频反应磁控溅射，在氩氧气氛中溅射沉积纯硅靶，制备5102层，设定功率80?90KW，中频电源频率为40KHz，厚度30nm。
[0045]直流电源磁控溅射，在氩气氛中溅射沉积镍铬靶，制备NiCr层，直流电压180V，设定功率5KW，氩气气氛派射，气压5 X lCT4mbar，走速1.5m/min, NiCr层厚度5nm。
[0046]直流电源磁控溅射，在氩气氛中溅射沉积银靶，制备Ag层，直流电压150V，设定功率3KW，氩气气氛派射，气压5X l(T4mbar，走速lm/min，Ag层厚度10nm。
[0047]直流电源磁控溅射，在氩气氛中溅射沉积镍铬靶，制备NiCr层，直流电压180V，设定功率8KW，氩气气氛派射，气压5X lCT4mbar，走速1.5m/min，NiCr层厚度10nm。
[0048]中频反应磁控溅射氧化锌锡靶，制备21^110!￡层:设定功率30KW，溅射电压560V，氩气和氧气混合气氛派射，Ar:02= 5:1，气压5X 10 4mbar，膜层厚度18nm。
[0049]中频反应磁控溅射，在氩气气氛中溅射沉积二硼化钛靶，制备热敏半导体透明加热层:设定功率60?80KW，中频电源频率为40KHz，厚度200纳米。
[0050]中频反应磁控溅射，在氮气气氛中溅射沉积硅铝靶，制备Si3N4层:设定功率80?90KW，中频电源频率为40KHz，厚度50nm。
[0051]在第二玻璃板上制备单银Low-E、双银Low-E、三银Low-E形成节能功能玻璃。
[0052]将第一块玻璃板边缘的复合加热层去除，然后在除膜区制备引出电极，所述电极为导电银浆制成，宽度为3mm，在所述引出电极表面涂覆绝缘膜，将第二玻璃板边缘的节能层去除；
[0053]将二块玻璃板用内层粘结密封胶与间隔框架粘结在一起，两片玻璃板之间形成中空密闭腔室，所述中空密闭腔室内填充有干燥气体，复合加热层和节能层均朝向室内，再用外层粘结密封胶将间隔框架的背面与两块玻璃的内侧面粘合在一起形成一个密闭的中空玻璃。
[0054]实施例3
[0055]将6毫米超白玻经纯净水清洗烘干后进入真空镀膜室。
[0056]中频反应磁控溅射，在氩氧气氛中溅射沉积纯硅靶，制备3102层:设定功率80?90KW，中频电源频率为40KHz，厚度30nm。
[0057]直流电源磁控溅射，在氩气氛中溅射沉积镍铬靶，制备NiCr层，直流电压180V，设定功率8KW，氩气气氛派射，气压5X lCT4mbar，走速1.5m/min，NiCr层厚度10nm。
[0058]直流电源磁控溅射，在氩气氛中溅射沉积银铜靶，制备AgCu层，直流电压200V，设定功率5KW，氩气气氛派射，气压5X l(T4mbar，走速lm/min，AgCu层厚度15nm。
[0059]直流电源磁控溅射，在氩氧气氛中溅射沉积镍铬靶，制备NiCrOjl，直流电压250V，设定功率 8KW，气压 5 X KT4Hibar，走速 1.5m/min, NiCrOjl厚度 15nm。
[0060]中频反应磁控溅射AZO靶，制备AZO层:设定功率30KW，溅射电压650V，氩气和氧气混合气氛派射，Ar:02= 5:1，气压5X 10 —mbar，膜层厚度26nm。
[0061]中频反应磁控溅射，在氩气气氛中溅射沉积钛酸钡靶，制备热敏半导体透明加热层:设定功率60KW，中频电源频率为40KHz，厚度80nm。
[0062]中频反应磁控溅射，在氮气气氛中溅射沉积硅铝靶，制备Si3N4层:设定功率80?90KW，中频电源频率为40KHz，厚度50nm。
[0063]在在第二玻璃板上制备电致变色节能功能玻璃。
[0064]将第一块玻璃板边缘的复合加热层去除，然后在除膜区制备引出电极，所述电极为涂锡带，宽度为5mm，在所述引出电极表面涂覆绝缘膜，将第二玻璃板边缘的节能层去除；将二块玻璃板用内层粘结密封胶与间隔框架粘结在一起，两片玻璃板之间形成中空密闭腔室，所述中空密闭腔室内填充有干燥气体，复合加热层和节能层均朝向室内，再用外层粘结密封胶将间隔框架的背面与两块玻璃的内侧面粘合在一起形成一个密闭的中空玻璃。
