压电元件、压电元件应用设备、以及压电元件的制造方法与流程

文档序号:12227083阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压电元件,其特征在于,

该压电元件具备:第一电极;压电体层,设置于所述第一电极,由优先取向于(100)面的钙钛矿型结构的复合氧化物的结晶形成;以及第二电极,设置于所述压电体层,由优先取向于(100)面的铂形成,

在所述压电体层中,所述第二电极侧的结晶的面间隔大于所述第一电极侧的结晶的面间隔。

2.根据权利要求1所述的压电元件,其特征在于,

在所述压电体层中,A位含有铋,B位含有铁以及钛。

3.一种压电元件应用设备,其特征在于,

具备权利要求1或者2所记载的压电元件。

4.一种压电元件的制造方法,其特征在于,

在将第一电极、压电体层以及第二电极按层形成在基板上而成为压电元件的压电元件的制造方法中,具备:

通过液相法将所述压电体层形成为由优先取向于(100)面的钙钛矿型结构的复合氧化物的结晶形成的层的工序;以及

通过将基板温度设定为400~800℃的溅射法将所述第二电极形成为由优先取向于(100)面的铂形成的层的工序。

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