作业机器人及作业位置修正方法与流程

本说明书公开了作业机器人及作业位置修正方法。

背景技术：

以往，作为这种作业机器人，提出了通过对目标点应用dh参数进行坐标转换来控制机器人的动作的作业机器人(参照例如专利文献1)。dh参数的设定如以下那样进行。即，机器人的控制装置将机器人的动作空间分割成多个区域，按照分割出的各区域来设定测定点。接下来，控制装置使机器人向测定点移动而取得三维的位置数据。并且，控制装置根据取得的位置数据与测定点之间的误差来导出dh参数。控制装置在基于目标点来控制机器人的动作时，选择按照多个区域的各区域而导出的dh参数中的目标点所属的区域的dh参数，并对目标点应用选择出的dh参数来进行坐标转换。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2009-148850号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

但是，在上述作业机器人中，即便将坐标转换所使用的dh参数最优化，也会产生无法确保充分的作业精度的情况。例如，当包含无法通过dh参数的最优化来修正的误差(例如手臂的变形等)时，作业机器人受到误差的影响而无法移动到准确的位置。另一方面，作业机器人在对个作业对象物进行作业的情况下，各个作业要求的作业精度有时不同。在该情况下，制造者会想到以对全部作业对象物保证相同的作业精度的方式制造作业机器人。但是，制造者不得不按照被要求最高的作业精度的作业来制造、调整作业机器人，对于其他作业而言成为过度的作业精度。

本公开的主要目的在于，在指定目标位置而使作业机器人动作时确保必要充分的作业精度。

用于解决课题的技术方案

本公开为了实现上述主要目的而采用以下的手段。

本公开的作业机器人的主旨在于，具备：多关节型的机器人手臂；促动器，驱动上述机器人手臂的各关节；存储装置，按照多个作业区域中的各作业区域来存储所需修正精度的修正参数，上述多个作业区域是在上述机器人手臂的可动区域内作为对作业对象物进行作业的区域而划分出的；及控制装置，在伴随着目标位置的指定而指示了作业的情况下，从上述存储装置取得与上述多个作业区域中的上述指定的目标位置所属的作业区域对应的修正参数，并使用所取得的该修正参数来修正上述目标位置而控制上述促动器。

本公开的作业机器人具备机器人手臂、促动器、存储装置及控制装置。存储装置按照多个作业区域中的各作业区域来存储所需修正精度的修正参数，上述多个作业区域是在上述机器人手臂的可动区域内作为对作业对象物进行作业的区域而划分出的。控制装置在伴随着目标位置的指定而指示了作业的情况下，取得与多个作业区域中的指定的目标位置所属的作业区域对应的修正参数，并使用所取得的修正参数来修正目标位置而控制促动器。修正参数按照多个作业区域中的各作业区域而以所需修正精度设定即可，不需要过度的修正精度。因此，根据本公开的作业机器人，能够在指定目标位置而使作业机器人动作时确保充分的精度。

本公开的作业位置修正方法是指定目标位置而使多关节型的作业机器人动作时的作业位置修正方法，其主旨在于，包括如下的工序：在上述作业机器人的可动区域内设定多个作为对作业对象物进行作业的区域的作业区域，按照所设定的该多个作业区域中的各作业区域来设定所需修正精度的修正参数，使用所设定的该修正参数中的与上述目标位置所属的作业区域对应的修正参数来修正上述目标位置而控制上述作业机器人的动作。

在本公开的作业位置修正方法中，首先，在机器人手臂的可动区域内设定多个作为对作业对象物进行作业的区域的作业区域。接下来，在作业位置修正方法中，按照所设定的多个作业区域中的各作业区域来设定所需修正精度的修正参数。并且，在作业位置修正方法中，使用所设定的修正参数中的与目标位置所属的作业区域对应的修正参数来修正目标位置而控制作业机器人的动作。修正参数按照多个作业区域中的各作业区域以所需修正精度设定即可，不需要过度的修正精度。因此，根据本公开的作业位置修正方法，能够在指定目标位置而使作业机器人动作时确保充分的精度。

