专利名称：液滴喷出头及液滴喷出装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及液滴喷出头及液滴喷出装置。
背景技术：
近年来，在利用喷墨技术的液滴喷出装置中，除了用于在纸上打印的喷墨打印机等图像形成装置以外，例如开发了一种用于形成显示用的面板的金属布线的成膜装置。
在此，例如在喷墨打印机的液滴喷出头(喷墨头)中设置有多个喷出口(喷嘴口)，但由于液滴(墨)的成分析出，附着在喷出口周围，故存在引起几个喷出口堵塞，无法正常喷出液滴的情况。若喷出口产生堵塞，则导致打印出的图像内产生空点等不良情况。
伴随于此，在专利文献1中，针对液滴喷出头的喷出口，在液滴喷出时与液滴接触的位置设置温度检测传感器，通过根据伴随所接触的液滴的蒸发的电阻变化，检测液滴喷出的有无，从而能够进行液滴的不喷出检测。
然而，专利文献1所公开的技术，虽然适用于判断喷出口是否完全不能进行喷出，但在判断是否为喷出口附近附着有墨成分等异物的状态时不理想。即，作为防止异物的附着所引起的液滴飞行弯曲的技术是不够的。
专利文献1特开平08-323993号公报发明内容本发明的目的在于，本发明涉及的液滴喷出头及液滴喷出装置提供一种可以检测异物是否附着在喷出口等的结构，通过防止所喷出的液滴的飞行弯曲，从而可以提高液滴的喷出精度。
本发明涉及的液滴喷出头具备第一驱动部；和与所述第一驱动部连接的基体，所述基体具有第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，在所述第一喷出口的边缘互相保持间隔地交替配置有多个第一电极分支与多个第二电极分支，所述多个第一电极分支与所述多个第二电极分支延伸存在于所述第一贯通部的表面上。根据该结构，例如通过测定第一电极分支与第二电极分支之间的电阻值，从而也能确认附着在第一喷出口边缘或第一贯通部表面的异物的存在，因此结果可以提高从液滴喷出头喷出液滴的精度。再有，因为分别设置多个第一电极分支与第二电极分支，紧密地形成于第一喷出口边缘或第一贯通部表面，故可以提高所附着的异物的检测精度。
再有，本发明涉及的液滴喷出头具备第一驱动部；第二驱动部；和与所述第一驱动部及所述第二驱动部连接的基体，所述基体具有由所述第一驱动部控制的第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，所述基体具有由所述第二驱动部控制的第二收纳室、第二喷出口、连通所述第二收纳室与所述第二喷出口的第二贯通部，在所述第一喷出口的边缘形成有第一电极与第二电极，在所述第二喷出口的边缘形成有第三电极与第四电极，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极、以及所述第四电极互相保持间隔地形成。根据该结构，例如通过测定第一电极与第二电极之间的电阻值，从而也能确认附着在第一喷出口边缘等处的异物的存在，因此结果可以提高从液滴喷出头喷出液滴的精度。再有，因为可以单个测定多个喷出口的电阻值，故可以停止确认了异物附着的喷出口的喷出，也能减少喷头的维修次数。
进而，本发明涉及的液滴喷出头也可具备第一驱动部；和与所述第一驱动部连接的基体，所述基体具有第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，在所述第一喷出口的边缘，互相保持间隔地形成有第一电极与第二电极。根据该结构，例如通过测定第一电极分支与第二电极分支之间的电阻值，从而也能确认附着在第一喷出口边缘或第一贯通部表面的异物的存在，因此结果可以提高从液滴喷出头喷出液滴的精度。
在上述液滴喷出头中，优选所述第一电极与所述第二电极延伸存在于所述第一贯通部的表面上。由此，不仅第一喷出口边缘，还能检测附着在第一贯通部表面的异物。
再有，在上述液滴喷出头中，优选所述第一电极包括多个第一电极分支，所述第二电极包括多个第二电极分支，所述多个第一电极分支与所述多个第二电极分支交替地配置在所述第一贯通部的表面上。例如夹持一根第一电极分支的两根第二电极分支的间隔越小，越可以提高异物的检测精度。因此，若在第一贯通部表面上紧密地形成多个第一电极分支与多个第二电极分支，则可以进一步提高所附着的异物的检测精度。
