专利名称：基板供给装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于将基板供给至加工基板的装置及将其从中排出的基板供给
>J-U ρ α装直。
背景技术：
在平板显示面板的制造等中，具有使用金属型涂料机对玻璃基板进行涂覆的工序。为了在基板上形成厚度均匀的涂膜，需要将基板准确地定位保持并使模头移动，以将基·板与模头的间隙保持均匀。因此，如日本专利特开2002 - 200450号公报所公开的那样，一般使用在对基板进行保持的平台上固定有用于使模头移动的导轨的装置。此外，为了在这种平台上配置及排出(更换)基板，例如，如日本专利特开平5 —45641号公报所公开的那样，设置有利用从平台突出的销来将基板举起，并将机器人的臂部伸入来将基板取出的结构。但是，若为了缩短涂覆周期，而在涂布了涂料之后立即用销将基板举起，则由于基板挠曲，而使涂料在流动至凹陷部分的状态下干燥，因此，会使膜厚变得不均匀。因此，由于缩短基板的涂覆周期会牺牲膜厚的均匀性，因此，无法提高制造能力。在日本专利特开2002 - 102771号公报中，公开了一种在很大的平台上设置两个载置基板的工位，并将金属涂料机配置成能在两个工位上移动的装置。在这种装置中，只要在一方的工位上涂覆基板时，更换另一方的工位的基板即可，因此，处理能力高。但是，需要有分别对两个工位更换基板的机器人，因而存在装置大型化而使造价变高这样的问题。此夕卜，由于模头的移动量很大，因此，也容易产生误差。
发明内容
鉴于上述问题，本发明的技术问题在于提供一种能在短时间内更换基板的基板供
给装置。为解决上述技术问题，本发明的基板供给装置包括多个臂部，这些臂部设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台，这些小平台分别被支承成与上述臂部之间存在游隙，且上述小平台能对基板进行保持；以及主平台，该主平台利用上述臂部的旋转及升降来载置上述小平台，且包括在上述游隙的范围内对上述小平台进行定位并保持的平台保持机构。通过上述结构，由于能在保持于小平台的状态下将基板供给至涂覆装置或加工装置及将基板从上述装置中排出，因此，在涂覆(加工)之后，能在不挠曲的情况下将基板排出，并供给下一块基板。因此，能在不缩短涂覆(加工)后至将基板举起前的时间的情况下，缩短涂覆周期。此外，通过在小平台与臂部之间设置游隙，从而能对小平台在主平台上的位置及姿势进行微调，并能准确地确定涂覆或加工时基板的位置及姿势。此外，本发明的基板供给装置只要一台处理基板的机器人即可，也不需要增大涂覆装置或加工装置的可动范围，因此，能廉价地提供。此外，在本发明的基板供给装置中，上述小平台内置有在表面上突出以将上述基板举起的支承销，上述基板供给装置还包括驱动机构，在上述臂部中的一个将上述小平台保持在上述主平台上时，该驱动机构配置在其它上述臂部所支承的上述小平台的下侧，上述驱动机构具有将上述支承销顶起的驱动销，上述驱动销与上述支承销构成为通过磁力相互吸引。通过上述结构，由于能通过磁力与驱动销的后退对应地使支承销可靠地后退，因此，在小平台内部不需要配置对支承销施力的构件，从而结构简单，小平台的厚度也不会变大。此外，在本发明的基板供给装置中，上述平台保持机构也可以具有通过空气压对上述小平台进行支承的气垫。通过上述结构，由于对小平台的重量进行支承的部分是非接触的，因此，能防止因磨损而使对基板进行保持的高度发生变化。
此外，在本发明的基板供给装置中，上述主平台也可以对加工上述基板的装置进行支承。通过上述结构，由于主平台与加工装置间的位置关系不会变化，因此，通过将基板定位在小平台上，并将小平台定位在主平台上，从而可保持基板与加工装置间的位置关系。如上所述，通过臂部的旋转(回旋)来将多个小平台配置在主平台上，因此，能同时进行基板朝小平台的配置和对基板的加工。此外，通过在小平台与臂部之间设置游隙，能在主平台上对小平台进行微调，因此，在加工时能高精度地对基板进行保持。
