专利名称：制造平板显示器件的设备和方法
技术领域：
本发明涉及用于制造平板显示器件以便实现将压印模具与基板轻易分离的设备和方法。
背景技术：
近来，大量的研究集中于使用利用压印模具的构图工艺来形成平板显示器件的薄膜。构图工艺是依照以下过程执行的。首先，将液态树脂施加到基板上，并且将具有凹槽和突起的压印模具与压印树脂相接触。结果，压印模具的凹槽和突起被颠倒地复录到该压印树脂。将该经过颠倒地复录得到的压印树脂固化以在基板上形成想要的薄膜图案。在形成薄膜图案之后，需要将压印模具与基板分离的处理。对于该分离，通常，将压印模具形成为大于基板。在这种情况下，随着基板面积的增加，压印模具的尺寸也增加， 从而使得压印模具的供给非常困难。另外，随着基板面积的增加，将压印模具与基板分离所需的间隙也增加，从而导致压印模具的破坏。为了解决此问题，将压印模具和基板形成为具有相同尺寸。在这种情况下，压印模具的尺寸减小，但是不利地是需要高的机械力将所述压印模具与基板分离。
发明内容
本发明涉及制造平板显示器件的设备和方法，其基本上避免由于相关技术的限制和缺点所导致的一个或多个问题。本发明的一个目的是提供制造平板显示器件以便实现将基板与压印模具轻易分离的设备和方法。为了实现此目的和其它优点并且依照本发明的目的，如这里具体体现和广义描述的，提供了一种制造平板显示器件的设备，包括与基板相连以在所述基板上形成薄膜图案的压印模具；用于真空吸附所述压印模具的中心的第一吸附垫；用于真空吸附所述压印模具的周界的第二吸附垫；和与真空引脚相连以在所述第一和第二吸附垫的不同区域中垂直移动的连接器。连接器可以在第一吸附垫的中心形成。连接器可以在第二吸附垫的周界中形成以致它与压印模具的边缘邻接。第一和第二吸附垫可以呈圆形或多边形状。依照本发明的另一方面，提供了一种制造平板显示器件的方法，包括将具有突起和凹槽的压印模具结合到基板以在所述基板上形成薄膜图案；并且使用真空吸附所述压印模具的中心的第一吸附垫、真空吸附所述压印模具的周界的第二吸附垫以及与真空引脚相连以在所述第一和第二吸附垫的不同区域中垂直移动的连接器，将所述压印模具与所述基板分离。应当理解，本发明的以上概括说明和以下详细描述是示例性的和解释性的，并且旨在提供对所要求保护的发明的进一步解释。
附示了本发明的实施例并且与说明书一起用来解释本发明的原理，所述附图用来提供对本发明的进一步理解并且并入并构成本申请的一部分。在附图中图1是图示依照本发明一个实施例的压印器件的剖视图；图2是图示图1的第二吸附垫的平面图和剖视图；图3A-3C是图示使用在图1和图2所示压印器件来形成薄膜图案的方法的剖视图；图4是图示依照另一实施例将压印模具与基板分离的工艺的剖视图；和图5是图示包括图3A-3C所示薄膜图案的液晶显示面板的透视图。
具体实施例方式以下，将参照附图描述本发明。图1是图示依照本发明一个实施例的压印器件的剖视图。参照图1，依照本发明一个实施例的压印器件包括台架2，在台架2上面安装基板 4，在基板4上形成薄膜图案6 ；压印器件还包括用于形成所述薄膜图案6的压印模具12 ；用于真空吸附所述压印模具12的多个吸附垫14和15 ；和与各自的吸附垫14和15相耦合的多个可垂直移动的真空引脚16。台架2通过真空管20吸附并固定基板4。薄膜图案6与压印模具12接触，由压印模具12按压从而被构图而在基板4上形成。薄膜图案6是利用压印模具12的凹槽和突起的颠倒地复录而形成的。压印模具12包括设有用于形成薄膜图案6的凹槽和突起的模具部分8，和支撑模具部分8的底板10。多个真空引脚16连接吸附垫14和15并且垂直地移动。此时，当真空引脚16垂直向下移动时，压印模具12结合到基板4，并且当真空引脚16垂直向上移动时，压印模具 12与基板4分离。多个吸附垫14和15在真空下吸附压印模具12以便将压印模具12结合到基板4 或者将压印模具12与基板4分离。吸附垫14和15呈圆形或多边形状并且由橡胶制成。