喷淋蚀刻的制造方法
【专利摘要】喷淋式蚀刻机，包括机体以及与机体的连接的药液循环系统，其中，机体主要由清洗区，与清洗区紧密衔接的蚀刻区两部分组成，清洗区和蚀刻区上方均设置有喷淋装置，清洗区侧板下方设置有同步带传送装置，蚀刻区右下方设置有伺服驱动电机，机体下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的滑轨，滑轨上配装有托盘，机体两侧侧板下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的回型防水槽，药液循环系统主要由DA水罐体、化学药液罐体以及相应的管道、阀门以及循环泵组成；本发明在蚀刻玻璃面板的过程中，可以对药液的温度、压力、流量等实行全自动控制，对蚀刻玻璃面板实现双面瀑布流蚀刻，工作过程中，无需人工操作，清洗、蚀刻全部自动完成，蚀刻精度和效率得到显著提升。
【专利说明】喷淋蚀刻机
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于TFT-1XD面板加工领域的喷淋式蚀刻机。
【背景技术】
[0002]喷淋式蚀刻机主要应用于TFT-1XD面板的薄化，通过减小玻璃厚度，从而达到使最终产品更轻更薄、显示色彩更加炫丽、触控操作更加灵敏的作用，喷淋式蚀刻机是TFT-LCD面板制造过程的关键设备之一。随着目前国内外手机、平板电脑、照相机、摄像机等行业升温和产量增加，市场对TFT-1XD面板的需求与日剧增，TFT-1XD面板制造企业对液晶面板薄化工序设备的需求将越来越多，因此，液晶面板薄化成套设备的市场前景非常广阔。目前，国内没有掌握液晶面板薄化核心技术，不能生产液晶面板薄化成套设备，全球仅有美国、日本、韩国等少数国家能生产此类设备，国内所有同类设备均从韩国和日本进口。
【发明内容】
[0003]本发明针对上述技术现状，通过不断进行技术创新，在引进和借鉴日本、韩国此类设备先进技术的基础上，积极开拓，开发了一种喷淋式蚀刻机，该机采用喷淋式蚀刻减薄技术，比传统的研磨式、浸泡式有着明显优势，具有重大技术创新突破，在同类产品中达到了国际先进水平。
[0004]为了实现发明的最终目的，拟采用以下技术:
喷淋式蚀刻机，包括机体(I)以及与机体(I)的连接的药液循环系统(2)，其中，
机体(I)主要由清洗区(10)，与清洗区(10)紧密衔接的蚀刻区(11)两部分组成，所述清洗区(10)与蚀刻区(11)均设置有相应的清洗区驱动门(100)和蚀刻区驱动门(110)，清洗区驱动门(100)和蚀刻区驱动门(110)把清洗区(10)和蚀刻区(11)隔离成两个相互独立的工作区，所述清洗区(10)上方设置有清洗喷淋装置(101 )，清洗区(10)侧板下方设置有同步带传送装置(102)，所述蚀刻区(11)上方设置有活动可拆卸的蚀刻喷淋装置(111)，蚀刻区(11)右下方设置有伺服驱动电机(112 )，所述机体(I)下方设置有贯穿清洗区(10 )与蚀刻区(11)的滑轨(13)，滑轨(13)配装有相适应的托盘(14)，机体(I)两侧侧板下方设置有贯穿清洗区(10)与蚀刻区(11)的回型防水槽(15);
本发明通过机体两侧侧板下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的回型防水槽，工作过程中，回型防水槽通入循环水，使得伺服电机、减速器、同步带传送装置与清洗区和蚀刻区隔离开，有效保护了伺服电机、减速器、同步带传送装置，减少了酸雾对其的腐蚀，延长了伺服电机、减速器、同步带传送装置的使用寿命。
[0005]药液循环系统(2)主要由DA水罐体(20)、化学药液罐体(21)以及与机体(I)相连接的管道、阀门以及循环泵组成，所述化学药液罐体(21)上设置有液位指示器(210)、底部设置有加热器(211)，顶部设置有冷却水连接器(214)以及恒温传感装置(216)。
[0006]为达到减轻整机重量之目的，同时不失整机强度，所述清洗区(10)与蚀刻区(11)下方设置有贯穿机体(I)的牙嵌状承载结构(12)。
[0007]为达到自动控制之目的，所述清洗区驱动门(100)由设置在清洗区(10)进料侧的驱动电机(1000)、导向轮(1001)以及齿轮齿条机构(1002)共同控制。
[0008]同样道理，所述蚀刻区驱动门(110)由设置在蚀刻区(11)进料侧的驱动电机、导向轮、以及齿轮齿条机构共同控制，控制原理同清洗区驱动门(100)。
[0009]为方便后期保养、维修之目的，所述蚀刻喷淋装置(111)可在蚀刻区(11)上活动拆卸，蚀刻喷淋装置(111)在结构上主要由横管(1110)、纵管(1112)以及布置在横管(1110)与纵管(1112)之间的喷淋管(1113)组成，纵管(1112)上方连接有进液管，进液管上方设置有快速拆装的活接头(1115 )，纵管(1112 )下方设置有导轮(1114 )，纵管(1112 )与喷淋管(1113)之间设置有加强筋板(1111)。