图1是包括本发明一实施方式的基板供给装置的基板涂覆装置的立体图。图2是图1的基板涂覆装置的侧视图。图3是图1的基板涂覆装置的局部放大剖视图。(符号说明)I基板供给装置2旋转驱动部3 转台4 臂5玻璃基板6小平台7主平台8销驱动机构9定位装置10 气缸11 槽12 气垫13 模头14行进框架15 导轨
16支承销17导向筒18 滑块19磁性金属片20 汽缸 21 框架22驱动销23永磁体24机械手
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在图1及图2中，示出了包括本发明一实施方式的基板供给装置I的基板涂覆装置。基板供给装置I包括:转台3，该转台3能通过旋转驱动部2而绕垂直的轴旋转且被支承成能垂直升降；两对臂部4，这些臂部4设置成两根一对，并从转台3朝径向外侧延伸；两个小平台6，这两个小平台6分别被支承在各对臂部4上，并能通过吸附对玻璃基板5进行保持；主平台7，该主平台7能对一方的小平台6进行保持；以及销驱动机构8，该销驱动机构8用于将玻璃基板5从另一方的小平台6上举起。臂部4的对以绕旋转驱动部2的转轴彼此对称的方式、也就是说以180°的角度配置。主平台7和销驱动机构8配置在绕旋转驱动部的轴对称的位置上，在一方的小平台6保持在主平台7上时，销驱动机构8便位于另一方的小平台6的正下方。主平台7及销驱动机构8分别具有多个定位装置9，这些定位装置9与小平台6的侧边抵接，以对小平台6的水平位置及方向进行确定。定位装置9均是能对其与小平台6抵接的抵接位置进行调节的致动器，其与设于主平台7、销驱动机构8及转台3的气缸10协动地，在其与臂部4的游隙范围内确定小平台6的水平位置及方向(平台保持机构)。小平台6在底面具有可收纳臂部4的槽11，但槽11的宽度比臂部4的宽度大，且以具有游隙的方式被支承。因此，小平台6在臂部4上能在该游隙的范围内水平移动及水平旋转。旋转驱动部2在使转台3及臂部4上升到旋转时没有障碍物的高度(图2的双点划线所示的位置)的状态下旋转180°，并在将小平台6配置在主平台7的上方之后，使转台3及臂部4下降，来将小平台6载置在主平台7上，臂部4进一步下降至与槽11之间产生间隙的位置处。主平台7具有利用空气压以非接触状态来对小平台6进行支承的气垫12。气垫12被保持成能分别通过调节空气压来调节高度，并被调节成小平台6的上表面在规定高度上呈水平，小平台6处于仅靠气垫12的空气压就能得以保持的状态。气垫12及定位装置9能根据小平台6设定不同的保持位置。藉此，即便在各小平台6上存在微小倾斜或形状不同，也能将吸附于小平台6的玻璃基板5相对于主平台7保持在恒定的位置及方向上。此外，在本实施方式中，由于只是利用气垫12通过空气压以非接触的方式承接小平台6的重量，因此，小平台6及气垫12不会受到磨损，只要根据小平台6来设定一次气垫12的高度，则能每次都将玻璃基板5准确地保持在相同位置上。此外，也可以用非常小的力来瞬间通过定位装置9及气缸10进行定位。主平台7具有对门型的行进框架14进行引导的导轨15，在该门型的行进框架14上保持有对玻璃基板5进行涂覆的模头13。也就是说，主平台7对通过使模头13移动来涂覆玻璃基板5的加工装置进行支承，并使模头13相对于主平台7严格地平行移动。因此，模头13能对正确地定位保持在主平台7上的玻璃基板5形成均匀膜厚的涂膜。
此外，图3表示小平台6的内部结构。小平台6被销驱动机构8驱动，其内置有将玻璃基板5从小平台6上举起的支承销16。支承销16突出设置于可在埋入小平台6的导向筒17内滑动的滑块18上。滑块18在下侧安装有磁性金属片19。销驱动机构8具有突出设置在由汽缸20保持成能升降的框架21上的驱动销22，在驱动销22的前端安装有对磁性金属片19进行吸附的永磁体23。通过使销驱动机构8的框架21上升，来利用驱动销22将对支承销16进行支承的滑块18顶起，从而将玻璃基板5从小平台6上举起。此外，如图1所示，将机械手24插入玻璃基板5的下侧，并从小平台6上取下玻璃基板5。此外，机械手24将新的玻璃基板5载置在支承销16上。