专利名称：：气浮式机台接触警报装置的制作方法
技术领域：
：本发明有关于一种气浮式机台接触警报装置，特别有关于一种具有实时检测功能的气浮式机台接触警报装置。
背景技术：
：近年来由于光电相关技术不断地推陈出新，加上数字化时代的到来，进而推动了液晶显示器市场的蓬勃发展。液晶显示器具有高画质、体积小、重量轻、低驱动电压、与低消耗功率等优点，因此被广泛应用于个人数字助理(PersonalDigitalAssistant;PDA)、移动电话、摄像录放机、笔记本计算机、台式显示器、车用显示器、及投影电视等消费性通讯或电子产品，并逐渐取代阴极射线管而成为显示器的主流。在生产液晶显示器时，由于大面积的基板需要在制造工艺中进行移动，故具有X-Y方向移动功能的机台肩负起基板移动与对准的重要工作。其中，气浮式驱动装置利用磁力与气浮产生小于5微米(micrometer;um)的浮上量稳定移动。不仅可以大幅降低震动，也大幅减少摩擦所产生的粉尘，故常常被利用在半导体厂与面板厂的曝光机台。然而，气浮式驱动装置在运作时，常会受到，例如是地震、撞击、刮伤、粉尘、破片等因素，以致于造成上浮量慢慢减少，最后刮伤底座，甚至造成气垫装置的损毁。
发明内容鉴于上述的现有技术中，由于气浮式驱动装置在运作时，常因上浮量的减少，以致于刮伤底座，甚至于造成气垫装置的损毁。本发明的一目的，提供一气浮式机台接触警报装置，可动态的检测气浮平台与底座的间隙，以避免气浮平台与底座接触。本发明的另一目的，提供一种气浮式机台接触警报装置，可实时准确地检测气浮平台与底座的间隙，并显示检测结果。根据以上所述的目的，本发明提供一种气浮式机台接触警报装置。该气浮式机台接触警报装置包含有一测量电路、一参考电压电路、一显示控制器与一显示器；其中，测量电路用来测量气浮式机台的底座与气浮平台之间的一阻抗，并输出一测量电压至显示控制器；参考电压电路则输出一参考电压至显示控制器；显示控制器比较测量电压与参考电压，以判断气浮平台与底座之间的一间隙，并通过显示器输出。上述的气浮式机台接触警报装置，其中优选地，显示器由多个发光二极管所组成，例如是排列成至少一条状的发光二极管显示器。上述的气浮式机台接触警报装置，其中优选地，还可利用一警报器，当间隙小于一预定值时，发出警报或传送信号至一制造工艺控制计算机。本发明还揭示一种气浮式机台，其包含有一底座、一气浮平台以及上述的气浮式机台接触警报装置，用以检测该底座与该气浮平台间的一间隙。上述的气浮式机台，其中优选地，还包含一警报器，当该间隙小于一预定值时，发出警报或送出一信号。上述的气浮式机台，其中优选地，所述的警报器连接于一制造工艺控制计算机。上述的气浮式机台，其中优选地，该底座为一导电材质底座。上述的气浮式机台，其中优选地，该气浮平台为一导电材质。上述的气浮式机台，其中优选地，该气浮平台还包含多个气垫装置，向该底座吹出气流，以使该气浮平台悬浮于该底座之上。上述的气浮式机台，其中优选地，所述的气浮平台用来承载一基板。因此，本发明的气浮式机台接触警报装置与利用此接触警报装置的气浮式机台可以实时输出检测结果，即便是在机台运转时，仍可有效地监控气浮平台与底座之间的间隙，使得气浮式机台的操作更为安全，进而提升气浮式机台的使用寿命，降低生产成本。图1为本发明的气浮式机台接触警报装置的一较佳实施例示意图；图2为气浮式机台的一较佳实施例示意图。其中，附图标记说明如下<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>具体实施例方式本发明的气浮式机台接触警报装置可实时且准确地检测气浮平台与底座之间的间隙，并利用显示装置实时显示两者之间的间隙。以下将以附图及详细说明清楚说明本发明的精神，如本领域技术人员在了解本发明的较佳实施例之后，当可由本发明所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本发明的精神与范围。参阅图1，其绘示本发明的气浮式机台接触警报装置的一较佳实施例示意图。气浮式机台接触警报装置IOO包含有一测量电路110、一参考电压电路120、一显示控制器130与一显示器140。其中测量电路110测量气浮式机台的一底座与一气浮平台之间的一阻抗，并输出一测量电压。而参考电压电路120则输出一参考电压。显示控制器130分别连接测量电路110以及参考电压电路120，并根据参考电压与测量电压的差异控制显示器140的显示状态，以使操作人员了解目前气浮平台与底座之间的一间隙情况。其中，显示器140较佳地由多个发光二极管所构成，且发光二极管较佳地排列成一条状的发光二极管显示器。此外，上述的发光二极管较佳地还可包含有至少三种颜色的发光二极管，例如是红色发光二极管、黄色发光二极管及绿色发光二极管。一般而言，绿色发光二极管可代表间隙处于一安全的状态，例如是当间隙大于或等于5微米。气浮式机台接触警报装置IOO较佳地还可包含一警报器150，例如是一蜂鸣器或一信号输出装置，当间隙小于一预定值时，发出警报或送出一信号。