽量防止玻璃膜带表面形成微小缺陷的情况，由此，尽量减少不合格品向后工序流出的可能性。
用于解决课题的手段为了实现上述目的而创立的玻璃膜的制造装置的第一发明具备方向转换装置，该方向转换装置使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向，所述玻璃膜的制造装置的特征在于，方向转换装置具有将玻璃膜带支承为沿着长度方向弯曲的状态的弯曲支承机构，弯曲支承机构由不支承玻璃膜带的宽度方向中央区域而支承宽度方向端部区域的两排端部支承部构成。需要说明的是，在本发明中所说的“铅垂方向”也包括相对于铅垂方向而稍倾斜的方向，同样地，“水平方向”也包括相对于水平方向而稍倾斜的方向。而且，在本发明中所说的“玻璃膜”包括切断成规定尺寸的薄板玻璃、卷绕成卷状的薄板玻璃(所谓玻璃卷)等。在以下所示的本发明的其他的结构中也同样。从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带的宽度方向端部区域由卷等把持，通过牵引来控制其厚度，因此玻璃膜带中的成为有效部的仅局限于宽度方向中央区域。因此，如上 述那样，若利用不支承玻璃膜带的宽度方向中央区域而支承宽度方向端部区域的两排端部支承部来构成弯曲支承机构，则能避免玻璃膜带的弯曲移送时的玻璃膜带的宽度方向中央区域与弯曲支承机构的接触。由此，在玻璃膜带的宽度方向中央区域即有效部难以形成微小缺陷，玻璃膜的不合格品难以向后工序流出。另外，为了实现上述目的而创立的玻璃膜的制造装置的第二发明具备方向转换装置，该方向转换装置使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向，所述玻璃膜的制造装置的特征在于，方向转换装置具有将玻璃膜带支承为沿着长度方向弯曲的状态的弯曲支承机构，弯曲支承机构具有对玻璃膜带的宽度方向端部区域进行支承的两排端部支承部、夹设在两排端部支承部之间而能够支承玻璃膜带的宽度方向中央区域的中央支承部，中央支承部在对玻璃膜带的宽度方向中央区域进行支承的支承位置与未对玻璃膜带的宽度方向中央区域进行支承的退避位置之间能够往复移动。在玻璃膜带的成形初期阶段，玻璃膜带的前端部处于自由的状态，本来成形精度就难以稳定，若玻璃膜带的宽度方向中央区域从成形开始阶段未进行支承，则到成形精度稳定为止的时间变得长期化，会导致生产效率的下降和成品率的下降。相对于此，若弯曲支承机构夹设在两排端部支承部之间，且具有上述形态中的能够往复移动的中央支承部，则能够容易地切换玻璃膜带的宽度方向中央区域的支承/非支承。因此，例如，若在玻璃膜带的成形精度达到稳定为止期间(从成形开始到经过规定时间为止期间)，中央支承部采取支承位置，而在经过规定时间之后，中央支承部采取退避位置，则玻璃膜带的宽度方向中央区域即有效部难以形成微小缺陷，而且玻璃膜带的成形精度达到稳定为止的时间缩短，能够实现生产效率和成品率的提高。需要说明的是，玻璃膜带的成形初期部基本上不实际使用，因此其即使形成伤痕或裂纹等也没有特别的问题。另外，为了实现上述目的而创立的玻璃膜的制造装置的第三发明具备方向转换装置，该方向转换装置使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向，所述玻璃膜的制造装置的特征在于，方向转换装置具有将玻璃膜带支承为沿着长度方向弯曲的状态的弯曲支承机构，弯曲支承机构具有对玻璃膜带的宽度方向端部区域进行支承的两排端部支承部、夹设在该两排端部支承部之间而能够对玻璃膜带的宽度方向中央区域进行非接触支承的中央支承部。通过这种结构的制造装置，在玻璃膜带的弯曲移送时，能避免玻璃膜带的宽度方向中央区域与弯曲支承机构的接触。因此，能够尽量防止玻璃膜带的宽度方向中央区域即有效部形成微小缺陷的情况。这种情况下，可以是，中央支承部在对玻璃膜带的宽度方向中央区域进行非接触支承的支承位置与未对玻璃膜带的宽度方向中央区域进行支承的退避位置之间能够往复移动。作为用于对玻璃膜带的宽度方向中央区域进行非接触支承的具体的机构的一例，可考虑使弯曲支承机构的中央支承部具有朝向玻璃膜带能够喷射空气的空气供给路。
