专利名称：显影液循环处理设备的清洗系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及污水处理领域技术，尤其是指一种显影液循环处理设备的清洗系 统。
背景技术：
显影废液属于感光材料废物，已经列入《国家危险废物名录》编号为HW16好的危 险废物。由于废显影液中含有含有硫酸、硝酸及苯、甲醇、硼酸、对苯二酚、四烷铵氢氧化物 (以下称为TAAH)等化学物质，还含有溶解了的光致抗蚀剂，这些化学物质对环境对人类都 有非常大的危害，因此循环利用显影废液是对环境的保护，也是节省显影成本的一项重要 举措。但溶解了的光致抗蚀剂不易除去，其溶解于显影液中直接影响显影液的循环利用，因 此，后来人们发明了一些设备，其能将显影液中的光致抗蚀剂去除，但是不改变显影液内部 的其他化学成分，使得前述废显影液能够循环使用。现有的具有代表性的显影液处理方法中，有如下几种例如专利号为200510028668. 8的中国发明专利《废显影液、废定影液的生物处理 方法》中使用生物方法对废显影液进行处理，但是，该方法处理时间长、处理量小、不能连续 处理、微生物的培养工序复杂，并且该方法只用于处理显影液，没有涉及到循环利用，不适 合普遍使用；又例如，专利号为200580047345. 1的中国发明专利《显影废液的处理方法》对显 影液的处理，其对显影废液的要求很高，要求废液中一种金属杂质的含量相对于四烷基铵 不高于50ppm，要求各金属离子含量相对于四烷基铵不高于120ppm，若高于就需要用非常 纯的四烷基铵稀释，如此，导致该发明具有较大的局限性；再如，专利号为200480002989. 4的中国发明专利《显影装置、显影方法及显影液 循环方法》中，其系使用超滤过滤系统将显影液分成滤液和浓缩液，该装备能有效除去光致 抗蚀剂，并将显影液回收利用，而且其显影过程与显影废液处理过程同时进行，适合工厂的 流程管理，但是其发明中使用的超滤膜容易堵塞难清洗，寿命短，易受细菌等微生物污染， 而且，当发生忽然断电等突发情况时或是膜管之浓水侧或滤液侧产生负压时，该装备不具 备有效的手段或技术保护其超滤膜，从而导致其超滤膜受损，以及，该技术中，针对滤膜的 清洗装置和方法较单一，存在有清洗不彻底的现象，导致前述超滤膜极易堵塞而影响其使 用及寿命，如此，导致膜的使用以及维护成本都很高。
实用新型内容本实用新型的主要目的是提供一种显影液循环处理设备的清洗系统，其可显影液 循环处理设备的清洗系统，其可依设定定期对微滤膜管件进行反洗，亦可依实际需要智能 选择进行药洗和水洗模式针对性地对微滤膜管件进行清洗，解决显影液循环处理设备中滤 膜的清洗问题，避免滤膜堵塞；本实用新型的另一目的是提供一种显影液循环处理设备的清洗系统，其具有膜管保护装置，能有效地防止膜管因浓水侧或是滤液侧产生负压而被损坏。为实现上述目的，本实用新型采用如下之技术方案一种显影液循环处理设备的清洗系统，包括有显影槽、浓缩槽、循环动力泵、以及 采用错流过滤的微滤膜管件和滤液管，其中，该显影槽系管道式连接于浓缩槽，该浓缩槽连 接于循环动力泵，该循环动力泵通过泵出水管道连接于微滤膜管件的一端，且该微滤膜管 件的另一端系通过浓水回流管道连接于前述浓缩槽，以及，该滤液管通过滤液回流管道连 接于显影槽，本实用新型针对前述微滤膜管件设置有一清洗系统，该清洗系统包括有反洗 装置、药洗装置、水洗装置、膜管保护装置和清洗模式控制装置；其中，该反洗装置包括有清洗缓冲柱和连接于该清洗缓冲柱侧边开口处的气动调 节阀，该气动调节阀系常闭开关；该清洗缓冲柱设置于前述滤液回流管道上，且针对该反洗 装置，设置有一连接于前述泵出水管道与浓缩槽之间的反洗回流管道；该药洗装置包括有清洗药箱，该清洗药箱一端连接有药剂输送管道，该药剂输送 