进而，在上述液滴喷出中，优选所述第一喷出口的边缘由绝缘材料形成。由此，可以容易地进行第一喷出口中第一电极与第二电极之间的电阻值检测。
还有，在上述液滴喷出头中，优选所述第一贯通部的表面由绝缘材料形成。由此，可以容易地进行第一贯通部中第一电极与第二电极之间的电阻值检测。
进一步，在上述液滴喷出头中，优选所述第一驱动部包括压电元件，所述第一收纳室是利用所述第一驱动部的动作使容积变动的第一压力室。由此，可以在液滴喷出头中使用压电元件。因为压电元件的动作不基于加热，故与加热相比，不会促进液滴的干燥，可以减少使异物附着在第一喷出口边缘等的频率。因此结果可以提高液滴喷出精度。
再有，在上述液滴喷出头中，优选所述基体具有流路基板与喷嘴板，所述第一收纳室形成于所述流路基板，所述第一喷出口及所述第一贯通部形成于所述喷嘴板。由此，由于也能利用流路基板与喷嘴板分别由不同的结构构成的液滴喷出头，故可以提高设计上的自由度。
本发明涉及的液滴喷出装置具备上述液滴喷出头；和控制所述第一驱动部的控制部，所述控制部具有测定所述第一电极与所述第二电极之间的电阻值并检测测定电阻值的功能。由此，可检测附着于第一喷出口边缘的异物。例如，在喷出导电性的功能材料时，异物附着的检测变得容易，因此装置的维修的精度提高，其结果成膜的质量提高。
本发明涉及的液滴喷出装置也可具备上述液滴喷出头；和控制所述第一驱动部的控制部，所述控制部具有测定所述第一电极与所述第二电极之间的电阻值并检测测定电阻值的功能，具有在所述测定电阻值为设定电阻值以下时停止所述第一驱动部的动作的功能。由此，当第一喷出口周围附着异物时，可停止从第一喷出口喷出液滴。例如，在喷出导电性的功能材料时，异物附着的检测变得容易，因此装置的维修的精度提高，其结果成膜的质量提高。
图1是表示液滴喷出装置的概略构成的图。
图2是表示液滴喷出装置的控制系统的构成的框图。
图3是用于说明液滴喷出头中喷出液体材料的部分的详细结构的部分立体图。
图4是用于说明液滴喷出头中喷出液体材料的部分的详细结构的部分剖视图。
图5是对各电极的配置进行说明的示意俯视图。
图6是对各电极的其他形态进行说明的示意俯视图。
图7是对各电极的其他形态进行说明的示意俯视图。
图8是对各电极的其他形态进行说明的示意俯视图。
图9是表示其他形态的液滴喷出头的概略构成的立体图。
图10是图9所示的液滴喷出头的分解立体图。
图中1-液滴喷出装置，2-液滴喷出头，4-贯通部，10-基板，30-压力室，30-收纳室，31-隔壁，32-压电元件，32c-压电体层，32a-电极，33-振动板，34-喷嘴板，35-共用收纳室，36-供给路径，38-流路基板，39-液滴喷出面，40-喷出口，41-电极，41a-电极分支，42-电极，42a-电极分支，43-共用布线，44-共用布线，45-绝缘膜，51-压电元件，52-基板，53-基板，54-第一端子，55-第二端子，56-基板，57-喷出口，58-振动板，59-收纳室，60-供给路径，61-共用收纳室，62-隔壁，63-贯通部，101-容器，104-台架移动机构，105-台架，106-台面，108-台面移动机构，110-管道，111-液状材料，112-控制部，200-输入缓冲存储器，202-存储机构，204-处理部，206-扫描驱动部，208-喷头驱动部，210-电阻值测定部，302-台架位置检测机构，303-台面位置检测机构。
具体实施例方式
以下，对本发明涉及的液滴喷出头及液滴喷出装置(成膜装置)的实施方式进行说明。
首先，在本发明涉及的液滴喷出头的说明之前，说明具备本发明涉及的液滴喷出头的液滴喷出装置、即本发明涉及的液滴喷出装置。
(液滴喷出装置)图1是表示一实施方式的液滴喷出装置的概略构成的图。如图1所示，液滴喷出装置1包括搭载了喷出液滴的多个喷出头2的台架105；使台架105沿水平的一个方向(以下称为“X轴方向”)移动的台架移动机构(移动元件)104；保持作为液滴的付与对象的基板10的台面106；使台面106沿与X轴方向垂直的水平方向(以下称为“Y轴方向”)移动的台面移动机构(移动元件)108；控制部112。液滴喷出装置1附近设置有储存液状材料111的容器101。容器101与台架105通过管道110连接，该管道110为输送液状材料111的流路。储存在容器101中的液状材料111例如通过压缩空气的力而被输送(供给)到液滴喷出头2。