这样的话，利用空气的喷射压(弯曲支承机构的中央支承部与玻璃膜带之间形成的空气层)能够对玻璃膜带的宽度方向中央区域进行非接触支承。而且，若在弯曲支承机构的中央支承部与玻璃膜带之间形成空气层，则通过该空气层能够吸收基于玻璃膜带各部间的板厚差的应力的变化。因此，能提高玻璃膜带甚至玻璃膜的成形精度。在以上的结构中，弯曲支承机构的两排端部支承部可以具有朝向玻璃膜带能够喷射空气的空气供给路。这样的话，能够对玻璃膜带的宽度方向端部区域进行非接触支承。由此，能够尽量防止伴随着弯曲支承机构(端部支承部)与玻璃膜带的接触而形成的玻璃膜带的向宽度方向端部区域的微小缺陷。因此，在宽度方向端部区域形成微小缺陷所产生的坏影响难以波及到作为有效部的宽度方向中央区域。两排端部支承部可以对玻璃膜带的宽度方向端部区域进行接触支承，这种情况下，两排端部支承部以与玻璃膜带的向下游侧的移送速度大致相同的速度进行驱动。这样的话，玻璃膜带的弯曲移送在玻璃膜带与端部支承部恰好一体化的状态下进行，因此能尽量防止玻璃膜带与端部支承部的相对的滑动移动。因此，能够尽量防止玻璃膜带的宽度方向端部区域形成微小缺陷而产生的坏影响波及到作为有效部的宽度方向中央区域的事态。以上的结构优选适用于成形的玻璃膜带的宽度方向中央部(中央部附近)的板厚为10 μ m以上且300 μ m以下的情况。在玻璃膜带的宽度方向中央部的板厚低于ΙΟμπι时，玻璃膜带的刚性(强度)不足。因此，这种情况下，玻璃膜带的自重引起的弯曲增大，由于该弯曲的部分与制造装置的预料外的接触，而裂纹(微小缺陷)的发生概率升高。另一方面，以上述形态成形的玻璃膜带中，宽度方向端部区域的板厚容易大于宽度方向中央区域的板厚。因此，在宽度方向中央部的板厚超过300 μ m时，宽度方向端部区域的板厚变得过厚，难以使玻璃膜带弯曲。由此，本发明适合于成形的玻璃膜带的宽度方向中央部(中央部附近)的板厚为ΙΟμπι以上且300 μ m以下的情况。在以上的结构中，成形装置优选通过溢流下拉法来成形玻璃膜带。由玻璃膜带得到的玻璃膜被使用作为例如FH)用的玻璃基板，在这样的用途中，由于通过后工序进行在玻璃膜表面设置微细的元件和配线的作业，因此玻璃膜带需要具备高的平滑性(平面度)。关于这一点，在溢流下拉法的情况下，在仅表面与外气(气氛气体)接触的状态下进行玻璃膜带的成形，因此与槽孔下拉法等的使用了管嘴的成形法相比，能够使玻璃膜带确保高的平面度。需要说明的是，同样的效果通过使用对于已经固化的二次加工用的玻璃母材进行加热而将其拉长的所谓再拉法来成形玻璃膜带的成形装置也能得到。为了实现上述的目的而创立的玻璃膜的制造方法的第一发明包括使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向的方向转换工序，所述玻璃膜的制造方法的特征在于，在方向转换工序中，支承玻璃膜带的宽度方向端部区域而不支承玻璃膜带的宽度方向中央区域。根据这种制造方法，能够有效地享受与采用上述的玻璃膜的制造装置的第一发明的情况同样的作用效果。另外，为了实现上述的目的而创立的玻璃膜的制造方法的第二发明包括使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将玻璃 膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向的方向转换工序，所述玻璃膜的制造方法的特征在于，在方向转换工序中，支承玻璃膜带的宽度方向端部区域，并对支承玻璃膜带的宽度方向中央区域的状态与不支承玻璃膜带的宽度方向中央区域的状态进行切换。根据这种制造方法，能够有效地享受与采用上述的玻璃膜的制造装置的第二发明的情况同样的作用效果。另外，为了实现上述的目的而创立的玻璃膜的制造方法的第三发明包括使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向的方向转换工序，所述玻璃膜的制造方法的特征在于，在方向转换工序中，支承玻璃膜带的宽度方向端部区域，并对玻璃膜带的宽度方向中央区域进行非接触支承。根据这种制造方法，能够有效地享受与采用上述的玻璃膜的制造装置的第三发明的情况同样的作用效果。发明效果如以上所示，根据本发明，在将玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向时，能够尽量防止玻璃膜带形成微小缺陷的情况。由此，在后工序中能够尽量减少玻璃膜的不合格品流出的可能性，从而能够有助于后工序的加工效率的提闻和成品率的提闻。