吸附垫14和15包括用于真空吸附压印模具12的中心的多个第一吸附垫15和用于真空吸附所述压印模具12的周界的多个第二吸附垫14。在第一吸附垫15的中心形成有连接器18，并且第一吸附垫15通过连接器18与真空引脚16相连。据此，当分离压印模具12与基板4时，用于垂直提升第一吸附垫15的力的施加点布置在对应于连接器18的第一吸附垫15的中心。如图2所示，第二吸附垫14通过连接器18连接到真空引脚16。此时，在第二吸附垫14的周界形成有第二吸附垫14的连接器18。特别地，第二吸附垫14的连接器18形成在使得该连接器18与压印模具12外缘相接触的第二吸附垫14的周界中。据此，当分离压印模具12与基板4时，用于垂直提升第二吸附垫14的力的施加点布置在第二吸附垫14邻近于压印模具12外缘的周界。与连接器18布置在第二吸附垫14的中心时相比，第二吸附垫14可以通过更小的力将压印模具12与基板4分离。将详细描述使用压印器件形成薄膜图案的方法。图3A-3C是图示使用图1和图2所示压印器件来形成薄膜图案的方法的剖视图。首先，将压印树脂通过旋涂或非旋涂施加到基板4。如图3A所示，施加有压印树脂的基板4通过真空管20被吸附/固定到台架2上。另外，包括凹槽和突起的压印模具12 通过多个吸附垫14和15以及多个真空引脚16被吸附/固定到台架2上。通过垂直向下移动真空引脚16将压印模具12结合到压印树脂并且通过热或光来固化所述压印模具12。 据此，压印树脂中的溶剂被吸收到压印模具12的表面，并且压印树脂在压印模具12的凹槽中移动，从而在基板4上形成薄膜图案6。利用压印模具12的凹槽颠倒地复录薄膜图案6。然后，如图;3B和3C所示，在形成薄膜图案6之后，从压印模具12的一侧向另一侧顺序地垂直提升吸附垫14和15以及真空引脚16。更具体地说，首先垂直提升与在压印模具12 —侧布置的第二吸附垫14相连的真空引脚16。结果，压印模具12的一侧与基板4的一侧分离。此时，在第二吸附垫14与压印模具12 —侧边缘相邻近的的周界中形成有连接器18。结果，用于垂直提升第二吸附垫14的力的施加点布置在邻近于压印模具12 —侧边缘的第二吸附垫14的周界中。据此，与连接器18布置在第二吸附垫14的中心时相比，第二吸附垫14可以使用较小的力将基板4与压印模具12分离。在将压印模具12的一侧与基板4分离之后，从一侧向另一侧顺序地垂直提升与第一吸附垫15相连的真空引脚16。另外，垂直提升在压印模具12的另一侧布置的、与第二吸附垫14相连的真空引脚 16。据此，从一侧向另一侧将压印模具12与基板4分离。同时，为了能够将压印模具12与基板4轻易分离，将N2气体注入到与基板4结合的压印模具12的侧部。同时，尽管如图;3B和3C所示从一侧向另一侧将压印模具12与基板4分离，但是在形成薄膜图案6之后，可以如图4所示从两侧向中心将压印模具12与基板4分离。同时，将通过本发明的压印模具12提供的薄膜图案6应用于在图5所示的液晶显示面板。特别地，图5所示的液晶显示面板包括薄膜晶体管基板30和滤色器基板50，所述薄膜晶体管基板30和滤色器基板50彼此交叉并且结合在一起以在它们之间插入液晶层 60。滤色器基板50包括用于防止上基板52漏光的黑色矩阵58、用于实现彩色的滤色器M、用于利用像素电极形成电场的公共电极56、用于实现平坦化的外涂层、在外涂层上形成的用于维持单元间隙的柱间隔物以及用于覆盖它的上对准薄膜(未示出)。薄膜晶体管基板30包括在下基板32上彼此交叉的多个栅线36和多个数据线34、 邻近于在所述栅线36和数据线34之间的每个交点的薄膜晶体管38、在由所述交点限定的像素区域上形成的像素电极40以及用于覆盖所述像素电极40的下对准薄膜(未示出)。液晶显示面板的滤色器54、黑色矩阵58、柱间隔物M、薄膜晶体管38、栅线36、数据线34和像素电极40可以由使用压印模具的构图来形成，所述压印模具具有对应于每种图案的凹槽。从前面可以显见，对于制造平板显示器件的设备和方法来说，提供用于真空吸附压印模具12的中心的多个第一吸附垫15和用于真空吸附所述压印模具12的周界的多个第二吸附垫14。