作为液状材料111，只要具有能从液滴喷出头2喷出的粘度，就不进行特别限定，可以采用各种液状材料、溶液、溶解液体。再有，液状材料111即使固体物质分散但只要整体为流动体即可。即，液状材料111是色要素膜的构成材料溶解或分散在溶剂中的材料，可以是溶液，也可以是分散液体(悬浊液或乳浊液)。
台架移动机构104的动作由控制部112控制。本实施方式的台架移动机构104使台架105沿Z轴方向(垂直方向)移动，还具有调整高度的功能。进而，台架移动机构104还具有使台架105绕与Z轴平行的轴旋转的功能，由此可以对台架105绕Z轴旋转的角度进行微调。
台面106具有与X轴方向和Y轴方向双方平行的平面。再有，台面106构成为可以将作为液滴的付与对象的基板10固定或保持在其平面上。
台面移动机构108使台面106沿着与X轴方向及Z轴方向两者垂直的Y轴方向移动，其动作由控制部112来控制。进而，本实施方式的台面移动机构108还具有使台面106绕与Z轴平行的轴旋转的功能，由此可以对载置于台面106上的基板10绕Z轴的倾斜进行微调，将其修正为垂直。
如上所述，由台架移动机构104使台架105沿X轴方向移动。另一方面，由台面移动机构108使台面106沿Y轴方向移动。即，通过台架移动机构104及台面移动机构108，改变台架105相对于台面106的相对位置。
图2是表示图1所示的液滴喷出装置的控制系统的构成的框图。如图2所示，控制部112具备输入缓冲存储器200、存储机构202、处理部204、扫描驱动部206、喷头驱动部208、电阻值测定部210、台架位置检测机构302和台面位置检测机构303。
输入缓冲存储器200与处理部204连接为能相互通信。处理部204与存储机构202连接为能相互通信。处理部204与扫描驱动部206连接为能相互通信。处理部204与喷头驱动部208连接为能相互通信。再有，扫描驱动部206与台架移动机构104及台面移动机构108连接为能相互通信。同样，喷头驱动部208与液滴喷出头2连接为能相互通信。电阻值测定部210与处理部204及液滴喷出头2连接。
输入缓冲存储器200从未图示的外部信息处理装置接受与喷出液状材料111的液滴的位置相关的数据、即描绘图案数据。输入缓冲存储器200向处理部204供给该描绘图案数据，处理部204将描绘图案数据存储在存储机构202中。存储机构202由RAM、磁记录介质、磁光记录介质等构成。电阻值测定部210测定设置在液滴喷出头2的喷出口附近的成对的电极相互间的电阻值。关于该详细内容在后面叙述。
台架位置检测机构302检测台架105即液滴喷出头2的X轴方向的位置(移动距离)，将其检测信号输入到处理部204。台面位置检测机构303检测台面106即基板10的Y轴方向的位置(移动距离)，将其检测信号输入到处理部204。台架位置检测机构302、台面位置检测机构303例如由线性编码器、激光测长器等构成。
处理部204根据台架位置检测机构302及台面位置检测机构303的检测信号，通过扫描驱动部206来控制(闭环控制)台架移动机构104及台面移动机构108的动作，控制台架105的位置与基板10的位置。进而，处理部204通过控制台面移动机构108的动作，从而控制台面106即基板10的移动速度。再有，处理部204根据描绘图案数据，向喷头驱动部208提供指定每个喷出定时的喷嘴的打开/关闭的选择信号。喷头驱动部208根据选择信号将液状材料111的喷出所需的喷出信号提供给液滴喷出头2。结果是，从液滴喷出头2将液状材料111作为液滴喷出。控制部112例如是包含CPU、ROM、RAM的计算机。该情况下，控制部112的上述功能通过由计算机执行的软件程序来实现。当然控制部112也可以是专用的电路(硬件)。
接着，作为本发明的液滴喷出头的一例，详细说明液滴喷出头2。