图I是本发明的实施方式的玻璃膜的制造装置的局部概略侧视图。图2a是图I的主要部分主视图。图2b是图I的主要部分立体图。图3a是本发明的另一实施方式的玻璃膜的制造装置的主要部分立体图。图3b是本发明的另一实施方式的玻璃膜的制造装置的主要部分立体图。图4a是本发明的另一实施方式的玻璃膜的制造装置的主要部分主视图。图4b是本发明的另一实施方式的玻璃膜的制造装置的主要部分立体图。
图5a是本发明的另一实施方式的玻璃膜的制造装置的主要部分主视图。图5b是本发明的另一实施方式的玻璃膜的制造装置的主要部分立体图。图6a是本发明的另一实施方式的玻璃膜的制造装置的主要部分立体图。图6b是本发明的另一实施方式的玻璃膜的制造装置的主要部分立体图。
具体实施例方式以下，基于附图，说明本发明的实施方式。图I是本发明的一实施方式的玻璃膜的制造装置I的局部概略侧视图。该图所示的制造装置I至少具备成形玻璃膜带G的成形装置10 ;设置在成形装置10的下游侧的方向转换装置20 ;设置在方向转换装置20的下游侧并将玻璃膜带G的宽度方向端部区域(宽度方向两端部)切断的端部切断装置30。在端部切断装置30的下游侧还设有将玻璃膜带G卷绕成卷状而得到玻璃膜的卷体(玻璃卷)的卷绕装置、或通过将玻璃膜带G沿着宽度方向切断而得到规定尺寸的薄板玻璃的宽度方向切断装置(均未图示)。成形装置10通过将熔融玻璃向铅垂下方拉出而成形玻璃膜带G，在其内部，从铅垂上方朝向铅垂下方依次设有成形区域10A、退火区域IOB及冷却区域10C。在成形区域IOA配置有剖面楔状的成形体11，在退火区域IOB及冷却区域IOC上以规定间隔配置有多个辊体12。辊体12以将玻璃膜带G夹入的方式在玻璃膜带G的表面侧及背面侧成对设置。在退火区域IOB及冷却区域IOC分别配置的辊体12(辊体12的组)中的至少位于退火区域IOB的最上部的辊体12作为用于对玻璃膜带G进行冷却的冷却辊而发挥功能，并且作为用于将玻璃膜带G向铅垂下方拉出的驱动辊而发挥功能。配置在退火区域IOB上的其他的辊体12的一部分或全部、及配置在冷却区域IOC上的辊体12的一部分或全部既可以是空转的自由辊(引导辊)，也可以是驱动辊。具有所述结构的成形装置10如下那样成形玻璃膜带G。首先，当从图示外的熔融窑向成形体11供给熔融玻璃时，熔融玻璃从成形体11的顶部溢出，溢出后的熔融玻璃顺着成形体11的两侧面在成形体11的下端进行合流，由此开始玻璃膜带G的成形。以后，通过向成形体11连续地供给熔融玻璃，而连续地成形玻璃膜带G。如此成形的玻璃膜带G向铅垂下方直接流下，通过成形区域IOA的下方设置的退火区域IOB而被退火，将残留应变除去。然后，当残留应变除去后的玻璃膜带G通过冷却区域IOC时，玻璃膜带G被冷却至室温程度的温度。以上所示的玻璃膜带G的成形方法是所谓溢流下拉法。在溢流下拉法中，由于在仅表面与外气(成形装置10中的气氛气体)接触的状态下进行玻璃膜带G的成形，因此具有能够确保玻璃膜带G的高平面度的优点。因此，将由该玻璃膜带G得到的玻璃膜使用作为例如FH)用的玻璃基板时，在表面容易高精度地形成微细的元件、配线。从成形装置10的下端排出的(通过了冷却区域IOC的)玻璃膜带G向方向转换装置20移送(移载)，沿着方向转换装置20移送玻璃膜带G，由此将其行进方向从铅垂方向转换成水平方向。该方向转换装置20具有将玻璃膜带G支承为沿着长度方向弯曲的状态的弯曲支承机构21。如图2(a) (b)所示，本实施方式的弯曲支承机构21由不支承玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb而支承宽度方向端部区域Ga、Ga的两排端部支承部22、22构成。