[0010]为使托盘(14)在清洗区(10)和蚀刻区(11)运动速度适中且托盘(14)在两条滑轨(13)运动平稳，所述伺服驱动电机(112)输出端连接有减速器，减速器输出端连接有同步带轮，同步带轮通过同步带与设置在清洗区(10)下方的同步带传送装置(102)相配合。
[0011]为达到双面瀑布蚀刻流效果，所述蚀刻喷淋装置(111)还设置有呈方形阵列形状的可拆卸喷嘴单元，喷嘴单元设置在喷淋管(1113)的下方。
[0012]进一步地，所述化学药液罐体(21)上方还设置有加液口(213)和药液回流口(215)，侧面设置有出液口(212)。
[0013]进一步地，所述机体(I)数量为2-6个，所述化学药液罐体(21)数量为2个，当其中一个化学药液罐体(21)出现故障或者需要更换药液时，可以使用另外一个化学药液罐体
(21)，不影响整机的蚀刻效率。
[0014]进一步地，所述机体(I)表面及内部各结构均采用PVC材料包裹，本发明采用金属型材喷塑和PVC材料包裹，有效防止了酸雾渗入，很好解决了对成套设备的金属框架防腐蚀的问题，同时解决了电动门升降系统的防腐问题。
[0015]本发明在机体焊接过程中采用水冷方式，解决了超大框架型材的尺寸准确性问题，同时通过实验得出了喷嘴最佳位置排布方式使蚀刻液喷雾更加均匀，蚀刻精度更高，蚀刻后的面板精度在±0.035mm内。
[0016]本发明技术方案优点在于:
本发明在蚀刻玻璃面板的工作过程中，可以对化学药液的温度、压力、流量等实行全自动控制，对蚀刻玻璃面板实现双面瀑布流蚀刻，整个工作过程中，无需人工操作，清洗、蚀刻全部自动完成，整机采用程序自动控制，用户可以根据自己的需要调整其运行参数，使蚀刻精度和效率得到显著提升，克服了我国自主研发蚀刻机普遍存在的蚀刻效率低下、蚀刻精度不高、设备故障率高、维修不便等诸多弊端。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本发明整体结构示意图；
图2是发明中所述机体结构示意图；
图3是图2的剖分结构图；
图4是本发明中所述同步带传送装置结构位置图；
图5是本发明中所述回型防水槽细节图；
图6是本发明中所述清洗区驱动门细节图； 图7是本发明中所述蚀刻喷淋装置结构图；
图8是本发明中所述化学药液罐体结构图；
图9是本发明实施例示意图。
【具体实施方式】
[0018]喷淋式蚀刻机，包括机体(I)以及与机体(I)的连接的药液循环系统(2)，其中， 机体(I)主要由清洗区(10)，与清洗区(10)紧密衔接的蚀刻区(11)两部分组成，所述清洗区(10)与蚀刻区(11)均设置有相应的清洗区驱动门(100)和蚀刻区驱动门(110)，清洗区驱动门(100)和蚀刻区驱动门(110)把清洗区(10)和蚀刻区(11)隔离成两个相互独立的工作区，所述清洗区(10)上方设置有清洗喷淋装置(101 )，清洗区(10)侧板下方设置有同步带传送装置(102)，所述蚀刻区(11)上方设置有活动可拆卸的蚀刻喷淋装置(111)，蚀刻区(11)右下方设置有伺服驱动电机(112 )，所述机体(I)下方设置有贯穿清洗区(10 )与蚀刻区(11)的滑轨(13)，滑轨(13)配装有相适应的托盘(14)，机体(I)两侧侧板下方设置有贯穿清洗区(10)与蚀刻区(11)的回型防水槽(15);
药液循环系统(2)主要由DA水罐体(20)、化学药液罐体(21)以及与机体(I)相连接的管道、阀门以及循环泵组成，所述化学药液罐体(21)上设置有液位指示器(210)、底部设置有加热器(211)，顶部设置有冷却水连接器(214)以及恒温传感装置(216)。
[0019]本机的工作流程为:
1.操作者将放置在手推车上方的待蚀刻面板(16)推入清洗区(10)，将待蚀刻面板
(16)放置在托盘(14)上；
2.启动控制柜，清洗区驱动门(100)和蚀刻区驱动门(110)关闭，清洗区(10)形成一个封闭的空间，此时，PLC控制程序控制DA水循环泵启动，DA水罐体(20)中的清洗液经清洗喷淋装置(101)对待蚀刻面板(16)清洗；
3.清洗完毕后，清洗喷淋装置(101)停止喷液，蚀刻区驱动门(110)打开，伺服驱动电机(112 )启动，同步带传送装置(102 )驱动托盘(14 )进入蚀刻区(11)，待托盘(14 )进入蚀刻区(11)后，蚀刻区驱动门(110 )关闭，蚀刻区(11)形成一个封闭的空间；
4.待蚀刻区(11)形成封闭的空间后，PLC控制程序控制蚀刻液循环泵启动，化学药液罐体(21)中的蚀刻液经蚀刻喷淋装置(111)喷洒后，开始对待蚀刻面板(16)进行蚀刻，蚀刻完成后，蚀刻液循环泵停止，蚀刻喷淋装置(111)停止喷液，蚀刻区驱动门(110)打开，同步带传送装置(102)驱动托盘(14)再进入清洗区(10)。
