新的背钝化工艺中背电场网版的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种新的背钝化工艺中背电场网版，属于太阳能光伏电池制造领域，主要特点是网版上空出若干根等间距分布的背电极，设置若干根垂直于各背电极的细栅线，若干根纵向细栅线经一根连接栅线连接到距离最近的背电极，本发明基本消除了串联电阻的增加，电池片效率也不会有损失，相比较传统背电场网版，本发明节省浆料70%至80%，网版的使用寿命以20000片/块计算，铝浆价格以2013年市场价计算，网版成本参考正电极网版价格计算，电池片效率基本无损失，综合以上计算本发明可使得铝背场印刷工序节省成本45%至55%。
【专利说明】新的背钝化工艺中背电场网版
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种新的背钝化工艺中背电场网版，属于太阳能光伏电池制造领域。【背景技术】
[0002]新一代工业化硅太阳能电池的目标转换效率在20%以上。在硅片厚度不断减薄的趋势下，为了实现这一目标，就必须为电池的前、背表面提供高效的钝化技术。而近期，采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)和原子层沉积(ALD)技术生长三氧化二铝膜则被证明是一种比较成熟的制备这种介质层的技术，主要的钝化原理是三氧化二铝富含大量的固定负电荷，能有效地阻止电子到达背表面与空穴进行复合，具有优异的场效应钝化，表现在光谱响应方面能大大改善长波响应；而且三氧化二铝具有良好热稳定性符合丝网印刷工艺要求，可以与丝网印刷工艺配合使用。
[0003]而电极的引出需要引入激光开孔工艺，用激光按照一定的图形在镀有三氧化二铝钝化膜、氮化硅膜的背表面开孔，主要的目的是为了在印刷铝背场浆料时使铝浆能顺利进入孔内，利用铝浆的导电性把背面电流收集到背面电极上引出。主要原理是利用三氧化二铝对激光的的吸收，在直径为40微米至100微米的区域内产生高温将三氧化二铝气化蒸发掉从而达到去除三氧化二铝膜、收集背面电流、引出背电极的目的。
[0004]在背钝化工艺中传统的铝背场印刷图形往往是只留出背电极的图形，其他位置全部覆盖铝浆。而真正对电池效率有贡献的铝浆只有印在激光开的孔槽中的那一部分，其余约80%的铝浆是对电池效率没有贡献的。这造成了很大的成本浪费，所以现有的设计需要加以改进。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是提供一种新的背钝化工艺中背电场网版，本发明能够大幅度的降低铝浆的使用量，降低电池生产成本。
[0006]本发明的目的是通过以下技术方案实现的，一种新的背钝化工艺中背电场网版，其特征是，所述网版上空出若干根等间距分布的背电极，设置若干根垂直于各背电极的细栅线，若干根纵向细栅线经一根连接栅线连接到距离最近的背电极。
[0007]所述背电极为两根至五根，背电极长度为151毫米至153毫米，宽度为1.5毫米至3毫米；
所述细栅线为120根至200根；细栅线线宽为40微米至120微米，长度151毫米至153毫米；相邻两根细栅线之间距离为0.76毫米至1.27毫米。
[0008]所述纵向每五根细栅线经一根连接栅线连接到距离最近的背电极，连接栅线线宽为40微米至120微米，长度25.7毫米至51.3毫米。
[0009]本发明基本消除了串联电阻的增加，电池片效率也不会有损失，相比较传统背电场网版，本发明节省浆料70%至80%，网版的使用寿命以20000片/块计算，铝浆价格以2013年市场价计算，网版成本参考正电极网版价格计算，电池片效率基本无损失，综合以上计算本发明可使得铝背场印刷工序节省成本45%至55%。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本发明网版图形示意图；
图中，I细栅线，2细栅线，3背电极，4背电极，5背电极，6连接栅线，7连接栅线。
【具体实施方式】
[0011]结合附图和实施例进步说明本发明，本发明所述新的背钝化工艺背钝化工艺是在完成清洗、背抛光、离子注入、退火工艺后，在抛光面镀一层三氧化二铝膜，在三氧化二铝膜上再镀一层氮化硅膜，接着激光打孔槽，印刷背电极、背电场、正电极，最后完成烧结、测试。本发明背电场网版图形如图1所示，将背电场网版配合激光所打孔槽设计为栅线模式，从而只在孔槽位置印刷铝浆。网版上空出背电极3、4、5的位置，背电极为两根至三根，等间距分布，本实施例的背电极为三根3、4、5，各根长度为151晕米至153晕米,宽度为1.5晕米至3毫米；背电场配合激光所打孔槽设计等间距的若干细栅线1、2，各细栅线1、2垂直于背电极3、4、5 ;细栅线为120根至200根；细栅线线宽设计为40微米至120微米，长度151毫米至153毫米；相邻两根细栅线之间距离设计为0.76毫米至1.27毫米。
[0012]栅线模式铝背场设计会导致铝背场空穴移动时选择路径的减少，从而使得电池片的串联电阻略有增加，电池片效率会略有下降；本发明针对此现象在栅线模式的铝背场网版图形上添加若干连接栅线6、7，纵向每五根细栅线有一根连接栅线连接到距离最近的背电极位置，如图1中的连接栅线6、7，以此方式连接整个铝背场的细栅线，连接栅线线宽设计为40微米至120微米，长度25.7毫米至51.3毫米。
【权利要求】
1.一种新的背钝化工艺中背电场网版，其特征是，所述网版上空出若干根等间距分布的背电极，设置若干根垂直于各背电极的细栅线，若干根纵向细栅线经一根连接栅线连接到距离最近的背电极。
2.根据权利要求1所述的新的背钝化工艺中背电场网版，其特征是，所述背电极为两根至五根，背电极长度为151毫米至153毫米，宽度为1.5毫米至3毫米。
3.根据权利要求1所述的新的背钝化工艺中背电场网版，其特征是，所述细栅线为120根至200根；细栅线线宽为40微米至120微米，长度151毫米至153毫米；相邻两根细栅线之间距离为0.76毫米至1.27毫米。
4.根据权利要求1或3所述的新的背钝化工艺中背电场网版，其特征是，所述纵向每五根细栅线经一根连接栅线连接到距离最近的背电极，连接栅线线宽为40微米至120微米，长度25.7毫米至51.3毫米。
【文档编号】B41F15/34GK103625098SQ201310605947
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年11月26日 优先权日:2013年11月26日
【发明者】殷坤, 赵建东, 郑飞 申请人:中电电气（扬州）光伏有限公司