[0065]最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种高效节能智能化电加热中空玻璃，其特征在于，包括第一玻璃板、第二玻璃板和间隔框架，所述第一玻璃板与第二玻璃板的四周通过结构密封胶与间隔框架粘结，两片玻璃板之间形成中空密闭腔室，所述中空密闭腔室内填充有干燥气体； 所述第一玻璃板朝向中空密闭腔室的一面的上设置有复合加热层，在所述复合加热层的四周的第一玻璃板上设置有引出电极，在所述引出电极表面涂覆有绝缘膜； 所述第二玻璃板朝向中空密闭腔室的一面上设置有节能层。2.如权利要求1所述的一种高效节能智能化电加热中空玻璃，其特征在于，所述复合加热层依次包括第一电介质层、第一阻挡层、低辐射功能层，第二阻挡层、第二电介质层、热敏半导体透明加热层、绝缘保护层，其中，所述第一电介质层沉积在所述第一玻璃板表面。3.如权利要求2所述的一种高效节能智能化电加热中空玻璃，其特征在于，所述第一电介质层的厚度为10?30纳米，所述第一阻挡层的厚度为2?10纳米，所述低辐射功能层的厚度为10?28纳米，所述第二阻挡层的厚度为6?15纳米，所述第二电介质层的厚度为15?50纳米，所述热敏半导体透明加热层的厚度为30?200纳米，所述绝缘保护层的厚度为15?30纳米。4.如权利要求2或3所述的一种高效节能智能化电加热中空玻璃，其特征在于，所述第一电介质层和第二电介质层中的电介质为硅氧化物、锌氧化物、钛氧化物、锡氧化物和锌铝氧化物中的一种或几种；所述第一阻挡层和第二阻挡层由包含镍、铬、钛、镍铬、氧化镍铬和氮化镍铬中的一种或几种构成；所述的低辐射功能层由金、银、银铜合金的一种或几种构成；所述的热敏半导体透明加热层由硼化钛，硼化钛掺碳化硅、氧化锆、氮化铝中的一种或几种，以及钛酸钡掺氧化镧、氧化铌、氧化钇中的一种或几种构成；所述的绝缘保护层包含硅的氮化物、硅的氧化物、钛的氧化物中的一种或几种。5.如权利要求1所述的一种高效节能智能化电加热中空玻璃，其特征在于，所述中空密闭腔室的厚度为5?12毫米，所述中空密闭腔室内填充的干燥气体为干燥空气或者惰性气体，所述惰性气体为氩气、氦气中的一种或两种。6.如权利要求1所述的一种高效节能智能化电加热中空玻璃，其特征在于，所述节能层为电致变色功能层、或者热致变色功能层或者由单银Low-E、双银Low-E和三银Low-E构成。7.如权利要求1所述的一种高效节能智能化电加热中空玻璃，其特征在于，所述间隔框架为铝合金框或暖边条，间隔框架面向中空密闭腔室的一侧设置有若干个孔或者缝，间隔框架内部设置有用于吸附水分的分子筛干燥剂。8.如权利要求1所述的一种高效节能智能化电加热中空玻璃，其特征在于，所述第一玻璃板和第二玻璃板为超白玻璃或者普通白玻，厚度为3?10毫米。9.如权利要求1所述的一种高效节能智能化电加热中空玻璃，其特征在于，所述引出电极由电阻率小于I X 10_5 Ω.Cm的电极材料。10.权利要求1所述的一种高效节能智能化电加热中空玻璃的制备方法，其特征在于，包括以下几个步骤: 1)将第一玻璃板经纯净水清洗烘干后放入真空镀膜室； 2)在所述第一玻璃板上设置复合加热层 在所述第一玻璃板表面依次沉积第一电介质层、第一阻挡层、低辐射功能层，第二阻挡层、第二电介质层、热敏半导体透明加热层、绝缘保护层； 3)将第二玻璃板经纯净水清洗烘干，在第二玻璃板表面磁控溅射法制备节能层； 4)将第一块玻璃板边缘的复合加热层去除，然后在除膜区制备引出电极，在所述引出电极表面涂覆绝缘膜，将第二玻璃板边缘的节能层去除； 5)然后用涂有密封胶的间隔框架将两块玻璃板隔开，两块玻璃的膜面均朝向室内，然后用结构胶密封，即得。
【专利摘要】本发明公开了一种高效节能智能化电加热中空玻璃，第一玻璃板上设置复合加热层和引出电极，第二玻璃板上设置节能层；在两玻璃板之间形成中空密闭腔室，中空密闭腔室内填充有干燥气体；该中空玻璃具有智能化加热效果，可自动根据环境温度控制电加热玻璃状态，结构简单，性能稳定，同时兼顾高透过率、恒温加热、除霜除雾等效果，是一种高效、无污染、面加热源节能玻璃产品，适用于工业化大规模生产，大幅降低现有加热玻璃的制造成本，推广这种节能玻璃的使用范围。
【IPC分类】B32B15/00, E06B3/67, B32B9/04, E06B3/673
【公开号】CN104895461
【申请号】CN201510226078
【发明人】王小峰, 周学武, 丁洪光
【申请人】内蒙古坤瑞玻璃工贸有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月6日