附图说明

图1是表示机器人系统10的结构的概略的结构图。

图2是表示机器人20的结构的概略的结构图。

图3是表示机器人20与控制装置70之间的电连接关系的框图。

图4是表示机器人控制程序的一例的流程图。

图5是表示矩阵修正参数的一例的说明图。

图6是表示矩阵测定、修正的步骤的一例的说明图。

图7是表示使用三维测量器100相对于标记m进行三维测量的样子的说明图。

图8a是表示矩阵数据dm1的一例的说明图。

图8b是表示矩阵数据dm2的一例的说明图。

图8c是表示矩阵数据dm3的一例的说明图。

图9是表示标记识别处理的一例的流程图。

具体实施方式

接下来，参照附图对用于实施本公开的方式进行说明。

图1是表示机器人系统10的结构的概略的结构图。图2是表示机器人20的结构的概略的结构图。图3是表示机器人20与控制装置70之间的电连接关系的框图。另外，图1、2中，前后方向是x轴方向，左右方向是y轴方向，上下方向是z轴方向。

机器人系统10具备机器人20及控制机器人20的控制装置70。机器人系统10构成为拾取工件并将所拾取的工件向对象物上放置的系统。在本实施方式中，机器人系统10构成为拾取元件并向基板s上安装的元件安装系统。另外，机器人系统不限于上述系统，只要使用机器人20对工件进行作业的系统，则也能够应用于任意系统。

机器人20具备五轴的垂直多关节手臂(以下称为手臂)22及作为机器人20的手末端的未图示的末端执行器。手臂22具备六个连杆(第一连杆31～第六连杆36)、将各连杆以能够旋转或者回转方式连接的五个关节(第一关节41～第五关节45)。各关节(第一关节41～第五关节45)具备驱动对应的关节的马达(第一马达51～第五马达55)、检测对应的马达的旋转角度的编码器(第一编码器61～第五编码器65)。在本实施方式中，马达是伺服马达，编码器是旋转编码器。末端执行器安装于手臂22的前端连杆(第六连杆36)，能够进行元件(工件)的保持及其解除。末端执行器能够使用例如机械卡盘或吸嘴、电磁铁等。另外，在手臂22(第五连杆35)上安装有用于拍摄设置在作业台11上的作业对象物等物体所附设的标记m的标记相机24。

手臂22的基端连杆(第一连杆31)固定于作业台11。在作业台11上配置有基板输送装置12、元件供给装置13、零件相机14、废弃箱15等。在本实施方式中，基板输送装置12具有在前后方向(y轴方向)上隔开间隔地沿着左右方向(x轴方向)架设的一对传送带。基板s被传送带从左向右输送。在本实施方式中，元件供给装置13构成为将以预定间隔收纳有多个元件的带向后方(y轴方向)送出的带式供料器。另外，元件供给装置13不限于带式供料器，例如也可以是供给配置有多个元件的托盘的托盘供料器等任意类型的元件供给装置。零件相机14在保持于末端执行器的元件通过零件相机14的上方时拍摄该元件并将拍摄到的图像向控制装置70输出。废弃箱15是用于废弃产生了错误的元件的箱。

控制装置70构成为以cpu71为中心的微处理器，除了cpu71以外还具备rom72、hdd73、ram74、驱动电路75等。驱动电路75是用于驱动第一马达51～第五马达55的电路。从第一编码器61～第五编码器65、零件相机14、标记相机24、输入装置76等向控制装置70输入信号。从控制装置70向基板输送装置12、元件供给装置13、输出装置77、第一马达51～第五马达55输出信号。另外，输入装置76是供操作者进行输入操作的输入设备。另外，输出装置77是用于显示各种信息的显示设备。