管道连接于前述泵出水管道上，且于该药剂输送管道上配置有药洗动力泵；该清洗药箱还 连接有第一药剂回流管道及第二药剂回流管道，该第一药剂回流管道连接于前述滤液回流 管道上，该第二药剂回流管道连接于前述浓水回流管道上；该水洗装置包括有自来水接入管道，该自来水接入管道上配置有气动调节阀来控 制自来水的接入与否，该自来水接入管道连接于前述泵出水管道上；该膜管保护装置包括有浓水侧保护装置和滤液侧保护装置；该浓水侧保护装置系 用于防止浓水侧产生负压而损坏前述微滤膜管件，其包括有空气破坏器，该空气破坏器设 置于前述微滤膜管件与浓水回流管道之间；该滤液侧保护装置系用于防止滤液侧产生负压 而损坏前述微滤膜管件，包括有排空管、配置于该排空管上的用于拦截滤液通过的单向阀 和用于排出排空管内的气泡的小管，其中，该排空管之一端系连接于前述滤液管之上端，且 其另一端连接于前述浓缩槽；该小管系架设于单向阀两端并与其两端的排空管道相连通；该清洗模式控制装置包括有调节阀、压力表、流量计及控制器；其中，该调节阀包括有设置于药剂输送管道上之泵出水管道与药洗动力泵之间的 第一调节阀、设置于第一药剂回流管道上的第二调节阀、设置于第二药剂回流管道上的第 三调节阀、设置于反洗回流管道上的第四调节阀、设置于滤液回流管道上之清洗缓冲柱与 第一药剂回流管道之间的第五调节阀；该压力表包括有设置于浓水管道的浓水压力表、设置于滤液回流管道上的产水压 力表，以及设置于泵出水管道上的进水压力表，通过该浓水压力表、产水压力表及进水压力 表共同读取微滤膜管件前后的压力差；该流量计包括有设置于泵出水管道上的进水流量计、位于滤液回流管道上的产水 流量计，该进水流量计和产水流量计共同获取该微滤膜管件的产水率；该控制器连接于前述各调节阀、流量计和压力表，该控制器依设定自动控制相应 的调节阀打开或关闭以启动或关闭前述反洗装置，以及，其根据前述压力差或产水率来控 制相应的调节阀打开或关闭以智能选择启动药洗装置和水洗装置。作为一种优选方案，所述泵出水管道之紧靠循环动力泵处配置有一单向阀。作为一种优选方案，所述浓水回流管道上配置有一可调节浓水压力的流量压力调 节开关。[0022]作为一种优选方案，所述微滤膜管件每列的数量为8至12支。本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，由上述技术 方案可知一、本实用新型之清洗系统具有由清洗模式控制装置控制的反洗、药洗、水洗装置 对微滤膜管件进行清洗，藉此，一方面，可以很好地保护微滤膜不堵塞，从而，有效地维持微 滤膜管件的最佳过滤功能；另一方面，清洗模式控制装置的设置，使得该清洗系统可根据微 滤膜管件的不同情况选择相应的清洗模式，从而，该清洗系统更为自动化、智能化；二、本实用新型之清洗系统还包括有膜管保护装置，该膜管保护装置具体包括有 浓水侧保护装置和滤液侧保护装置；该滤液侧保护装置系在排空管道中设置一单向阀和一 小管，小管起到排空作用，单向阀阻止滤液从排空管道流出，同时起到保护产水侧出现负压 时对膜的损坏；该浓水侧保护装置系设置于浓水管道上的一空气破坏阀，其能有效地防止 浓水侧产生负压时损坏膜管；三、本实用新型将单向阀合理的使用在循环动力泵与微滤膜管件之进水口之间， 有效的防止水倒流入泵，并且防止微滤膜内部脱水，尤其是出现突然停电等突发状况时；四、本实用新型中所设置的微滤膜管的串连数量每列为8至12支，经动力学及流 体力学分析可得知这种串连方式能最大限度地节约动能；五、本实用新型结构紧凑、布局合理。为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效，
以下结合附图与具体实施例来对 本实用新型进行详细说明