[0020]5.待托盘(14)进入清洗区(10)后，蚀刻区驱动门(110)关闭，使得清洗区(10)形成一个封闭的空间，此时，PLC控制程序再控制DA水循环泵启动，开始对蚀刻后的面板进行清洗，清洗完成后，清洗区驱动门(100)打开，取出清洗后的面板。
[0021]以上操作流程为全自动控制，在清洗、蚀刻的过程中均由程序自动化完成，无需人工操作，蚀刻效率高。
【权利要求】
1.喷淋式蚀刻机，其特征在于:该机包括机体(I)以及与机体(I)的连接的药液循环系统(2)，其中， 机体(I)主要由清洗区(10)，与清洗区(10)紧密衔接的蚀刻区(11)两部分组成，所述清洗区(10)与蚀刻区(11)均设置有相应的清洗区驱动门(100)和蚀刻区驱动门(110)，清洗区驱动门(100)和蚀刻区驱动门(110)把清洗区(10)和蚀刻区(11)隔离成两个相互独立的工作区，所述清洗区(10)上方设置有清洗喷淋装置(101 )，清洗区(10)侧板下方设置有同步带传送装置(102 )，所述蚀刻区(11)上方设置有活动可拆卸的蚀刻喷淋装置(111)，蚀刻区(11)右下方设置有伺服驱动电机(112)，所述机体(I)下方设置有贯穿清洗区(10)与蚀刻区(11)的滑轨(13)，滑轨(13)配装有相适应的托盘(14)，机体(I)两侧侧板下方设置有贯穿清洗区(10)与蚀刻区(11)的回型防水槽(15); 药液循环系统(2)主要由DA水罐体(20)、化学药液罐体(21)以及与机体(I)相连接的管道、阀门以及循环泵组成，所述化学药液罐体(21)上设置有液位指示器(210)、底部设置有加热器(211)，顶部设置有冷却水连接器(214)以及恒温传感装置(216)。
2.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于:所述清洗区(10)与蚀刻区(11)下方设置有贯穿机体(I)的牙嵌状承载结构(12)。
3.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于:所述清洗区驱动门(100)由设置在清洗区(10)进料侧的驱动电机(1000)、导向轮(1001)以及齿轮齿条机构(1002)共同控制。
4.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于:所述蚀刻区驱动门(110)由设置在蚀刻区(11)进料侧的驱动电机、导向轮、以及齿轮齿条机构共同控制。
5.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于:所述蚀刻喷淋装置(111)主要由横管(1110)、纵管(1112)以及布置在横管(1110)与纵管(1112)之间的喷淋管(1113)组成，纵管(1112)上方连接有进液管，进液管上方设置有快速拆装的活接头(1115)，纵管(1112)下方设置有导轮(1114)，纵管(1112)与喷淋管(1113)之间设置有加强筋板(1111)。
6.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于:所述伺服驱动电机(112)输出端连接有减速器，减速器输出端连接有同步带轮，同步带轮通过同步带与设置在清洗区(10)下方的同步带传送装置(102)相配合。
7.根据权利要求1或5所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于:所述蚀刻喷淋装置(111)还设置有呈方形阵列形状的可拆卸喷嘴单元，喷嘴单元设置在喷淋管(1113)的下方。
8.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于:所述化学药液罐体(21)上方还设置有加液口(213)和药液回流口(215)，侧面设置有出液口(212)。
9.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于:所述机体(I)数量为2-6个，所述化学药液罐体(21)数量为2个。
10.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻机，其特征在于:所述机体(I)表面及内部各结构均采用PVC材料包裹。
【文档编号】C03C15/00GK104445969SQ201410587717
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年12月31日 优先权日:2014年12月31日
【发明者】蒲中军, 邓飞, 徐晓君, 王川, 吴永寿, 宣继, 李政昊, 王月利, 钟耀, 邓欢 申请人:成都工投电子设备有限公司