图4是表示由控制装置70执行的机器人控制程序的一例的流程图。该程序每隔预定时间重复执行。当机器人控制程序被执行时，控制装置70的cpu71首先取得目标位置及姿态(s100)，判定是否要求了拾取作业、拍摄作业、安装作业、废弃作业中的任一个作业(s110～s140)。在此，在本实施方式中，在要求了拾取作业的情况下，目标位置及姿态是拾取元件时的末端执行器的位置(目标拾取位置)及姿态。另外，在要求了拍摄作业的情况下，目标位置及姿态是拾取到的元件在零件相机14的上方通过时的末端执行器的位置(目标拍摄位置)及姿态。此外，在要求了安装作业的情况下，目标位置及姿态是将拾取到的元件向基板s上安装时的末端执行器的位置(目标安装位置)及姿态。另外，在执行废弃作业的情况下，目标位置是将拾取到的元件向废弃箱15内废弃时的末端执行器的位置(目标废弃位置)及姿态。cpu71当判定为未要求拾取作业、拍摄作业、安装作业、废弃作业中的任一个作业时，结束机器人控制程序。

在s110中，cpu71当判定为要求了拾取作业时，选择多个矩阵修正参数a～d中的矩阵修正参数a(s150)。接下来，cpu71进行使用矩阵修正参数a来修正取得的目标位置(目标拾取位置)的矩阵修正(s160)。接着，cpu71通过对修正后的目标位置及姿态进行坐标转换来设定各关节(第一关节41～第五关节45)的目标角度(s170)。坐标转换例如能够使用公知的dh参数来进行。并且，cpu71执行基于设定后的目标角度来驱动控制对应的马达(第一马达51～55)而拾取元件的拾取作业(s180)，并使机器人控制程序结束。在此，cpu71在执行拾取作业的情况下，在末端执行器到达了目标位置及姿态时，使末端执行器保持元件。

在s120中，cpu71当判定为要求了拍摄作业时，选择多个矩阵修正参数a～d中的矩阵修正参数b(s190)。接下来，cpu71进行使用矩阵修正参数b来修正所取得的目标位置(目标拍摄位置)的矩阵修正(s200)。并且，cpu71对修正后的目标位置及姿态进行坐标转换(s210)，执行驱动控制对应的马达而拍摄元件的拍摄作业(s220)，并使机器人控制程序结束。在此，cpu71在执行拍摄作业的情况下，当末端执行器到达了目标位置及姿态时，使零件相机14拍摄保持于末端执行器的元件。并且，cpu71对拍摄到的图像进行处理来判定元件的位置偏移和姿态，使安装作业中的目标位置(目标安装位置)偏移。另外，cpu71基于拍摄到的图像也判定是否产生了无法向元件安装的错误，当判定为产生了错误时，跳过安装作业而移向废弃作业。

在s130中，cpu71当判定为要求了安装作业时，选择多个矩阵修正参数a～d中的矩阵修正参数c(s230)。接下来，cpu71进行使用矩阵修正参数c修正偏移后的目标位置(目标安装位置)的矩阵修正(s240)。并且，cpu71对修正后的目标位置及姿态进行坐标转换(s250)，执行驱动控制对应的马达而安装元件的安装作业(s260)，并使机器人控制程序结束。另外，cpu71在执行安装作业的情况下，当末端执行器到达了目标位置及姿态时，使末端执行器解除元件的保持以向基板s上安装元件。

在s140中，cpu71当判定为要求了废弃作业时，选择多个矩阵修正参数a～d中的矩阵修正参数d(s270)。接下来，cpu71进行使用矩阵修正参数d来修正取得的目标位置(目标废弃位置)的矩阵修正(s280)。并且，cpu71与s170、s180相同地对修正后的目标位置及姿态进行坐标转换(s290)，驱动控制对应的马达而执行废弃元件的废弃作业(s295)，并使机器人控制程序结束。另外，cpu71在执行废弃作业的情况下，当末端执行器到达了目标位置及姿态时，使末端执行器解除元件的保持以将元件向废弃箱15内收纳。