[0030]图1是本实用新型之较佳实施例的整体管道布置结构示图；[0031]图2是本实用新型之较佳实施例中控制器的相关连接示图。[0032]附图标识说明[0033]01、显影槽02、浓缩槽[0034]03、循环动力泵031、单向阀[0035]04、微滤膜管件05、反洗装置[0036]051、清洗缓冲柱052、气动调节阀[0037]06、药洗装置061、清洗药箱[0038]062、药剂输送管道063、药洗动力泵[0039]064、第一药剂回流,f道065、第二药剂回流管道[0040]07、水洗装置071、自来水接入管道[0041]072、气动调节阀08、膜管保护装置[0042]081、空气破坏器082、排空管[0043]083、单向阀084、小管[0044]101、第一调节阀102、第二调节阀[0045]103、第三调节阀104、第四调节阀[0046]105、第五调节阀106、浓水压力表[0047]107、产水压力表108、进水压力表[0048]109、进水流量计110、产水流量计10、泵出水管道20、浓水回流管道30、滤液管道31、滤液回流管道32、浓水管道40、反洗回流管道50、控制器
具体实施方式
以下结合附图与具体实施方式
对本实用新型作进一步描述。请参见图1和图2所示，其显示了本实用新型之较佳实施例的具体结构，一种显影 液循环处理设备的清洗系统，包括有显影槽01、浓缩槽02、循环动力泵03，以及采用错流过 滤的微滤膜管件04，其中，该显影槽01系管道式连接于浓缩槽02，该浓缩槽02连接于循环 动力泵03，该循环动力泵03通过泵出水管道10连接于微滤膜管件04的一端，且该微滤膜 管件04的另一端系通过浓水回流管道20连接于前述浓缩槽02，以及，该微滤膜管件04通 过滤液回流管道31连接于显影槽01，且于该滤液回流管道31上设置有取样阀。特别地，于泵出水管道10之紧靠循环动力泵03处配置有一单向阀031，以便有效 的防止水倒流入循环动力泵03，并且防止微滤膜管件04内部脱水，尤其是出现突然停电等 突发状况时；以及，前述微滤膜管件04每列设置的数量最好为8至12支，因为根据动力学 及流体力学分析可得知这种串连方式能最大限度地节约动能。本实施例中设置的微滤膜管 件04的串连数量每列为8支，共1列，根据其长度，将膜管排布成4行，每行排布2支。当 然，可以根据实际需要排布微滤膜管件04，并不以此为限。简单介绍前述显影液循环处理设备之产水过程，即，前述循环动力泵03将废显影 液从浓缩槽02中抽取，废显影液进入泵出水管道10，从泵出水管道10流入微滤膜管件04 内，废显影液在微滤膜管件04内部分离成滤液与浓缩液，滤液汇集于滤液管道30，滤液管 道30与滤液回流管道31、浓水回流管道20相接，滤液由滤液回流管道31回流至显影槽01， 浓缩液从浓水回流管道20排出，最终回流至浓缩槽02。前述产水过程会导致微滤膜管件04受到污染或是其滤孔被堵塞而影响滤通量， 藉此，本实用新型针对前述微滤膜管件04设置有一清洗系统，该清洗系统包括有反洗装置 05、药洗装置06、水洗装置07以及用于清洗时对微滤膜管件04进行保护的膜管保护装置 08，还包括有清洗模式控制装置；其中，该反洗装置05包括有清洗缓冲柱051和连接于该清洗缓冲柱051侧边开口 处的气动调节阀052，该气动调节阀052系常闭开关，与空气直接相接；该清洗缓冲柱051 设置于前述滤液回流管道31上，且针对该反洗装置05，设置有一连接于前述泵出水管道1 与浓缩槽02之间的反洗回流管道40 ；该药洗装置06包括有清洗药箱061，该清洗药箱061内部设置有一 PH计，该PH计 系用于对清洗药箱内药品的监控，当药箱内PH值超出正常范围时，则添加或者更换新的药 剂；该清洗药箱一端连接有药剂输送管道062，该药剂输送管道062连接于前述泵出水管道 