改进的薄膜涂层、光电元件和包含这些元件的组件的制作方法

改进的薄膜涂层、光电元件和包含这些元件的组件的制作方法
【专利摘要】光电元件在许多的车辆和建筑应用中变得常用。各种光电元件配置为窗户和镜子提供可变的透射率和/或可变的反射率。本发明涉及各种薄膜涂层、光电元件和包含这些元件的组件。
【专利说明】改进的薄膜涂层、光电元件和包含这些元件的组件
[0001]本申请是基于申请号为201010298163.4、申请日为2007年3月2日、发明名称为“改进的薄膜涂层、光电元件和包含这些元件的组件”的专利申请的分案申请。
[0002]本申请的原始母案是申请号为200780007652.6 (国际申请号为？0171132007/005494^申请日为2007年3月2日、发明名称为“改进的薄膜涂层、光电元件和包含这些元件的组件”的专利申请。
[0003]相关申请的交叉引用
[0004]本申请根据3511.8.0.^ 119 (6)对以下的美国临时专利申请要求优先权:在2006年3月3日提交的授权给等人的3/^60/779369 ；在2006年6月5日提交的授权给丁0隱等人的8/^60/810921 ；在2006年12月7日提交的授权给丁。體等人的8/嫩0/873474 ；和在2007年2月7日提交的授权给如鹽如的发明名称为丁￡[￡1刚I III！！頂?尺0糊II13？仙防了⑶咄此扣!?的代理机构案号(}防10？？-514，在此引入它们的全部公开作为参考。
[0005]本申请与以下的美国专利申请有关:发明名称为￡11川0-￡1-上画丁111X101吣III 00^11^68的代理机构案号诎附0-？517 ；和代理机构案号诎附0？518 ；这两个专利申请与本申请同时被提交；在此引入它们的全部公开作为参考。
【技术领域】
[0006]本发明涉及各种薄膜涂层、光电元件和包含这些元件的组件。
【背景技术】
[0007]光电元件在许多运载工具和建筑应用中变得十分常见。各种光电元件配置为窗户和镜子提供可变的透射率和/或可变的反射率。
【专利附图】

【附图说明】
[0008]图1示出具有可变透射率窗户的飞机；
[0009]图％和图213示出分别具有可变透射率窗户的公共汽车和火车；
[0010]图3示出具有可变透射率窗户和/或可变反射率窗户的建筑物；
[0011]图4示出具有可变透射率窗户和可变反射率后视镜的车辆；
[0012]图5^56示出外部后视镜组件和相关的可变反射率元件的各种视图；
[0013]图63-6(1示出内部后视镜组件和相关的可变反射率元件的各种视图；
[0014]图7示出可变反射率元件的横截面的剖面图；
[0015]图&1-8(1示出各种元件的横截面的剖面图；
[0016]图9扩9卜示出各种元件的各种电接触；
[0017]图10示出多 个元件的电控制示意图；
[0018]图118-110示出各种电控制示意图；
[0019]图12示出对于在元件制造过程中利用的各种氩气处理气体压力的元件翘曲与氧气流量的关系图； [0020]图13示出对于在元件制造过程中利用的各种处理气体压力的薄膜体积电阻(bulk resistance)与氧气流量的关系图； [0021]图1.4示出对于在元件制造过程中利用的各种处理气体压力的薄膜厚度与氧气流量的关系图； [0022]图15示出对于在元件制造过程中利用的各种处理气体压力的薄膜表面电阻(sheet resistance)与氩气流量的关系图； [0023]图16示出对于在元件制造过程中利用的各种处理气体压力的薄膜体积电阻与氩气流量的关系图； [0024]图17示出对于在元件制造过程中利用的各种处理气体压力的薄膜吸收与氧气流量的关系图； [0025]图18示出对于在元件制造过程中利用的各种处理气体压力的元件翘曲与氧气流量的关系图； [0026]图19示出对于在元件制造过程中利用的各种处理气体压力的元件翘曲与薄膜吸收的关系图; [0027]图20示出对于在元件制造过程中利用的各种处理气体压力的元件翘曲与薄膜透射率的关系图； [0028]图21-32示出各种薄膜表面形态； [0029]图33a和图33b示出薄膜峰-峰间表面粗糙度； [0030]图34不出对于各种薄膜材料的派射产量与罔