专利名称：一种lcd曝光机吸附平台升降缓动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及曝光机领域，更具体地说，涉及一种曝光机吸附平台升降缓动装置。
技术背景目前，传统的曝光机在工作过程中，其吸附平台在与光罩玻璃接触后容易使光罩玻璃 产生变形，因此会影响曝光质量。如何解决上述问题，成为亟待解决的问题。 实用新型内容本实用新型在于提供一种结构简单、曝光效果好的LCD曝光机吸附平台升降缓动装置。为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案一种LCD曝光机吸附平台升降缓动装置，包括吸附平台，在所述吸附平台上方有一光 罩玻璃，在所述吸附平台下方有一固定座板，其特征在于还包括位于固定座板下方的气 缸座板，该固定座板通过多个轴与所述气缸座板连接，在所述固定座板和气缸座板之间设 有一轴承座板，该轴承座板是套设在所述轴上，该轴承座板通过一连接件与所述吸附平台 连接，在所述气缸座板上固定有平衡缓冲气缸和升降气缸，所述轴承座板与一拉回法兰活 动连接，该拉回法兰与升降气缸的活塞杆紧配，所述平衡缓冲气缸的平衡活塞杆与轴承座 板配合的一端设有弹簧，该弹簧与所述轴承座板紧配。所述平衡缓冲气缸与一消音器连接。所述平衡缓冲气缸和升降气缸都设有电磁阀。本实用新型由于采用了上述结构，在固定座板和气缸座板之间设有一轴承座板，轴承 座板套设在轴上，轴承座板通过一连接件与吸附平台连接，在气缸座板上固定有平衡缓冲 气缸和升降气缸，轴承座板与一拉回法兰活动连接，拉回法兰与升降气缸的活塞杆紧配， 平衡缓冲气缸的平衡活塞杆与轴承座板配合的一端设有弹簧，弹簧与所述轴承座板紧配， 故与传统技术相比，本实用新型通过采用平衡缓冲气缸、升降气缸和一弹簧控制吸附平台 的上升和下降，使吸附平台与光罩玻璃紧密接触，又能够防止玻璃发生变形，故本实用新 型使用寿命长、曝光效果好；另外，本实用新型结构简单。
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细的说明。图1为的本实用新型一种LCD曝光机吸附平台升降缓动装置的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，它是本实用新型的结构示意图。一种LCD曝光机吸附平台升降缓动装置， 包括吸附平台2，在所述吸附平台2上方有一光罩玻璃1，在所述吸附平台2下方有一固 定座板3。在本技术方案中，本实用新型还包括位于固定座板3下方的气缸座板5，该固 定座板3通过多个轴11与所述气缸座板5连接，在所述固定座板3和气缸座板5之间设 有一轴承座板4，该轴承座板4是套设在所述轴11上，因此轴承座板4可以在沿着轴11 在固定座板3和气缸座板5之间上下升降，在该轴承座板4通过一连接件12与所述吸附 平台2连接，在所述气缸座板5上固定有平衡缓冲气缸6和升降气缸8，所述轴承座板4 与一拉回法兰9活动连接，该拉回法兰9与升降气缸8的活塞杆81紧配，所述平衡缓冲 气缸6的平衡活塞杆61与轴承座板4配合的一端设有弹簧7,该弹簧7与所述轴承座板4 紧配。所述平衡缓冲气缸6与一消音器10连接，消音器10用于消除平衡缓冲气缸工作中 产生的噪音。平衡缓冲气缸6和升降气缸8都设有电磁阀13，通过电磁阀13来控制平衡 缓冲气缸6和升降气缸8的工作。本实用新型使用时，通过控制电磁阀13作用使升降气缸8工作，此时在拉回法兰9 与活塞杆81的配合作用下使轴承座板4向上升，由于轴承座板4与吸附平台2连接在一 起，因此吸附平台2开始向上升，在吸附平台4靠近光罩玻璃1的时，平衡缓冲气缸6 工作，此时，平衡缓冲气缸6借助弹簧7的缓冲作用，使吸附平台4与光罩玻璃1紧密贴 合，防止了光罩玻璃l的变形，最好，本实用新型再通过升降气缸8的作用，使吸附平台 2下降，离开光罩玻璃l。总之，本实用新型虽然例举了上述优选实施方式，但是应该说明，显然本领域的技术 人员可以进行各种变化和改型。因此，除非这样的变化和改型偏离了本实用新型的范围， 否则都应该包括在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1、一种LCD曝光机吸附平台升降缓动装置，包括吸附平台(2)，在所述吸附平台(2)上方有一光罩玻璃(1)，在所述吸附平台(2)下方有一固定座板(3)，其特征在于还包括位于固定座板(3)下方的气缸座板(5)，该固定座板(3)通过多个轴(11)与所述气缸座板(5)连接，在所述固定座板(3)和气缸座板(5)之间设有一轴承座板(4)，该轴承座板(4)是套设在所述轴(11)上，该轴承座板(4)通过一连接件(12)与所述吸附平台(2)连接，在所述气缸座板(5)上固定有平衡缓冲气缸(6)和升降气缸(8)，所述轴承座板(4)与一拉回法兰(9)活动连接，该拉回法兰(9)与升降气缸(8)的活塞杆(81)紧配，所述平衡缓冲气缸(6)的平衡活塞杆(61)与轴承座板(4)配合的一端设有弹簧(7)，该弹簧(7)与所述轴承座板(4)紧配。
2、 根据权利要求1所述的吸附平台升降缓动装置，其特征在于所述平衡缓冲气缸 (6)与一消音器(10)连接。
3、 根据权利要求1所述的吸附平台升降缓动装置，其特征在于所述平衡缓冲气缸 (6)和升降气缸(8)都设有电磁阀(13)。
专利摘要本实用新型公开了一种LCD曝光机吸附平台升降缓动装置，包括吸附平台，在吸附平台上方有一光罩玻璃，在吸附平台下方有一固定座板，其特征在于还包括位于固定座板下方的气缸座板，该固定座板通过多个轴与气缸座板连接，在固定座板和气缸座板之间设有一轴承座板，该轴承座板是套设在所述轴上，该轴承座板通过一连接件与吸附平台连接，在气缸座板上固定有平衡缓冲气缸和升降气缸，轴承座板与一拉回法兰活动连接，拉回法兰与升降气缸的活塞杆紧配，平衡缓冲气缸的平衡活塞杆与轴承座板配合的一端设有弹簧，弹簧与轴承座板紧配。由于采用了上述结构，故本实用新型结构简单、使用寿命长、曝光效果好。
文档编号G03F7/20GK201107545SQ20072005978
公开日2008年8月27日 申请日期2007年11月20日 优先权日2007年11月20日
发明者张光辉 申请人:志圣科技(广州)有限公司