技术特征：
技术总结
本发明提供一种片盒搬运机器人，包括自动导引小车和架设在所述自动导引小车上的外部框架，所述外部框架上设有片盒承载装置、搬运所述片盒的机械手以及若干减振组件，所述若干减振组件对称分布在所述外部框架与自动导引小车之间，这样在片盒搬运机器人的移动过程中，当受到撞击或者外力或者被突然停止时，减振组件可以减缓其突然停止的动作，防止位于片盒架中的晶圆被突然停止的动作而与片盒发生碰撞或者片盒从片盒架上甩出去，同时由于减缓了突然停止的动作，能有效降低因机械振动对机器人本体造成的疲劳和寿命缩短，提高系统的可靠性。
技术研发人员：吴飞;许琦欣;杜荣;冯日盛;周红吉;李玲雨;王帆
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2017.04.28
技术公布日：2018.11.13