图5是表示矩阵修正参数a～d的一例的说明图。如图示那样，矩阵修正参数a～d均是通过将作业点的识别信息(作业点编号)、空间坐标值与修正值(三维的偏移量)建立对应关系而得到的，并存储于hdd73。矩阵修正能够通过使用线性插值等公知的插值法根据目标位置周边的多个作业点的修正值中导出目标位置的修正值，并以所导出的修正值使目标位置偏移来进行。或者，矩阵修正也可以通过以距目标位置最近的作业点的修正值使目标位置偏移来进行。

在此，矩阵修正参数a～d由各不相同的数据数量构成。在本实施方式中，目标拍摄位置的修正所使用的矩阵修正参数b与目标安装位置的修正所使用的矩阵修正参数c与目标拾取位置的修正所使用的矩阵修正参数a相比作业点间的间距小(数据数量多)，因此目标位置的修正精度高。另外，目标废弃位置的修正所使用的矩阵修正参数d与矩阵修正参数a相比作业点间的间距大(数据数量少)，因此目标位置的修正精度低。

在以下的说明中，对用于导出目标位置的修正所使用的矩阵修正参数a～d的矩阵测定、修正的步骤进行说明。图6是表示矩阵测定、修正的步骤的一例的说明图。另外，矩阵测定相当于图6中的s300～s360。矩阵修正包含图6中的s370、s380和图4中的s150、s160、s190、s200、s230、s240、s270、s280。另外，图7是表示使用三维测量器100对标记m进行三维测量的状况的说明图。图中，区域api是将元件供给装置13设为作业对象物的拾取作业区域。区域aim是将零件相机14设为作业对象物的拍摄作业区域。区域amo是将基板s设为作业对象物的安装作业区域。区域adi是将废弃箱15设为作业对象物的废弃作业区域。作为矩阵测定的准备，如图7所示，操作者向前端连杆安装测量用的标记m，并且在作业台11的角部设置三维测量器100。三维测量器100能够使用激光追踪器或动作捕捉装置。控制装置70的cpu71当被指示了进行矩阵测定、修正时，首先，将机器人20的可动区域分割成多个区域(s300)。在本实施方式中，如图7所示，cpu71将可动区域分割成拾取作业区域api、拍摄作业区域aim、安装作业区域amo及废弃作业区域adi。各区域能够变更为与作业对象物(元件供给装置13、零件相机14、基板s、废弃箱15)的尺寸对应的范围。接下来，cpu71将拾取作业区域api、拍摄作业区域aim、安装作业区域amo及废弃作业区域adi中的任一个作业区域设定为对象区域(s310)。接着，cpu71根据对象区域所要求的作业精度来设定数据间距(s320)，生成以设定的数据间距使作业点呈矩阵状地排列的矩阵数据(s330)。在本实施方式中，拍摄作业区域aim与安装作业区域amo所要求的位置精度高于拾取作业区域api所要求的位置精度。这是因为，为了防止安装错误而需要极力减少元件的安装位置的偏移，另一方面，即便在元件的拾取位置产生些许的偏移，只要能够通过拍摄作业来识别位置偏移，则能够在修正该位置偏移的基础上进行安装作业。另外，在本实施方式中，废弃作业区域adi所要求的位置精度低于拾取作业区域api所要求的位置精度。这是因为，废弃箱15只要能够收纳产生了错误的元件就足够了，稍许的位置偏移不会成为问题。图8a～图8c是表示矩阵数据dm1～dm3的一例的说明图。图8a表示作业点间的间距为值p1的矩阵数据dm1。图8b表示作业点间的间距为值p2的矩阵数据dm2。图8c表示作业点间的间距为值p3的矩阵数据dm3。如图示那样，矩阵数据dm1～dm3中的矩阵数据dm1的间距最大，每单位空间内的作业点的数量最少。另一方面，矩阵数据dm3的间距最小，每单位空间内的作业点的数量最多。cpu71在对象区域为拍摄作业区域aim或者安装作业区域amo的情况下生成矩阵数据dm3。另外，cpu71在对象区域为拾取作业区域api的情况下生成矩阵数据dm2。另外，cpu71在对象区域为废弃作业区域adi的情况下生成矩阵数据dm1。