子能量的关系图； [0031]图35示出溅射产量与溅射气体质量/靶质量的关系图； [0032]图36和图37示出放大的离子铣削(ion-milling)结果； [0033]图38示出薄膜表面粗糙度与线速度的倒数的关系图； [0034]图39不出薄膜反射率与尚子束电流的关系图； [0035]图40示出薄膜反射率与线速度的倒数的关系图； [0036]图41示出薄膜b*与线速度的倒数的关系图； [0037]图42示出薄膜反射率与离子束驻留时间的关系图； [0038]图43示出薄膜反射率与厚度的关系图； [0039]图44不出薄膜反射率与波长的关系图； [0040]图45示出薄膜透射率与波长的关系图； [0041]图46不出薄膜反射率与厚度的关系图； [0042]图47不出薄膜透射率与反射率的关系图； [0043]图48a-53c示出薄膜反射率和/或透射率与波长的各种关系图；以及 [0044]图54-62示出具有平缓化的(graded)薄膜涂层的元件的各种实施例。 图63示出根据本发明之前的现有技术的状态的镜子元件的实施例。 【具体实施方式】 [0045]图1、图2a和图2b示出使用可变透射率窗户110、210a、210b的多乘客运载工具102、202a、202b。使用可变透射率窗户110、210a、210b的多乘客运载工具包括例如飞机102、公共汽车202a和火车202b。应当理解,其它的多乘客运载工具也可以使用可变透射率窗户110、210a、210b,在本文的别处详细说明这些多乘客运载工具中的一些。在图1、图2a和图2b中大致示出的多乘客运载工具还包括用于控制可变透射率窗户的窗户控制系统(在图l-2b中未示出，但参照图10被示出和被描述)。在2006年6月9日提交的发明名称为Variable Transmission Window Systems的共同受让的美国专利6567708和美国专利申请60/804378描述了与可变透射率窗户有关的各种细节，在此加入它们的公开的全部内容作为参考。
[0046]在图3中示出可变透射率窗户的另一应用。建筑物301的建筑窗户302可有利地具有可变透射率功能。应当理解,在住宅、商业和工业设施中可以包含这些可变透射率建筑窗户。
[0047]图4示出包含各种可变透射率和可变反射率元件的受控制的车辆400。作为一个例子，示出内部后视镜组件415,在至少一个实施例中，组件415包含可变反射率镜子元件和自动车辆外部光控制系统。在共同受让的美国专利N0.5837994、5990469、6008486、6130448、6130421、6049171、6465963、6403942、6587573、6611610、6621616、6631316 和美国专利申请系列 N0.10/208142、09/799310、60/404879、60/394583、10/235476、10/783431、10/777468和09/800460中包含对这种自动车辆外部光控制系统的详细说明；在此加入它们的公开的全部内容作为参考。受控制的车辆还被示为包含驾驶员侧的外部后视镜组件410a、乘客侧的外部后视镜组件410b、中心高位安装停车灯(CHMSL) 445、A 一支柱450a, 450b、B —支柱455a, 455b和C —支柱460a, 460b ;应当理解，这些位置中的任一个可为图像传感器、多个图像传感器或相关的处理和/或控制部件提供替代性的位置。应当理解，后视镜中的任一个或全部可以是自动变暗光电镜(即,可变反射率镜子元件)。在至少一个实施例中，受控制的车辆可包含可变透射率窗户401、402。受控制的车辆被示为包含许多的外灯，这些外灯包 含前灯420a、420b、箔片天气灯(foil weather light)430a、430b、前方转向指示灯/危险信号灯435a、435b、尾灯425a、425b、后方转向指示灯426a、426b、后方危险信号灯427a、427b和倒车灯440a、440b。应当理解,可以设置诸如单独的低光束和高光束前灯、包含多用途照明的集成灯等的附加外灯。还应理解，外灯中的任一个可具有调整给定的外灯的相关的主光轴的定位器(未示出)。在至少一个实施例中，至少一个外部镜子组件具有允许沿方向410al、410a2、410bl、410b2旋转的旋转机构(pivoting mechanism)。应当理解，图4的受控制的车辆一般是出于解释的目的，并且,可以与这里说明的其它特征一起以及在这里作为参考加入的公开中使用诸如在这里作为参考加入的专利和专利申请中公开的那些的适当的自动变暗后视镜。
