一种用于led外延设备的拆卸工具的制作方法

文档序号:2318270阅读:182来源:国知局
专利名称:一种用于led外延设备的拆卸工具的制作方法
技术领域
本实用新型涉及ー种拆卸工具,具体涉及ー种用于LED外延设备的拆卸工具。
背景技术
在LED外延芯片生产过程中,当需对MOCVD (金属有机化学气相沉积)的REACTOR(反应室)进行维护保养时,反应室内部备件(如尾气分配盘)需要进行拆装。目前的拆装大多采用纯手工操作,不仅费时费力,而且在操作时容易损坏到设备上的其它配件(如灯丝、灯丝支架等)。

实用新型内容本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足,提供ー种结构简单、能够保证 拆卸准确迅速的用于LED外延设备的拆卸工具。一种用于LED外延设备的拆卸工具,包括两个相铰接的卡爪臂,所述卡爪臂包括连接部及从连接部下端折弯的卡爪部,其中一个卡爪臂的连接部铰接在另ー卡爪臂的连接部与卡爪部的相接处。本实用新型结构简单,制作方便,利用活动的连杆结构,配合设备配件的本身特点,能够将LED外延设备上的配件顺利方便的拆除,提高了工作效率。

图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
实施例I參见图1,本实用新型提供的一种用于LED外延设备的拆卸工具,包括两个相铰接的卡爪臂1,所述卡爪臂I包括连接部Ia及从连接部Ia下端折弯的卡爪部lb,其中ー个卡爪臂I的连接部Ia铰接在另一^^爪臂I的连接部Ia与卡爪部Ib的相接处。
权利要求1.一种用于LED外延设备的拆卸工具,其特征在于包括两个相铰接的卡爪臂,所述卡爪臂包括连接部及从连接部下端折弯的卡爪部,其中ー个卡爪臂的连接部铰接在另ー卡爪臂的连接部与卡爪部的相接处。
专利摘要本实用新型公开了一种用于LED外延设备的拆卸工具,包括两个相铰接的卡爪臂,所述卡爪臂包括连接部及从连接部下端折弯的卡爪部,其中一个卡爪臂的连接部铰接在另一卡爪臂的连接部与卡爪部的相接处。本实用新型结构简单,制作方便,利用活动的连杆结构,配合设备配件的本身特点,能够将LED外延设备上的配件顺利方便的拆除,提高了工作效率。
文档编号B25B27/00GK202640267SQ201220291519
公开日2013年1月2日 申请日期2012年6月20日 优先权日2012年6月20日
发明者林长军 申请人:合肥彩虹蓝光科技有限公司
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