10上，且于该药剂输送管道062上配置有药洗动力泵063 ；该清洗药箱061还连接有第一药 剂回流管道064及第二药剂回流管道065，该第一药剂回流管道064连接于前述滤液回流管 道31上，该第二药剂回流管道065连接于前述浓水回流管道20上；[0060]该水洗装置07包括有自来水接入管道071，该自来水接入管道071上配置有气动 调节阀072来控制自来水的接入与否，该自来水接入管道071连接于前述泵出水管道10 上；该膜管保护装置08包括有浓水侧保护装置和滤液侧保护装置；该浓水侧保护装 置系用于防止浓水侧产生负压而损坏前述微滤膜管件04，其包括有空气破坏器081，该空 气破坏器081设置于前述微滤膜管件04与浓水回流管道20之间；该滤液侧保护装置系用 于防止滤液侧产生负压而损坏前述微满目膜管件04，包括有排空管082、配置于该排空管 082上的用于拦截滤液通过的单向阀083和用于排出排空管082内的气泡的小管084，其 中，该排空管082之一端系连接于前述滤液管3之上端，且其另一端连接于前述浓缩槽02 ； 该小管084系架设于单向阀083两端并与其两端的排空管082相连通；该清洗模式控制装置包括有调节阀、压力表、流量计及控制器50 ；该调节阀包括有分别设置于药剂输送管道062上之泵出水管道10与药洗动力泵 063之间的第一调节阀101、置于第一药剂回流管道064上的第二调节阀102、设置于第二药 剂回流管道065上的第三调节阀103、设置于反洗回流管道40上的第四调节阀104、设置于 滤液回流管道31上之清洗缓冲柱051与第一药剂回流管道064之间的第五调节阀105 ；该压力表包括有设置于浓水管道32的浓水压力表106、设置于滤液回流管道31上 的产水压力表107，以及设置于泵出水管道10上的进水压力表108，通过该浓水压力表106、 产水压力表107及进水压力表108共同读取微滤膜管件04前后的压力差；该流量计包括有设置于泵出水管道10上的进水流量计109、位于滤液回流管道31 上的产水流量计110，该进水流量计109和产水流量计110共同获取该微滤膜管件04的产 水率；如图2所示，该控制器连接于前述各调节阀、流量计和压力表，于本实施例中，该 控制器50系选用一可编程逻辑控制器(PLC)，当然，亦可选用其它适用的控制器50，并不 以此为限；该可编程逻辑控制器(PLC)根据实际需要设定反洗的频率及每次反洗的时间长 度，然后根据设定的参数自动控制适时启动或关闭反洗装置05以进行反洗；同时，利用压 力表读取显影液循环处理设备中微滤膜管件前后的压力差、利用流量计获取该微滤膜管件 04的产水率，该述控制器50根据前述压力差或产水率来控制启动或关闭相应的调节阀以 智能选择进行药洗和水洗。前述本实用新型之清洗系统可以进行三个清洗过程，具体包括有反洗过程、药洗 过程、水洗过程，简单介绍该三个清洗过程如下反洗过程于本发明之该实施例中，最好在该显影液循环处理设备每正常运行15 至30分钟时，进行一次时长达5至10秒的反洗，具体反洗频率及每次反洗时间可根据实际 状况设置；其具体过程为前述分析控制器自动打开气动阀052、第四调节阀104和第五调 节阀105，并关闭第一调节阀101和第二调节阀102，从该气动阀052处进入空气，将清洗缓 冲柱051内部的液体压至管道31内，气水混合物从产水方向冲刷微滤膜管件04，反洗水由 反洗回流管道40回流至浓缩槽01 ；该过程为产水必备辅助过程，其能有效地保护微滤膜管 件04 ；药洗过程当该产水率低于正常产水率，即低于60%时，或是前述压力差上升至 15%时，前述控制器50自动控制前述药洗装置06运行对微滤膜管件04进行药洗；其具体过程为前述分析控制器自动打开第一调节阀101、第二调节阀102和第三调节阀103，同时 