图3是用于说明液滴喷出头中喷出液体材料喷出的部分的详细结构的部分立体图。图4是用于说明液滴喷出头中喷出液体材料喷出的部分的详细结构的部分剖视图。
如图3所示，液滴喷出头2具备振动板33、喷嘴板34与流路基板38。使流路基板38介于振动板33与喷嘴板34相互之间而一体化。流路基板38上形成有共用收纳室35、多个隔壁31和多个收纳室30。收纳室30对应于贯通部4设置，因此收纳室30的个数与贯通部4的个数相同。经由位于一对隔壁31之间的供给路径36，从共用收纳室35向收纳室30供给液体材料。在本例中，流路基板38与喷嘴板34相当于本发明中的“基体”。
如图4所示，与每个收纳室30对应，压电元件(驱动部)32位于振动板33之上。压电元件32由压电体层32c、和夹持压电体层32c的电极32a、32b构成。通过向该电极32a、32b提供驱动电压，从而液状材料成为液滴从对应的贯通部4喷出。另外，若压电元件32构成为沿振动板33的厚度方向伸缩，则电极的位置或压电体层的材质可以任意设定。在此，所谓贯通部4是指连通收纳室30与设置在液滴喷出面39上的喷出口40的部分。该贯通部4的表面在图4中是指喷嘴板34的一部分的表面，是位于压力室30与喷出口40之间的表面。所谓喷出口40是贯通部4与液滴喷出面39的边界部。喷出口40的边缘是指在液滴喷出面39上喷出液体材料时接触的区域。该喷出口40的边缘由绝缘材料形成。再有，贯通部4的表面也由绝缘材料形成。还有，本例的收纳室30是利用压电元件32的动作而使容积变动的压力室。电极41、42延伸存在于贯通部4的表面上，从该表面开始形成到喷出口40的边缘。
图5是对各电极的配置进行说明的示意俯视图。图5以俯视图来表示喷出口40的边缘部分。各喷出口40的边缘分别互相隔开一定间隔形成一对电极41与电极42。各电极41与共用布线43连接。同样，各电极42与共用布线44连接。另外，若说明与本发明的对应关系，则例如图中最左侧的喷出口40相当于“第一喷出口”，设置在该喷出口40边缘的电极41相当于“第一电极”，电极42相当于“第二电极”。再有，该情况下，图中从左数第二(中央)喷出口40相当于“第二喷出口”，设置在该喷出口40边缘的电极41相当于“第三电极”，电极42相当于“第四电极”。这些成对的电极41、42用于检测喷出口40附近附着液体材料的析出物而产生了孔堵塞的情况。具体是，在成对的电极41、42之间施加电压，通过测定流经的电流等，测定产生于这些电极41、42之间的电阻值，从而判断孔堵塞。若不存在析出物，则电极41、42分开，因此所测定的电阻值为非常高的值。另一方面，在产生析出物的情况下，由于电极41、42相互间通过析出物电连接，故得到与该析出物的性质、量等对应的电阻值。这些电极41、42与控制部112内的电阻值测定部210连接(参照图2)，由该电阻值测定部210测定电极41、42之间的电阻值，检测出测定电阻值。测定电阻值被输入到处理部204中。处理部204例如在测定电阻值为规定的设定电阻值以下的情况下，以停止液滴喷出头2的压电元件32的动作的方式进行控制。另外，取代电阻值，也可以利用静电电容。
图6是对各电极的其他形态进行说明的示意俯视图。如图6所示，省略共用布线43、44，也可以使各电极41、42分别独立存在。根据该构成，可以容易地按照每个喷出口40判断孔堵塞。另外，也可以仅使其中一方的电极(例如电极41)独立，使另一方的电极(例如电极分支42)与共用布线连接。通过将共用布线连接到基准电位(例如接地电位)，从而可以按照每个喷出口40判断孔堵塞。
图7是对各电极的其他形态进行说明的示意俯视图。在图7所示的例子中，在喷出部40的周围设置有多个电极分支41a与多个电极分支42a。更详细的是，在喷出口40周围，各电极分支41a与各电极分支42a互相保持间隔地交替配置。在本例中，各电极分支41a全部作为一个电极起作用，同样各电极分支42a全部作为一个电极起作用。再有，虽然省略了图示，但各电极分支41a、各电极分支42a都和上述各电极41、42同样，延伸存在于贯通部4的表面上(参照图4)。各电极分支41a与共用布线43连接，各电极分支42a与共用布线44连接。各电极分支41a与各电极分支42a隔着绝缘膜45，在上下方向层叠配置。通过绝缘膜45来确保两者间的电绝缘。此外，若说明与本发明的对应关系，则各电极分支41a相当于“多个第一电极分支”，各电极分支42a相当于“多个第二电极分支”。