cpu71当生成了矩阵数据时，将矩阵数据中的各作业点的空间坐标值指定为目标位置，并控制手臂22(第一马达51～第五马达55)以使得标记m向指定的目标位置移动(s340)。并且，cpu71输入由三维测量器100测量出的标记m的实际位置(s350)。接下来，cpu71按照各作业点导出空间坐标值与输入的标记m的实际位置之间的差值(s360)。当像这样进行了矩阵测定时，cpu71从导出的差值中导出修正值(偏移量)(s370)。并且，cpu71设定按照各作业点将空间坐标值与修正值建立对应关系而得到的矩阵修正参数(s380)。

cpu71在像这样设定了对于对象区域的矩阵修正参数时，判定是否在全部作业区域中完成了矩阵测定、修正(s390)。cpu71当判定为在全部作业区域中完成了矩阵测定、修正时，返回s310而对下一个对象区域重复进行s320～s380的处理。另一方面，cpu71当判定为在全部作业区域中完成了矩阵测定、修正时，在此使矩阵测定、修正结束。

这样，矩阵测定、修正是通过将机器人20的可动区域分割成多个区域并以使作业点以与各区域所要求的位置精度相应的数据间距排列的方式生成矩阵数据而导出矩阵修正参数来进行的。在此，在矩阵测定、修正中设定的作业点间的数据间距越小，则在矩阵测定、修正中导出的矩阵修正参数的修正精度越高。但是，该情况下，矩阵测定、修正的执行需要较长时间。另外，矩阵修正参数的数据数量增多，使需要的存储容量增大。在本实施方式中，根据按照多个区域中的各区域要求的位置精度来设定数据间距，因此关于不要求较高的位置精度的作业区域(废弃作业区域adi)，能够减少矩阵修正参数d的数据数量。因此，根据本实施方式，能够缩短矩阵测定、修正所需的时间，并且能够减小需要的存储容量。另一方面，在本实施方式中，关于被要求较高的位置精度的作业区域(拍摄作业区域aim、安装作业区域amo)，以较小的数据间距生成矩阵数据并导出矩阵修正参数b、c，因此能够应对较高的位置精度的要求。

