贴合器件的制造装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种相对于例如液晶显示器(IXD)、有机EL显示器(OLED)、等离子显示器(PDP)、柔性显示器等平板显示器(FPD)或传感器设备、或者例如触控面板式FPD、3D(三维)显示器或电子书籍等的液晶模块(LCM)或柔性印刷电路板(FPC)等板状工件，再贴合一张如触控面板、覆盖玻璃、覆盖膜或FPD等板状工件的贴合器件的制造装置。
【背景技术】
[0002]以往，作为这种贴合器件的制造装置，有如下基板重叠装置，即沿着设置于上侧基板保持件及下侧基板保持件的贯穿孔，分别以能够上下移动的方式设置上侧基板及下侧基板的交接用升降销，在大气压下搬入时，通过以从上侧基板保持件及下侧基板保持件的表面突出的方式上下移动的升降销分别接收由搬运机器人的臂保持并搬运的上侧基板及下侧基板，接着，升降销进行反向移动，将上侧基板及下侧基板分别交接到上侧基板保持件及下侧基板保持件的表面(例如，参考专利文献I)。交接基板之后，上侧基板保持件与下侧基板保持件靠近移动而使两者之间的真空容器内成为真空状态，然后，重叠上侧基板与下侧基板并临时固定，待真空容器内成为大气压之后，通过升降销将被贴合的基板交接到搬运机器人的臂并搬出。
[0003]而且，在专利文献I中记载的、上侧基板保持件及下侧基板保持件的贯穿孔与升降销之间设置如O型环那样的密封部件，并使其可滑动地与升降销接触，由此维持真空容器内的密封状态。
[0004]并且，作为其他例子，还有如下基板贴合装置，即遍及设有贯穿孔的腔室与上侧基板及下侧基板的交接用升降销地设置波纹管等可弹性变形的密封部件，与升降销可上下移动地连结，由此维持腔室内的密封状态(例如，参考专利文献2)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献1:日本特开2002-229471号公报
[0007]专利文献2:国际公开第2008/114337号小册子
【发明内容】
[0008]发明要解决的课题
[0009]然而，就这种现有的贴合器件的制造装置而言，在O型环等密封部件可滑动地与升降销接触的专利文献I中，升降销每次移动时均与O型环等摩擦，因此从这些滑动部位产生由O型环等的一部分变成的废物，给工件的贴合带来不良影响，并且O型环等磨损而寿命变短，存在需要定期更换零件的问题。如果为了抑制废物的产生而对滑动部分供给滑动润滑脂等润滑剂，则不仅要担忧真空中气体的产生或挥发，在维护性上也存在问题。
[0010]而且，当被O型环等密封部件密封的密闭空间变化为大气压和真空时，由于这些压力差的变化，会产生轻微的变形，因此有时也会由于该变形而在升降销移动时施加过大的负荷，在最严重的情况下还有可能出现升降销被削减或由于移动不良而发生意外事故。
[0011]并且，在升降销通过波纹管等可弹性变形的密封部件可移动地被连结的专利文献2中，波纹管等的能够随着升降销的移动而伸缩的冲程被限制，如果超过其范围则导致波纹管等的寿命降低。因此，为了增大升降销的移动冲程，需要将波纹管等密封部件本身的大小向升降销的移动方向延长，存在装置整体随之大型化而成本变高的问题。
[0012]本发明将解决这种问题作为课题，其目的在于提供一种在变压室或贯穿孔与交接部件之间不使用密封部件就能够使交接部件无接触且无限制地移动的密封结构等。
[0013]用于解决课题的手段
[0014]为了实现这种目的，本发明是一种贴合器件的制造装置，所述装置将被搬入到变压室的第一工件及第二工件分别交接到第一保持部件及第二保持部件，并在被减压的所述变压室中使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任意一方或双方相对靠近移动，从而贴合所述第一工件与所述第二工件，其特征在于，所述装置具备:所述变压室，取放自如地容纳所述第一工件及所述第二工件；所述第一保持部件及所述第二保持部件，设置成在所述变压室中朝向工件贴合方向相互对置；贴合用驱动部，使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任意一方或双方以向所述工件贴合方向相对靠近或远离的方式移动；工件交接用交接部件，设置成穿过设置于所述变压室的贯穿孔而向所述工件贴合方向移动自如；闭锁部件，设置成以气密状地开闭所述变压室的所述贯穿孔的方式移动自如；及控制部，对所述贴合用驱动部、所述交接部件的交接用驱动部及所述闭锁部件的闭锁用驱动部分别进行动作控制，所述控制部控制为，在搬入工件时使所述闭锁部件进行打开移动，以使所述贯穿孔开口，并且为了交接工件而移动所述交接部件，在贴合工件时，从所述贯穿孔拔出所述交接部件，并使所述闭锁部件进行关闭移动，以使所述贯穿孔被以气密状闭锁。