图8是对各电极的其他形态进行说明的示意俯视图。如图8所示的例子，省略共用布线43，可以使各电极分支41a按照每个喷出口40独立，且省略共用布线44而使各电极分支42a按照每个喷出口40独立。根据该构成，可以容易地按照每个喷出口40判断孔堵塞。另外，也可以仅使其中一方的电极分支组(例如电极分支41a)独立，使另一方的电极分支组(例如电极分支42a)与共用布线连接。通过将共用布线连接到基准电位(例如接地电位)，从而可以按照每个喷出口40判断孔堵塞。
然而，在上述实施方式中，对将本发明适用于基体具有流路基板与喷嘴板的类型的液滴喷出头时的一个实施方式进行了说明，但即使将本发明适用于以下所说明的、一体成形为基体具有收纳室、喷出口及贯通部的类型的液滴喷出头也是可以的。
图9是表示其他形态的液滴喷出头的概略构成的立体图。图10是图9所示的液滴喷出头的分解立体图。
图9所示的液滴喷出头2a具有互相接合的基板(基体)52及基板(振动板)53，这些基板52、53之间形成有液状材料(上述液状材料111)的流路。而且，在基板53的与上述流路相反一侧安装有压电元件51，这些通过基板56而被接合(固定)。
若更具体地进行说明，则如图10所示，在基板52的基板53一侧的表面上形成沟槽及凹部，由此在基板52与基板53之间区分出收纳液状材料的多个收纳室(空腔)59；从各收纳室59喷出液状材料的喷出口57；用于向各收纳室59供给液状材料并收纳液状材料的一个共用收纳室(贮存器)61；用于从共用收纳室61向各收纳室59供给液状材料的供给路径60。
多个收纳室59互相隔着隔壁62而并设有多个，各收纳室59由包含隔壁62及振动板58的部件划分而成，经由贯通部与喷出口57连通，并且收纳液状材料。各收纳室59经由供给路径60而与一个共用收纳室61连通。由此，可以经由供给路径60从共用收纳室61向各收纳室59供给液状材料。再有，共用收纳室61构成为通过未图示的供给部被从上述管道110供给液状材料。
构成这种各收纳室59的壁面的一部分的基板53的部分作为振动板58起作用。因此，通过使各振动板58位移(振动)，从而可以使对应的收纳室59的容积变化，通过贯通部从喷出口57喷出液滴。而且，与上述实施方式同样，可以以延伸存在于各喷出口57的边缘、或延伸存在于连通喷出口57与收纳室59的贯通部63上的方式，设置成对的电极或者电极分支(参照图5～图8)。
在这种各振动板58的与收纳室59相反一侧的表面上，即基板53的与基板52相反一侧的面中与各收纳室59对应的部位上，如图9及图10所示，沿振动板58的较长方向接合有压电元件51。即，各压电元件51与各收纳室59的振动板58的外面接合。
各压电元件51构成为沿振动板58的厚度方向伸缩。由此，可以使振动板58振动(位移)。这种压电元件51上安装有与上述喷头驱动部208连接的第一端子54及第二端子55。由此，通过第一端子54及第二端子55向压电元件51施加电压，从而可以使压电元件51伸缩，使振动板58位移(振动)。
在这种压电元件51的与基板53相反一侧的表面上接合并固定有基板56。即，基板56在与收纳室59相反一侧使相邻的压电元件51互相连接。若这种相邻的压电元件51在与收纳室59相反的一侧互相连接，则可以更可靠且有效地向振动板58传递压电元件51的驱动力，可以增大收纳室59的容积变化量。结果，可以更可靠地实现液滴喷出头2a的省电化及低成本化。而且，在基板56上，从外部对上述第一端子54及第二端子55的访问成为可能。
根据上述实施方式，由于也能确认附着在喷出口边缘或贯通部表面的异物的存在，故结果可以提高从液滴喷出头喷出液滴的精度。
另外，本发明并未限于上述内容，在本发明的主旨范围内可适当进行变更后实施。例如，在上述实施方式中，作为驱动部的一例说明了压电元件，但驱动部不限于此。例如驱动部也可为使收纳室内产生气泡的机构等。
权利要求