图9是表示由控制装置70执行的标记识别处理的一例的流程图。标记识别处理例如能够在图4的机器人控制程序的s100中要求了拾取作业的情况下执行s150之前执行。另外，标记识别处理能够在机器人控制程序的s110中要求了拍摄作业的情况下执行s190之前执行。另外，标记识别处理能够在机器人控制程序的s120中要求了安装作业的情况下执行s230之前执行。当执行标记识别处理时，控制装置70的cpu71首先取得标记相机24拍摄作业对象物所附设的标记m时的目标拍摄位置(s400)。在此，在要求了拾取作业的情况下，作业对象物是元件供给装置13。另外，在要求了拍摄作业的情况下，作业对象物是零件相机14。另外，在要求了安装作业的情况下，作业对象物是基板s。另外，如图1所示，在本实施方式中，在元件供给装置13(带式供料器)的上表面附设有一个标记m。另外，在零件相机14的上表面附设有两个标记m。另外，在基板s的上表面的角部附设有四个标记m。另外，在本实施方式中，在作为进行废弃作业的情况下的作业对象物的废弃箱15未附设标记m，但也可以附设有标记m。接着，cpu71进行取得的目标拍摄位置的矩阵修正(s410)。在要求了拾取作业的情况下，矩阵修正使用矩阵修正参数a来进行。另外，在要求了拍摄作业的情况下，矩阵修正使用矩阵修正参数b来进行。另外，在要求了安装作业的情况下，矩阵修正使用矩阵修正参数c来进行。并且，cpu71通过对修正后的目标拍摄位置进行坐标转换来驱动控制各马达(第一马达51～第五马达55)而使标记相机24向该目标拍摄位置移动(s420)。接下来，cpu71驱动标记相机24而拍摄标记m(s430)。另外，cpu71对拍摄到的图像进行处理而计算出标记m的位置(s440)。标记m的位置以拍摄时的标记相机24的位置(目标拍摄位置)为基准而算出。并且，cpu71根据计算出的标记m的位置来修正目标位置(s450)，并使标记识别处理结束。由此，目标位置反映出机器人20(手臂21)与作业对象物(元件供给装置13、零件相机14、基板s)之间的相对位置关系，因此以机器人20为基准的位置精度提高。在此，机器人20在作业对象物中识别的标记m的数量较多的情况下，与识别的标记m的数量较少的情况下相比，能够更准确地掌握与作业对象物的相对位置关系。因此，对于被要求比拾取作业区域api高的位置精度的拍摄作业区域aim的作业对象物(零件相机14)或安装作业区域amo的作业对象物(基板s)附设比拾取作业区域api的作业对象物(元件供给装置13)多的标记m。另外，也可以与要求的位置精度无关地对作业对象物附设相同的数量的标记m。

在此，对本实施例的主要要素与发明内容部分记载的发明的主要要素的对应关系进行说明。即，手臂22(第一连杆31～第六连杆36)相当于机器人手臂，马达(第一马达51～第五马达55)相当于促动器，hdd73相当于存储装置，控制装置70相当于控制装置。

在以上说明的本实施方式中，在存储装置(hdd73)中，按照多个作业区域中的各作业区域存储有矩阵修正参数a～d，上述多个作业区域是在手臂21的可动区域内作为对作业对象物进行作业的区域而划分出的。控制装置70在伴随着目标位置的指定而指示了作业的情况下，取得与多个作业区域中的被指定的目标位置所属的作业区域对应的矩阵修正参数。并且，控制装置70使用所取得的矩阵修正参数来修正目标位置。矩阵修正参数按照多个作业区域中的各作业区域以所需修正精度进行设定即可，不需要过度的修正精度。因此，根据本实施方式，在指定目标位置使作业机器人动作时能够确保充分的精度。

另外，在本实施方式中，存储装置(hdd73)存储将按照多个作业区域中的各作业区域对于以所需间距呈矩阵状地排列的多个作业点分别将空间坐标值与修正值建立对应关系而得到的矩阵修正参数a～d。因此，根据本实施方式，能够减小与多个作业区域中的要求的作业精度低的作业区域对应的矩阵修正参数的数据数量。其结果是，存储装置能够减小存储容量。

另外，在本实施方式中，控制装置70识别附设于作业对象物(元件供给装置13、基板s)的标记m的位置，并基于识别出的标记m的位置来修正目标位置。由此，在本实施方式中，目标位置反映出机器人20(手臂21)与作业对象物之间的相对位置关系，因此以机器人20为基准的位置精度提高。

另外，本公开不受上述实施方式的任何限定，只要属于本公开的技术范围能够以各种方式进行实施，这是不言而喻的。

例如，在上述实施方式中，执行对作业对象物所附设的标记m的位置进行识别的标记识别处理而使机器人20与作业对象物之间的相对位置关系反映于目标位置，但也可以不执行这样的标记识别处理。

另外，在上述实施方式中，机器人20具有五轴的关节，但也可以具有四轴以下的关节，也可以具有六轴以上的关节。另外，机器人20仅具有旋转关节、回转关节，但也可以具有直动关节。