S卩，本实施方式的弯曲支承机构21不具有支承玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb的机构。各端部支承部22由辊体24的排构成，该辊体24的排形成以规定的曲率弯曲的圆弧状的移送路而沿着玻璃膜带G的长度方向以规定间隔配置，且对玻璃膜带G的宽度方向端部区域Ga进行接触支承。在本实施方式中，构成端部支承部22的全部的辊体24由进行旋转驱动的驱动辊构成。各辊体24的旋转速度设定成与玻璃膜带G的向下游侧的移送速度(行进速度)大致相同的速度。辊体24中的至少与玻璃膜带G接触的部分为了抑制或防止玻璃膜带G上形成伤痕等而优选由树脂或橡胶等弹性材料(软质材料)形成。由于方向转换装置20具有以上的结构，因此在将玻璃膜带G沿着该方向转换装置20(方向转换工序)向下游侧移送时，玻璃膜带G沿着长度方向弯曲成圆弧状。如此，在玻璃膜带G沿着长度方向弯曲的状态下进行向下游侧的移送，由此将玻璃膜带G的行进方向从铅垂方向转换成水平方向。然后，当玻璃膜带G到达端部切断装置30时，玻璃膜带G的宽度方向端部区域Ga、Ga被切断。虽然省略了详细的图示及说明，但作为端部切断装置30，可以使用所谓折断装置或激光割断装置等。由此，玻璃膜带G被分割成宽度方向端部区域 Ga和宽度方向中央区域Gb。宽度方向端部区域Ga被废弃，而宽度方向中央区域Gb又向下游侧被移送而沿着宽度方向被切断，由此加工成规定长度的玻璃膜(玻璃卷或规定尺寸的薄板玻璃)。需要说明的是，在此，在宽度方向端部区域Ga、Ga的切断后，进行宽度方向的切断，但也可以与之相反，在进行了宽度方向的切断加工之后，将宽度方向端部区域Ga、Ga切断。如上所述，在玻璃膜带G中的成为有效部的不局限于玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb。因此，如上述那样，若通过不支承玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb而支承宽度方向端部区域Ga、Ga的两排端部支承部22、22构成弯曲支承机构21，则能避免弯曲移送中的玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb与弯曲支承机构21的接触。由此，能够尽量防止作为有效部的宽度方向中央区域Gb上形成微小缺陷的情况，能够尽量减少玻璃膜的不合格品向后工序流出的可能性。另外，在两排端部支承部22、22对玻璃膜带G的宽度方向端部区域Ga、Ga进行接触支承且由辊体24的排构成而辊体24的排由驱动辊构成的本实施方式中，由于将辊体24的旋转速度设定成与玻璃膜带G的向下游侧的移送速度大致相同的速度，因此玻璃膜带G的方向转换(弯曲状态下的向下游侧的移送)在辊体24 (端部支承部22)与玻璃膜带G恰好一体化的状态下进行。由此，能尽量防止玻璃膜带G与端部支承部22的相对的滑动移动，因此在玻璃膜带G的宽度方向端部区域Ga难以形成微小缺陷。因此，由于宽度方向端部区域Ga形成微小缺陷而产生的坏影响也难以波及到宽度方向中央区域Gb。需要说明的是，尤其是在玻璃膜带G的宽度方向端部区域Ga与端部支承部22即使相对地滑动移动也没有特别问题的情况下，端部支承部22可以是仅由空转的辊体24 (引导辊)构成的结构，也可以是一部分由旋转驱动的辊体构成且其他由空转的辊体构成的结构。在上述的形态下对玻璃膜带G进行弯曲移送的情况下，在玻璃膜带G的宽度方向中央部的板厚低于10 μ m时，由于玻璃膜带G的刚性(强度)不足，因玻璃膜带G的自重而引起的宽度方向的弯曲增大。这种情况下，由于弯曲的部分与制造装置的预料外的接触而容易产生裂纹等微小缺陷。而且，以上述形态成形的玻璃膜带G中，宽度方向端部区域Ga的板厚容易大于宽度方向中央部的板厚。因此，在宽度方向中央部的板厚超过300 μ m的情况下，宽度方向端部区域Ga的板厚变得过厚，难以使玻璃膜带G以规定的曲率弯曲。