关闭第四调节阀104和第五调节阀105，启动药洗动力泵063，该药洗动力泵063将清洗药 箱061内的药剂抽送至药剂输送管道062，该药剂输送管道062上设置有单向阀和前述第一 调节阀101，该单向阀用于防止药剂输送管道62内的药剂倒流损坏药洗动力泵063，再经四 通阀进入前述泵出水管道10，并输送至前述微滤膜管件04内，在微滤膜管件04分为滤液和 浓缩液，滤液部分经滤液回流管道31进入第一药剂回流管道064，最后排回至清洗药箱061 内；浓缩液从浓水管道32流至浓水回流管道20内，然后再流经第二药剂回流管道065回流 至清洗药箱061内；水洗过程该过程为药洗过程进行过后，对微滤膜管件04内部残留药剂进行清洗 的过程，即当述药洗过程完成后，则该控制器50自动运行水洗装置07进行水洗，以将残留 于浓水侧及产水侧的药剂冲走；其具体过程为自来水由自来水接入管道071提供，前述控 制器50自动打开气动调节阀072、第二调节阀102和第三调节阀103，同时关闭第一调节阀 101、第四调节阀104和第五调节阀105，自来水进入前述微滤膜管件04内，从淡水侧处理的 水将从滤液回流管道31流第一药剂回流管064内，最后排出系统外，而浓水侧处理的液体 从浓水管道32进入浓水回流管道20内，最后从排出系统外；接下来，介绍利用前述清洗系统对微滤膜管件04进行清洗的方法，即，前根据实 际需要设定反洗的频率及每次反洗的时间长度，前述控制器50则根据设定的参数自动控 制适时启动或关闭反洗装置05以进行反洗；同时，利用压力表读取显影液循环处理设备中 微滤膜管件前后的压力差、利用流量计获取该微滤膜管件04的产水率，前述控制器50根据 前述压力差或产水率来控制启动或关闭相应的调节阀以智能选择进行药洗和水洗；如此， 该清洗系统可根据实际需要对前述微滤膜管件04定期以反洗模式进行清洗，亦可根据不 同情况选择相应的药洗和水洗衣等清洗模式，从而，该清洗系统更为自动化、智能化，其能 及时有效地保护微滤膜管件04不堵塞，从而，很好地维持微滤膜管件04的最佳过滤功能， 保证其最佳滤通量。本实用新型的设计重点在于—、本实用新型之清洗系统具有由清洗模式控制装置控制的反洗、药洗、水洗装置 对微滤膜管件进行清洗，藉此，一方面，可以很好地保护微滤膜不堵塞，从而，有效地维持微 滤膜管件的最佳过滤功能；另一方面，清洗模式控制装置的设置，使得该清洗系统可根据微 滤膜管件的不同情况选择相应的清洗模式，从而，该清洗系统更为自动化、智能化；二、本实用新型之清洗系统还包括有膜管保护装置，该膜管保护装置具体包括有 浓水侧保护装置和滤液侧保护装置；该滤液侧保护装置系在排空管道中设置一单向阀和一 小管，小管起到排空作用，单向阀阻止滤液从排空管道流出，同时起到保护产水侧出现负压 时对膜的损坏；该浓水侧保护装置系设置于浓水管道上的一空气破坏阀，其能有效地防止 浓水侧产生负压时损坏膜管；三、本实用新型将单向阀合理的使用在循环动力泵与微滤膜管件之进水口之间， 有效的防止水倒流入泵，并且防止微滤膜内部脱水，尤其是出现突然停电等突发状况时；四、本实用新型中所设置的微滤膜管的串连数量每列为8至12支，经动力学及流 体力学分析可得知这种串连方式能最大限度地节约动能；五、本实用新型结构紧凑、布局合理。
