大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法

文档序号:1878099阅读:330来源:国知局
大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法
【专利摘要】本发明涉及一种大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法。具体实施步骤如下:1)碳纤维成型预制体;2)树脂浸渍;3)炭化处理;4)真空气相沉积;5)机床加工成型;6)表面致密涂层;7)热处理。本发明工艺简单、流程短、生产周期短,单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料使用寿命长,在高温下不易挥发,不会造成炉体内的污染。
【专利说明】 大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法

【技术领域】
[0001]本发明涉及一种碳纤维硬质保温材料【技术领域】,尤其涉及一种大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法。

【背景技术】
[0002]统使用单晶炉内保温是采用1mm厚的软碳毡多层缠绕在热场隔热屏保温桶上,软毡使用寿命短,灰分大,在高温下挥发物多;其次在操作上不方便,容易引起炉内其他附件污染。


【发明内容】

[0003]本发明为了解决以上问题提供了一种工艺简单、流程短、生产周期短、保温材料使用寿命长、提高生产纯度的大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法。
[0004]本发明的技术方案是:具体实施步骤如下:
O碳纤维成型预制体;将碳纤维磨碎成4-8mm的短碳纤维;
2)树脂浸溃;将上述短碳纤维树脂浸溃,所述的树脂为环氧和醛醛树脂;
3)炭化处理;将温度保持在950-1000度;
4)真空气相沉积;将上述预成品在真空环境下石墨化处理,温度保持在2190-2210度;
5)机床加工成型;
6)表面致密涂层;
7)热处理。
[0005]本发明工艺简单、流程短、生产周期短,单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料使用寿命长,在高温下不易挥发,不会造成炉体内的污染。

【具体实施方式】
[0006]大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法,具体实施步骤如下:
O碳纤维成型预制体;将碳纤维磨碎成4-8mm的短碳纤维;
2)树脂浸溃;将上述短碳纤维树脂浸溃,所述的树脂为环氧和醛醛树脂;
3)炭化处理;将温度保持在950-1000度;
4)真空气相沉积;将上述预成品在真空环境下石墨化处理,温度保持在2190-2210度;
5)机床加工成型;
6)表面致密涂层;
7)热处理。
【权利要求】
1.大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法,其特征在于:具体实施步骤如下: 1)碳纤维成型预制体;将碳纤维磨碎成4-8mm的短碳纤维; 2)树脂浸溃;将上述短碳纤维树脂浸溃,所述的树脂为环氧和醛醛树脂; 3)炭化处理;将温度保持在950-1000度; 4)真空气相沉积;将上述预成品在真空环境下石墨化处理,温度保持在2190-2210度; 5)机床加工成型; 6)表面致密涂层; 7)热处理。
【文档编号】C04B35/622GK104230365SQ201310252364
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2013年6月24日 优先权日:2013年6月24日
【发明者】乔有海 申请人:乔有海
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