因此，作为成形装置10，优选使用能够成形出宽度方向中央部(中央部附近)的板厚为ΙΟμπι以上且300 μ m以下的玻璃膜带G的成形装置。需要说明的是，当考虑玻璃膜带G的弯曲变形性时，作为成形装置10，更优选为能够成形出宽度方向中央部的板厚为200 μ m以下的玻璃膜带G的成形装置，进一步优选为能够成形出100 μ m以下的玻璃膜带G的成形装置,最优选为能够成形出50 μ m以下的的玻璃膜带G的成形装置。以上，对于本发明的玻璃膜的制造装置的一实施方式进行了说明，但本发明并未限定于此，尤其是对于方向转换装置20可以实施各种变更。图3a及图3b表示本发明的另一实施方式的玻璃膜的制造装置的主要部分立体图。两图表示图2所示的方向转换装置20的变形例，详细而言，弯曲支承机构21具备对玻 璃膜带G的宽度方向端部区域Ga、Ga进行支承的两排端部支承部22、22和夹设在该端部支承部22、22之间而能够对玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb进行支承的中央支承部23，并且该中央支承部23在对玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb进行支承(接触支承)的支承位置(图3a)与未对玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb进行支承的退避位置(图3b)之间能够进行往复移动。这种结构能够优选适用于在玻璃膜带G的成形开始后，要使玻璃膜带G的成形精度提前稳定的情况。即，在玻璃膜带G的成形初期阶段，玻璃膜带G的前端部处于自由的状态，本来成形精度就难以稳定，若玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb从玻璃膜带G的成形开始阶段就完全不支承的话，成形精度达到稳定为止的时间变得长期化，会导致生产效率的下降或成品率的下降。相对于此，弯曲支承机构21若具有能够进行上述形态下的往复移动的中央支承部23，则能够容易地切换玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb的支承/非支承。因此，若在玻璃膜带G的成形精度达到稳定为止期间(从成形开始到经过规定时间为止期间)，中央支承部23在支承位置上待机，而在经过规定时间之后，中央支承部23退避到退避位置，则玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb即有效部难以形成微小缺陷，而且玻璃膜带G的成形精度达到稳定为止的时间缩短，能够实现生广效率和成品率的提闻。另外，方向转换装置20在对宽度方向端部区域Ga、Ga进行非接触支承的状态下将玻璃膜带G向下游侧弯曲移送，由此能够将玻璃膜带G的行进方向从铅垂方向转换成水平方向。这种结构例如图4a及图4b所示通过由辊体25的排构成各端部支承部22而能够得至IJ，该辊体25的排具有朝向玻璃膜带G能够喷射空气的空气供给孔(空气喷射孔)。作为这种辊体25，例如可以使用由烧结金属、多孔树脂(发泡树脂)、陶瓷等多孔材料形成的结构，也可以使用在非多孔的构件上穿设有贯通孔的结构。需要说明的是，这种情况下，在辊体25上至少设置具有能够对玻璃膜带G赋予浮起力那样的方向性的空气供给孔。而且，也可以设置具有能够对玻璃膜带G赋予向下游侧的传送力那样的方向性的空气供给孔。根据这种结构，在玻璃膜带G的宽度方向端部区域Ga、Ga与弯曲支承机构21的端部支承部22非接触的状态下，进行玻璃膜带G的向下游侧的弯曲移送，因此在玻璃膜带G的宽度方向端部区域Ga、Ga难以形成微小缺陷。由此，能够尽量防止在宽度方向端部区域Ga、Ga形成微小缺陷产生的坏影响波及到宽度方向中央区域Gb的事态，因此能够得到更高品质的玻璃膜。另外，如图5a及图5b所示，方向转换装置20的弯曲支承机构21可以具备对玻璃膜带G的宽度方向端部区域Ga、Ga进行非接触支承的两排端部支承部22、22 ;夹设在该端部支承部22、22间，而对玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb进行非接触支承的中央支承部23。