8[0078] 以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型的技术范围作 任何限制，故凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变 化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种显影液循环处理设备的清洗系统，包括有显影槽、浓缩槽、循环动力泵、以及采 用错流过滤的微滤膜管件和滤液管，其中，该显影槽系管道式连接于浓缩槽，该浓缩槽连接 于循环动力泵，该循环动力泵通过泵出水管道连接于微滤膜管件的一端，且该微滤膜管件 的另一端系通过浓水回流管道连接于前述浓缩槽，以及，该滤液管通过滤液回流管道连接 于显影槽，其特征在于针对前述微滤膜管件设置有一清洗系统，该清洗系统包括有反洗装 置、药洗装置、水洗装置、膜管保护装置和清洗模式控制装置；其中，该反洗装置包括有清洗缓冲柱和连接于该清洗缓冲柱侧边开口处的气动调节 阀，该气动调节阀系常闭开关；该清洗缓冲柱设置于前述滤液回流管道上，且针对该反洗装 置，设置有一连接于前述泵出水管道与浓缩槽之间的反洗回流管道；该药洗装置包括有清洗药箱，该清洗药箱一端连接有药剂输送管道，该药剂输送管道 连接于前述泵出水管道上，且于该药剂输送管道上配置有药洗动力泵；该清洗药箱还连接 有第一药剂回流管道及第二药剂回流管道，该第一药剂回流管道连接于前述滤液回流管道 上，该第二药剂回流管道连接于前述浓水回流管道上；该水洗装置包括有自来水接入管道，该自来水接入管道上配置有气动调节阀来控制自 来水的接入与否，该自来水接入管道连接于前述泵出水管道上；该膜管保护装置包括有浓水侧保护装置和滤液侧保护装置；该浓水侧保护装置系用于 防止浓水侧产生负压而损坏前述微滤膜管件，其包括有空气破坏器，该空气破坏器设置于 前述微滤膜管件与浓水回流管道之间；该滤液侧保护装置系用于防止滤液侧产生负压而损 坏前述微滤膜管件，包括有排空管、配置于该排空管上的用于拦截滤液通过的单向阀和用 于排出排空管内的气泡的小管，其中，该排空管之一端系连接于前述滤液管之上端，且其另 一端连接于前述浓缩槽；该小管系架设于单向阀两端并与其两端的排空管道相连通； 该清洗模式控制装置包括有调节阀、压力表、流量计及控制器； 其中，该调节阀包括有设置于药剂输送管道上之泵出水管道与药洗动力泵之间的第一 调节阀、设置于第一药剂回流管道上的第二调节阀、设置于第二药剂回流管道上的第三调 节阀、设置于反洗回流管道上的第四调节阀、设置于滤液回流管道上之清洗缓冲柱与第一 药剂回流管道之间的第五调节阀；该压力表包括有设置于浓水管道的浓水压力表、设置于滤液回流管道上的产水压力 表，以及设置于泵出水管道上的进水压力表；该流量计包括有设置于泵出水管道上的进水流量计、位于滤液回流管道上的产水流量计；该控制器连接于前述各调节阀、流量计和压力表。
2.根据权利要求1所述的显影液循环处理设备的清洗系统，其特征在于所述泵出水 管道之紧靠循环动力泵处配置有一单向阀。
3.根据权利要求1所述的显影液循环处理设备的清洗系统，其特征在于所述浓水回 流管道上配置有一可调节浓水压力的流量压力调节开关。
4.根据权利要求1所述的显影液循环处理设备的清洗系统，其特征在于所述微滤膜 管件每列的数量为8至12支。
专利摘要本实用新型公开一种显影液循环处理设备的清洗系统，该显影液循环处理设备包括有显影槽、浓缩槽、循环动力泵，以及采用错流过滤的微滤膜管件，其中，该显影槽连接于浓缩槽，该浓缩槽连接于循环动力泵，该循环动力泵经泵出水管道连接于微滤膜管件一端，且该微滤膜管件另一端系经浓水回流管道连接于前述浓缩槽，以及，该微滤膜管件经滤液回流管道连接于显影槽；尤其，本实用新型设计有完整的反洗、药洗、水洗装置对微滤膜管件进行清洗，以保护微滤膜不堵塞，从而维持微滤膜管件的最佳过滤功能；同时，本实用新型还设置有膜管保护装置，以及通过控制器判断微滤膜管件是否需要清洗、并选择相应的清洗模式，以控制启动不同的清洗装置。
文档编号G03F7/30GK201897691SQ201020566159
公开日2011年7月13日 申请日期2010年10月18日 优先权日2010年10月18日
发明者张燕厚, 梁继业 申请人:东莞市威迪膜科技有限公司