如以上说明那样，本公开的作业机器人具备：多关节型的机器人手臂；促动器，驱动上述机器人手臂的各关节；存储装置，按照多个作业区域中的各作业区域来存储所需修正精度的修正参数，上述多个作业区域是在上述机器人手臂的可动区域内作为对作业对象物进行作业的区域而划分出的；及控制装置，在伴随着目标位置的指定而指示了作业的情况下，从上述存储装置取得与上述多个作业区域中的上述指定的目标位置所属的作业区域对应的修正参数，并使用所取得的该修正参数来修正上述目标位置而控制上述促动器。

在该作业机器人中，也可以是，上述存储装置按照上述多个作业区域中的各作业区域来存储所需数据量的修正参数。这样一来，能够削减与不要求较高的作业精度的作业区域对应的修正参数的数据数量，并且在多个作业区域中分别确保充分的作业精度。

在该情况下，也可以是，上述存储装置将按照上述多个作业区域中的各作业区域对于以所需间距呈矩阵状地排列的多个作业点分别将空间坐标值与修正值建立对应关系而得到的修正参数，作为上述修正参数进行存储，上述控制装置在伴随着目标位置的指定而指示了作业的情况下，进行使用与上述目标位置所属的作业区域对应的修正参数来修正上述目标位置的矩阵修正。这样一来，即使机器人手臂包含误差，也能够不受该误差的影响地更准确地向目标位置移动。

另外，在本实施方式的作业机器人中，也可以是，上述机器人手臂具有对设于上述作业对象物的标记进行识别的识别装置，上述控制装置基于由上述识别装置识别出的标记的位置来修正上述目标位置而控制上述促动器。这样一来，能够保证作业对象物与机器人手臂之间的相对位置关系，能够进一步提高对作业对象物进行的作业的作业精度。在该情况下，也可以是，上述作业对象物按照上述多个作业区域中的各作业区域来设置所需数量的标记。作业机器人所识别的标记的数量越多，越能够准确地确定出相对于作业对象物的相对位置关系。因此，能够通过按照多个作业区域中的各作业区域来对作业对象物设置所需数量的标记，而按照多个作业区域中的各作业区域确保充分的作业精度。

另外，本公开的作业位置修正方法是指定目标位置而使多关节型的作业机器人动作时的作业位置修正方法，上述作业位置修正方法包括如下的工序：在上述作业机器人的可动区域内设定多个作为对作业对象物进行作业的区域的作业区域，按照所设定的该多个作业区域中的各作业区域来设定所需修正精度的修正参数，使用所设定的该修正参数中的与上述目标位置所属的作业区域对应的修正参数来修正上述目标位置而控制上述作业机器人的动作。

在该作业位置修正方法中，也可以是，能够根据上述作业对象物的尺寸而变更上述作业区域。这样一来，能够对应于作业对象物的尺寸来设定适当范围的作业区域。

此外，在作业位置修正方法中，也可以是，还包括如下的工序：按照上述多个作业区域中的各作业区域来设定所需的间距，设定对于以所设定的该间距呈矩阵状地排列的多个作业点分别将空间坐标值与修正值建立对应关系而得到的修正参数，进行使用所设定的该修正参数中的与上述目标位置所属的作业区域对应的修正参数来修正上述目标位置的矩阵修正。这样一来，即便机器人手臂包含误差，也能够不受该误差的影响地更准确地向目标位置移动。

工业上的有用性

本公开能够应用于作业机器人的制造工业等。

附图标记说明

10、机器人系统；11、作业台；12、基板输送装置；13、元件供给装置；14、零件相机；15、废弃箱；20、机器人；22、手臂；24、标记相机；31～36、第一连杆～第六连杆；41～45、第一关节～第五关节；51～55、第一马达～第五马达；61～65、第一编码器～第五编码器；70、控制装置；71、cpu；72、rom；73、hdd；74、ram；75、驱动电路；76、输入装置；77、输出装置；100、三维测量器；m、标记；m、标记；s、基板。