1.一种液滴喷出头，其中具备第一驱动部；和与所述第一驱动部连接的基体，所述基体具有第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，在所述第一喷出口的边缘，互相保持间隔地交替配置有多个第一电极分支与多个第二电极分支，所述多个第一电极分支与所述多个第二电极分支延伸存在于所述第一贯通部的表面上。
2.一种液滴喷出头，其中具备第一驱动部；第二驱动部；和与所述第一驱动部及所述第二驱动部连接的基体，所述基体具有由所述第一驱动部控制的第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，所述基体具有由所述第二驱动部控制的第二收纳室、第二喷出口、连通所述第二收纳室与所述第二喷出口的第二贯通部，在所述第一喷出口的边缘形成有第一电极与第二电极，在所述第二喷出口的边缘形成有第三电极与第四电极，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极、以及所述第四电极互相保持间隔地形成。
3.一种液滴喷出头，其中具备第一驱动部；和与所述第一驱动部连接的基体，所述基体具有第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，在所述第一喷出口的边缘，互相保持间隔地形成有第一电极与第二电极。
4.根据权利要求2或3所述的液滴喷出头，其特征在于，所述第一电极与所述第二电极延伸存在于所述第一贯通部的表面上。
5.根据权利要求2～4中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，所述第一电极包括多个第一电极分支，所述第二电极包括多个第二电极分支，所述多个第一电极分支与所述多个第二电极分支交替地配置在所述第一贯通部的表面上。
6.根据权利要求2～5中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，所述第一喷出口的边缘由绝缘材料形成。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，所述第一贯通部的表面由绝缘材料形成。
8.根据权利要求2～7中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，所述第一驱动部包括压电元件，所述第一收纳室是通过所述第一驱动部的动作使容积变动的第一压力室。
9.根据权利要求2～8中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，所述基体具有流路基板与喷嘴板，所述第一收纳室形成于所述流路基板，所述第一喷出口及所述第一贯通部形成于所述喷嘴板。
10.根据权利要求2～9中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，该液滴喷出头还具备控制所述第一驱动部的控制部，所述控制部具有测定所述第一电极与所述第二电极之间的电阻值并检测测定电阻值的功能。
11.一种液滴喷出装置，其中具备权利要求2～9中任一项所述的液滴喷出头；和控制所述第一驱动部的控制部，所述控制部具有测定所述第一电极与所述第二电极之间的电阻值并检测测定电阻值的功能，还具有当所述测定电阻值在设定电阻值以下时停止所述第一驱动部的动作的功能。
全文摘要
本发明的液滴喷出头具备第一驱动部(32)；和与所述第一驱动部连接的基体(33、34)，所述基体具有第一收纳室(30)、第一喷出口(40)、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部(4)，在所述第一喷出口的边缘，互相保持间隔地形成有第一电极(41)与第二电极(42)。从而本发明涉及的液滴喷出头及液滴喷出装置可以提供一种可以检测异物是否附着在喷出口等的结构，通过防止所喷出的液滴的飞行弯曲，从而可以提高液滴的喷出精度。
文档编号B41J2/165GK101037044SQ200710086380
公开日2007年9月19日 申请日期2007年3月15日 优先权日2006年3月17日
发明者高桥隼人, 酒井真理 申请人:精工爱普生株式会社