[0015]发明效果
[0016]具有前述特征的本发明中，在向变压室搬入工件时，通过控制部使闭锁部件进行打开移动，从而使变压室的贯穿孔开口，由此交接部件变得能够移动，以交接部件接收第一工件或第二工件中的任意一方或双方，并且从交接部件交接到第一保持部件或第二保持部件中的任意一方或双方。之后，通过控制部从变压室的贯穿孔拔出交接部件之后，闭锁部件进行关闭移动而使贯穿孔以气密状闭锁，由此能够将变压室减压至成为高度真空状态，第一工件与第二工件被贴合。
[0017]因此，能够提供一种在变压室或贯穿孔与交接部件之间不使用密封部件就能够使交接部件无接触且无限制地移动的密封结构。
[0018]其结果，与O型环等密封部件可滑动地与升降销接触的现有结构相比，由于是没有滑动部位的密封结构，因此能够防止废物的产生对工件的贴合带来的不良影响、伴随磨损的零件的更换、及压力差的变化引起的密封部件的变形，可实现经长期而稳定的运转。
[0019]而且，与升降销通过波纹管等可弹性变形的密封部件可移动地被连结的现有结构相比，由于能够自由地移动交接部件，因此能够防止零件的寿命降低及装置整体的大型化，并可减少成本。
【附图说明】
[0020]图1是表示本发明的实施方式所涉及的贴合器件的制造装置的整体结构的说明图，图1(a)是搬入工件时的纵剖主视图，图1(b)是减压时的纵剖主视图。
[0021]图2是表示腔室的变形例的说明图，图2(a)是搬入工件时的纵剖主视图，图2 (b)是减压时的纵剖主视图。
[0022]图3是表示第二保持部件的变形例的说明图，图3(a)是搬入工件时的纵剖主视图，图3(b)是减压时的纵剖主视图。
[0023]图4是表示闭锁部件的驱动部的一例的说明图，图4 (a)是搬入工件时的纵剖主视图，图4 (b)是减压时的纵剖主视图。
[0024]图5是表示闭锁部件的变形例的说明图，图5 (a)是搬入工件时的纵剖主视图，图5(b)是减压时的纵剖主视图。
[0025]图6是表示本发明的实施例1所涉及的贴合器件的制造装置的整体结构的说明图，图6(a)是搬入工件时的纵剖主视图，图6(b)是减压时的纵剖主视图。
[0026]图7是表示本发明的实施例2所涉及的贴合器件的制造装置的整体结构的说明图，图7(a)是搬入工件时的纵剖主视图，图7(b)是减压时的纵剖主视图。
[0027]图8是表示本发明的实施例3所涉及的贴合器件的制造装置的整体结构的说明图，图8(a)是搬入工件时的缩小纵剖主视图，图8(b)是对位后的缩小纵剖主视图，图8(c)是减压时的缩小纵剖主视图。
【具体实施方式】
[0028]以下，根据附图详细地说明本发明的实施方式。
[0029]如图1?图8所示，本发明的实施方式所涉及的贴合器件W的制造装置A为如下真空贴合装置:将从外部朝向变压室I被搬入的第一工件Wl及第二工件W2分别交接给在变压室I中相对配置的第一保持部件2及第二保持部件3，之后，在被减压的变压室I中使第一保持部件2或第二保持部件3中的任意一方或双方向所述相对方向相对地靠近移动，由此第一工件Wl与第二工件W2被贴合(粘合)，从而制作贴合器件W。
[0030]详细地说明，本发明的实施方式所涉及的贴合器件W的制造装置A具备以下部分作为主要的构成要素:变压室I，第一工件Wl及第二工件W2取放自如地收容于该变压室I ;第一保持部件2及第二保持部件3，设置成在变压室I中朝向所述工件贴合方向(第一工件Wl及第二工件W2的贴合方向)彼此相对；贴合用驱动部4，使第一保持部件2或第二保持部件3中的任意一方或双方以向所述贴合方向相对地靠近或远离的方式移动；工件交接用的交接部件5，穿过设置于变压室I的贯穿孔12并向所述贴合方向移动自如地设置；闭锁部件6，以气密状地开闭贯穿孔12的方式移动自如地设置在变压室I的贯穿孔12的附近；及控制部7，设置成与贴合用驱动部4、交接部件5的交接用驱动部及闭锁部件6的闭锁用驱动部6D电连通并分别对它们进行动作控制。
[0031]贴合器件W是多个构成零件被一体地组装的薄板状结构体，例如FPD或传感器设备等。通过使例如触控面板、覆盖玻璃或覆盖膜等的第二工件W2以覆盖第一工件Wl的方式粘接，从而构成FPD或传感器设备等。
[0032]而且，在第一工件Wl及第二工件W2的由膜面等构成的贴合面Wlf、W2f中的任意一方或双方，利用点胶机等定量吐出喷嘴涂布有密封材料(未图示)。作为密封材料，优选使用UV固化性光学透明树脂(OCR)等光固化型粘接剂，其通过吸收紫外线等光能进行聚合来固化，从而体现粘接性。并且，作为其他的例子，还可以使用通过热能的吸收进行聚合来固化的热固化型粘接剂、两