在拔出机械手24之后，通过销驱动机构8使驱动销22下降，将支承销16收容在小平台6的内部，玻璃基板5被载置在小平台6上。此时，通过利用图像处理技术及内置于小平台6的定位机构(未图示)等来准确地控制机械手24载置玻璃基板5的位置，从而能使玻璃基板5准确地定位并吸附保持在小平台6上。由于玻璃基板5与小平台6的相对位置每次都相同，因此在主平台7上，只要对小平台6进行定位，就可使主平台7与玻璃基板5的相对位置也每次相同。这样，在本实施方式中，将对通过模头13进行涂覆前的玻璃基板5进行保持的小平台6供给至用于对玻璃基板5进行涂覆的主平台7上，并将对涂覆后的玻璃基板5进行保持的小平台6从主平台7上搬出。形成有涂膜的玻璃基板5在被小平台6保持的状态下，因臂部4旋转180°而移动至销驱动机构8上方，之后为了与新的玻璃基板5进行交换，通过支承销16将其从小平台6上举起。也就是说，涂覆后的玻璃基板5在臂部4旋转的过程中处于被小平台6保持的状态，在涂覆了涂料之后，就不会将玻璃基板5举起。因此，涂料在玻璃基板5保持于小平台6的平坦的状态下干燥。然后，即便玻璃基板5被销驱动机构8举起而出现挠曲，由于涂料已经干燥，因此，不会出现涂料流动至凹陷部分而使膜厚不均匀的情况。因此，不仅可增长从形成玻璃基板5的涂膜至被支承销16举起为止的时间，而且能增加被涂覆的玻璃基板5的块数。因此，在本发明中，由于是在与臂部4的游隙中将小平台6定位，因此臂部4不会与小平台6完全分开，因此，不需要用于将臂部4相对于小平台6定位或是确保臂部4对小平台6的保持的特别机构。此外，在本实施方式中，由于构成为利用驱动销22将保持在小平台6的厚度中的支承销16顶起，因此，也可以使销驱动机构8的汽缸20的行程比小平台6的厚度小，从而能缩短驱动销22升降所需的时间，并能增加产量。
此外，由于驱动销22的永磁体23吸附在与支承销16 —体移动的磁性金属片19上，因此，驱动销22的下降除了重力之外，还作用有将支承销16拉入小平台6中的力。藉此，即便没有设置将支承销16朝收容方向施力的弹簧等，也能可靠地实现支承销16的收容。因此，对支承销16进行保持的结构简单，且可使小平台6薄型化。·
权利要求
1.一种基板供给装置，其特征在于，包括多个臂部，这些臂部设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台，这些小平台分别被支承成与所述臂部之间存在游隙，且所述小平台能对基板进行保持；以及主平台，该主平台利用所述臂部的旋转及升降来载置所述小平台，且包括在所述游隙的范围内对所述小平台进行定位并保持的平台保持机构。
2.如权利要求1所述的基板供给装置，其特征在于，所述小平台内置有在表面上突出以将所述基板举起的支承销，所述基板供给装置还包括驱动机构，在所述臂部中的一个将所述小平台保持在所述主平台上时，该驱动机构配置在其它所述臂部所支承的所述小平台的下侧，所述驱动机构具有将所述支承销顶起的驱动销，所述驱动销与所述支承销构成为通过磁力相互吸引。
3.如权利要求1所述的基板供给装置，其特征在于，所述平台保持机构具有通过空气压对所述小平台进行支承的气垫。
4.如权利要求1所述的基板供给装置，其特征在于，所述主平台对加工所述基板的装置进行支承。
全文摘要
一种基板供给装置(1)，能在短时间内更换基板，其包括多个臂部(4)，这些臂部(4)设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台(6)，这些小平台(6)分别被支承成与臂部(4)之间存在游隙，且所述小平台能对基板进行保持；以及主平台(7)，该主平台(7)利用臂部(4)的旋转及升降来载置小平台(6)，且包括在游隙的范围内对小平台(6)进行定位并保持的平台保持机构(9、10)。
文档编号C03C17/00GK102992642SQ20121032783
公开日2013年3月27日 申请日期2012年9月6日 优先权日2011年9月9日
发明者西尾勤, 魏志丹, 横山雅树 申请人:中外炉工业株式会社