在本实施方式中，利用具有空气供给孔且沿着宽度方向横切玻璃膜带G而延伸的辊体26的排来构成两排端部支承部22、22及中央支承部23。即使在这样的情况下，在玻璃膜带G的弯曲移送时，也能避免玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb与弯曲支承机构21的接触。因此，能够尽量防止在玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb即有效部形成微小缺陷的情况。尤其是由于构成中央支承部23的各辊体26 具有空气供给孔，因此在玻璃膜带G的弯曲移送中，在弯曲支承机构21的中央支承部26与玻璃膜带G之间能够形成空气层。若形成这种空气层，则能够吸收基于玻璃膜带G的各部间的板厚差的应力的变化。因此，能够提高玻璃膜带G、甚至玻璃膜的成形精度。需要说明的是，图5a及图5b所示的弯曲支承机构21将两排端部支承部22、22和中央支承部23 —体设置，但也可以使它们分离独立，与图3所示的实施方式同样地，中央支承部23在对玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb进行支承(非接触支承)的支承位置与未对玻璃膜带G的宽度方向中央区域Gb进行支承的退避位置之间进行往复移动。在以上说明的实施方式中，两排端部支承部22、22、中央支承部23均由沿着玻璃膜带G的长度方向以规定间隔配置的辊体的排构成，但也可以如图6所示，两排端部支承部22、22及中央支承部23中的任一方或双方由沿着玻璃膜带G的长度方向弯曲而延伸的传送设备构成。需要说明的是，图6a是在弯曲支承机构21仅由两排端部支承部22、22构成的情况下表示利用传送设备构成各端部支承部22时的一例的图，图6b是在弯曲支承机构21由两排端部支承部22、22和中央支承部23构成的情况下表示利用传送设备构成两支承部22、23时的一例的图。另外，以上虽然说明了在装入了通过所谓溢流下拉法进行玻璃膜带G的成形的成形装置10后的玻璃膜的制造装置I中适用本发明的情况，但本发明也可以优选适用在装入了通过对固化的二次加工用的玻璃母材进行加热而将其拉长的所谓再拉法进行玻璃膜带G的成形的成形装置后的玻璃膜的制造装置I中。符号说明I 玻璃膜的制造装置10成形装置IOA成形区域IOB退火区域IOC冷却区域20方向转换装置21弯曲支承机构22端部支承部23中央支承部
24辊体25辊体30端部切断装置 G玻璃膜带Ga宽度方向端部区域Gb宽度方向中央区域
权利要求
1.一种玻璃膜的制造装置，具备方向转换装置，该方向转换装置使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将所述玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向，所述玻璃膜的制造装置的特征在于， 所述方向转换装置具有将所述玻璃膜带支承为沿着长度方向弯曲的状态的弯曲支承机构，该弯曲支承机构由不支承所述玻璃膜带的宽度方向中央区域而支承宽度方向端部区域的两排端部支承部构成。
2.一种玻璃膜的制造装置，具备方向转换装置，该方向转换装置使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移 送，由此将所述玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向，所述玻璃膜的制造装置的特征在于， 所述方向转换装置具有将所述玻璃膜带支承为沿着长度方向弯曲的状态的弯曲支承机构，该弯曲支承机构具有对所述玻璃膜带的宽度方向端部区域进行支承的两排端部支承部、夹设在该两排端部支承部之间而能够支承所述玻璃膜带的宽度方向中央区域的中央支承部，该中央支承部在对所述玻璃膜带的宽度方向中央区域进行支承的支承位置与未对所述玻璃膜带的宽度方向中央区域进行支承的退避位置之间能够往复移动。