而此警报器150还可以连接于一制造工艺控制计算机，以记录间隙的状态或通知管理人员进行处理。其中，上述的显示控制器130可以利用一显示驱动集成电路，其可在间隙越小的情况，提供更高的分辨率，以使操作人员与管理人员了解目前的间隙宽度，例如是，国家半导体(NationalSemiconductor)所生产的显示驱动集成电路。且由于显示控制器130与显示器140可实时输出检测结果，即便是在机台运转时，仍可实时的监控气浮平台与底座之间的间隙，使得气浮式机台的操作更为安全，且还可以避免气浮平台与底座的碰撞，有效提升气浮式机台的使用寿命。参阅图2，其则绘示一气浮式机台的示意图。如图所示，气浮式机台200包含有一底座240、一气浮平台250与一气浮式机台接触警报装置100。其中，气浮平台250上具有磁性装置230与多个气垫装置220，而底座240为一导电材质底座，较佳地为一铁磁性金属底座。因此，气浮平台250上的磁性装置230与铁磁性金属底座相互吸引，而此同时多个气垫装置220则向底座240吹出一气流，使气浮平台250与底座240的间隙260维持一预定的距离，在本发明中较佳地约5微米。气浮式机台接触警报装置100还利用一导线210连接于底座240,以测量气浮平台250与底座240之间的间隙260所产生的阻抗。当此间隙260小于一预定的距离时，气浮式机台接触警报装置100的测量电路IIO(标示于图1中)测量气浮式机台200的一底座240与气浮平台250之间的阻抗下降，并输出一异常的测量电压，通过显示器控制器130(标示于图1中)比较参考电压与异常的测量电压，气浮式机台接触警报装置100会发出警报或送出一信号以通知操作人员进行对策。其中，气浮平台250较佳地为一导电材质，并用来承载一基板，例如是一液晶显示器的玻璃基板。此外，由于气浮式机台接触警报装置100可实时地输出检测结果，以进行气浮平台250与底座240之间的间隙260的实时监控，使得气浮式机台200的操作更为安全，且还可以避免气浮平台250与底座240的接触甚至是产生碰撞，使气浮式机台200的使用寿命有效地被延长。同时，利用气浮式机台接触警报装置100可实时监控间隙宽度，还可以改善传统上利用三用电表或测微计等设备需停机测量间隙宽度的方式，有效提高机台的移动率，还因此降低所需的生产成本。如本领域技术人员所了解的，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的权利要求地范围。凡其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在权利要求地范围之内。权利要求1.一种气浮式机台接触警报装置，至少包含一测量电路，以测量一气浮式机台的一底座与一气浮平台之间的一阻抗，并输出一测量电压；一参考电压电路，用于输出一参考电压；一显示控制器，连接该测量电路及该参考电压电路；以及一显示器，连接该显示控制器；其中，该显示控制器比较该测量电压与该参考电压，以检测该气浮平台与该底座之间的一间隙。2.如权利要求1所述的气浮式机台接触警报装置，其中该显示器由多个发光二极管所组成，且所述发光二极管排列成至少一条状的发光二极管显示器。3.如权利要求1所述的气浮式机台接触警报装置，还包含一警报器，当该间隙小于一预定值时，发出警报或送出一信号。4.一种气浮式机台，至少包含一底座；一气浮平台；以及如权利要求1所述的气浮式机台接触警报装置，用以检测该底座与该气浮平台间的一间隙。5.如权利要求4所述的气浮式机台，还包含一警报器，当该间隙小于一预定值时，发出警报或送出一信号。6.如权利要求5所述的气浮式机台，其中所述的警报器连接于一制造工艺控制计算机。7.如权利要求4所述的气浮式机台，其中该底座为一导电材质底座。8.如权利要求4所述的气浮式机台，其中该气浮平台为一导电材质。9.如权利要求8所述的气浮式机台，其中该气浮平台还包含多个气垫装置，向该底座吹出气流，以使该气浮平台悬浮于该底座之上。10.如权利要求4所述的气浮式机台，其中所述的气浮平台用来承载一基板。全文摘要本发明提供了一种气浮式机台接触警报装置。该气浮式机台接触警报装置包含有一测量电路、一参考电压电路、一显示控制器与一显示器；测量电路用来测量气浮式机台的底座与气浮平台之间的一阻抗，并输出一测量电压至显示控制器；参考电压电路则输出一参考电压至显示控制器；显示控制器比较测量电压与参考电压，以实时监控气浮平台与底座之间的间隙，并通过显示器输出。通过本发明，可以实时输出检测结果，即便是在机台运转时，仍可有效地监控气浮平台与底座之间的间隙，使得气浮式机台的操作更为安全，进而提升气浮式机台的使用寿命，降低生产成本。文档编号B25H1/00GK101105591SQ20071014165公开日2008年1月16日申请日期2007年8月17日优先权日2007年8月17日发明者林驰程,詹围森申请人:友达光电股份有限公司