此时，在第二吸附垫14的周界形成有连接器18，其中第二吸附垫14通过连接器 18连接到真空引脚16，以致该连接器18与压印模具12的外周界邻接。据此，当压印模具 12与基板4分离时，用于垂直提升第二吸附垫14的力的施加点布置在与压印模具12的外周界相邻近的第二吸附垫14外周界中。据此，与连接器18布置在第二吸附垫14的中心时相比，第二吸附垫14可以通过较小的力将压印模具12与基板4分离。此时，当被施加用来将压印模具12与基板4分离的力减小时，可以防止压印模具12的破坏。另外，尽管为了改进粘附力而增加吸附垫14和15的尺寸，但是所述吸附垫14和 15的连接器18移动，从而用于将压印模具12与基板4分离的力的施加点仍旧邻近于压印模具12的外周界。另外，用于将压印模具12与基板4分离所需的时间减小，从而缩短了整个工艺时间并且改进了生产效率。用于制造平板显示器件的设备和方法包括用于真空吸附压印模具的中心的多个第一吸附垫和用于真空吸附压印模具的周界的多个第二吸附垫。此时，在第二吸附垫14与压印模具的外周界相邻近的周界处形成连接器，其中第二吸附垫14通过所述连接器连接到真空引脚。据此，当压印模具与基板分离时，用于垂直提升第二吸附垫的力的施加点布置在第二吸附垫与压印模具的外周界相邻的外周界中。据此，与当连接器布置在第二吸附垫的中心时相比，第二吸附垫可以使用较小的力将压印模具与基板分离。此时，当被施加用来将压印模具与基板分离的力减小时，可以减少压印模具的破坏。另外，尽管为了改进粘附力来增加吸附垫的尺寸，但是所述吸附垫的连接器移动， 从而用于将压印模具与基板分离的力的施加点仍旧邻近于压印模具的外周界。另外，用于将压印模具与基板分离所需的时间减小，从而缩短了整个工艺时间并且改进了生产效率。对本领域技术人员来说显而易见的是在不脱离本发明的精神或范围的情况下可以在本发明中进行各种修改和改变。因此，本发明旨在覆盖所提供的本发明的修改和改变， 只要它们落入所附权利要求及其等效范围之内。
权利要求
1.一种制造平板显示器件的设备，包括压印模具，与基板相连以便在所述基板上形成薄膜图案； 第一吸附垫，用于真空吸附所述压印模具的中心； 第二吸附垫，用于真空吸附所述压印模具的周界；和连接器，与真空引脚相连以在所述第一和第二吸附垫的不同区域中垂直地移动。
2.如权利要求1所述的设备，其中所述连接器在所述第一吸附垫的中心形成。
3.如权利要求1所述的设备，其中所述连接器在所述第二吸附垫的周界形成以致所述连接器与所述压印模具的边缘邻接。
4.如权利要求1所述的设备，其中所述第一和第二吸附垫呈圆形或多边形状。
5.一种制造平板显示器件的方法，包括将具有突起和凹槽的压印模具结合到基板以便在所述基板上形成薄膜图案；并且使用用于真空吸附所述压印模具的中心的第一吸附垫、用于真空吸附所述压印模具的周界的第二吸附垫以及与真空引脚相连以在所述第一和第二吸附垫的不同区域中垂直移动的连接器，将所述压印模具与所述基板分离。
6.如权利要求5所述的方法，其中在所述第一吸附垫的中心形成所述连接器。
7.如权利要求5所述的方法，其中在所述第二吸附垫的周界中形成所述连接器以致所述连接器与所述压印模具的边缘邻接。
8.如权利要求5所述的方法，其中所述第一和第二吸附垫呈圆形或多边形状。
全文摘要
本发明公开了用于制造平板显示器件以便实现将压印模具与基板轻易分离的设备和方法。所述设备包括与基板相连以便在所述基板上形成薄膜图案的压印模具，用于真空吸附所述压印模具的中心的第一吸附垫，用于真空吸附所述压印模具的周界的第二吸附垫以及连接器，所述连接器被连接到真空引脚以在所述第一和第二吸附垫的不同区域中垂直移动。
文档编号G03F7/00GK102236199SQ20111008476
公开日2011年11月9日 申请日期2011年4月1日 优先权日2010年4月30日
发明者宋泰俊, 张斗熙, 权当, 赵圣弼, 赵恒燮, 金淏洙 申请人:乐金显示有限公司