3.一种玻璃膜的制造装置，具备方向转换装置，该方向转换装置使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将所述玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向，所述玻璃膜的制造装置的特征在于， 所述方向转换装置具有将所述玻璃膜带支承为沿着长度方向弯曲的状态的弯曲支承机构，该弯曲支承机构具有对所述玻璃膜带的宽度方向端部区域进行支承的两排端部支承部、夹设在该两排端部支承部之间而能够对所述玻璃膜带的宽度方向中央区域进行非接触支承的中央支承部。
4.根据权利要求3所述的玻璃膜的制造装置，其特征在于， 所述中央支承部在对所述玻璃膜带的宽度方向中央区域进行非接触支承的支承位置与未对所述玻璃膜带的宽度方向中央区域进行支承的退避位置之间能够往复移动。
5.根据权利要求2 4中任一项所述的玻璃膜的制造装置，其特征在于， 所述中央支承部具有朝向所述玻璃膜带喷射空气的空气供给路。
6.根据权利要求I 5中任一项所述的玻璃膜的制造装置，其特征在于， 所述两排端部支承部具有朝向所述玻璃膜带喷射空气的空气供给路。
7.根据权利要求I 5中任一项所述的玻璃膜的制造装置，其特征在于， 所述两排端部支承部对所述玻璃膜带的宽度方向端部区域进行接触支承，且以与所述玻璃膜带的向下游侧的移送速度大致相同的速度进行驱动。
8.根据权利要求I 7中任一项所述的玻璃膜的制造装置，其特征在于， 所述玻璃膜带的宽度方向中央部的板厚为IOym以上且300 μ m以下。
9.根据权利要求I 8中任一项所述的玻璃膜的制造装置，其特征在于， 所述成形装置通过溢流下拉法来成形所述玻璃膜带。
10.一种玻璃膜的制造方法，包括使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将所述玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向的方向转换工序，所述玻璃膜的制造方法的特征在于， 在所述方向转换工序中，支承所述玻璃膜带的宽度方向端部区域而不支承所述玻璃膜带的宽度方向中央区域。
11.一种玻璃膜的制造方法，包括使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将所述玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向的方向转换工序，所述玻璃膜的制造方法的特征在于， 在所述方向转换工序中，支承所述玻璃膜带的宽度方向端部区域，并对支承所述玻璃膜带的宽度方向中央区域的状态与未支承所述玻璃膜带的宽度方向中央区域的状态进行切换。
12.—种玻璃膜的制造方法，包括使从成形装置向铅垂下方拉出的玻璃膜带沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将所述玻璃膜带的行进方向从铅垂方向转换成水平方向的方向转换工序，所述玻璃膜的制造方法的特征在于， 在所述方向转换工序中，支承所述玻璃膜带的宽度方向端部区域，并对所述玻璃膜带的宽度方向中央区域进行非接触支承。
全文摘要
在将玻璃膜带以弯曲状态向下游侧移送时，尽量防止玻璃膜带表面形成微小缺陷的情况，玻璃膜的制造装置(1)具备方向转换装置(20)，方向转换装置(20)使从成形装置(10)向铅垂下方拉出的玻璃膜带(G)沿着长度方向弯曲并同时将其向下游侧移送，由此将玻璃膜带(G)的行进方向从铅垂方向转换成水平方向。方向转换装置(20)具有将玻璃膜带(G)支承为沿着长度方向弯曲的状态的弯曲支承机构(21)，该弯曲支承机构(21)由不支承玻璃膜带(G)的宽度方向中央区域(Gb)而支承宽度方向端部区域(Ga、Ga)的两排端部支承部(22、22)构成。
文档编号C03B35/18GK102917989SQ20118002629
公开日2013年2月6日 申请日期2011年7月15日 优先权日2010年7月23日
发明者寺西妥夫, 西岛浩治, 森浩一, 江田道治 申请人:日本电气硝子株式会社