[0048]优选地,受控制的车辆包含单位放大倍数的内部后视镜。这里使用的单位放大倍数镜子(unit magnification mirror)意味着具有这样的反射面的平面或平整的镜子，即，通过该反射面，除了不超过正常的制造公差的裂纹以外，物体的图像的角高度和宽度等于当在相同的距离上直接观看时的物体的角高度和宽度。这里，至少一个相关的位置提供单位放大倍数的棱镜昼夜调整后视镜被视为单位放大倍数镜子。优选地,镜子提供具有至少20度的从投影的视点测量的内含的水平角和足够的垂直角的视场,以当受控制的车辆被驾驶员和四个乘客或基于68kg的平均占据者重量的指定的(若更少的)占据人数占据时、提供延伸到在不大于61m的点上开始的地平线的水平路面到受控制车辆的后部的观察。应当理解，视线可能被就座的占据者或被头部约束部分遮蔽。驾驶员的眼睛基准点的位置优选地根据规定或适于任何百分之95的男性驾驶员的标称位置。在至少一个实施例中，受控制的车辆包含至少一个单位放大倍数的外部镜子。优选地,外部镜子向受控制的车辆的驾驶员提供从垂直于在最宽的点上与受控制的车辆的驾驶员侧相切的纵向平面的线延伸到地平线、以座位为最后面的位置从驾驶员的眼睛后面10.7m的切面延伸出去2.4m的水平路面的观察。应当理解，视线可能被受控制的车辆的后部车身或防护板轮廓部分遮蔽。优选地，驾驶员的眼睛基准点的位置根据规定或适于任何百分之95的男性驾驶员的标称位置。优选地,乘客侧镜子不被相应的挡风玻璃的未擦拭部分遮蔽并优选可通过从驾驶员的就座位置沿水平和垂直两个方向倾斜来被调整。在至少一个实施例中，受控制的车辆包含安装在乘客侧的凸面镜。优选地，该镜子被配置为可通过沿水平和垂直两个方向倾斜来被调整。优选地，各外部镜子包含不小于126cm的反射面，并且被定位为沿受控制的车辆的相关侧向驾驶员提供后面的观察。优选地,根据SAE Recommended Practice J964, 0CT84确定的任何镜子的平均反射率为至少35% (对于许多欧洲国家来说是40%)。在镜子元件能够具有多个反射率水平的实施例中，诸如根据本发明的光电镜子元件，白天模式的最小反射率水平应为至少35% (对于欧洲使用来说是40%),并且,夜晚模式的最小反射率水平应为至少4%。应当理解,本发明的各个实施例同样适用于摩托车风档玻璃和后视镜。
[0049]现在转到示出外部后视镜组件510a、510b的各种部件的图5a和图5b。如这里详细说明的那样，光电镜子元件可包含通过主密封523b以分开的关系被固定以在其间形成室腔的第一衬底521b和第二衬底522b。在至少一个实施例中，主密封的至少一部分保持为空，以形成至少一个室腔填充端口 523bI ο在室腔中装入光电介质并通过填塞材料(plugmaterial )523b2密封填充端口。优选地,填塞材料是可UV固化的环氧树脂或丙烯酸材料。在至少一个实施例中，光谱过滤器材料545a、545b位于第一衬底的第二表面附近、镜子元件的外围附近。优选分别通过第一粘合剂材料526bl、526b2将电连接器525bl、525b2固定到元件上。通过第二粘合剂材料570b将镜子元件固定到承载板575b上。优选通过连接器585b实现从外部后视镜到受控制的车辆的其它部件的电连接。通过定位器580b将载体固定到相关的外壳底座(housing mount) 585b上。优选地，外壳底座与外壳515a、515b接合并通过至少一个紧固件534b4被固定。优选地，夕卜壳底座包含被配置为与转环底座533b接合的转环(swivel)部分。转环底座优选被配置为通过至少一个紧固件531b与车辆底座(vehicle mount)530b接合。这里提供这些部件、附加的部件、它们的互连和操作的其它细节。
[0050]进一步参照图5a和图5b,外部后视镜组件5IOa这样被取向，使得用位于观察者和主密封材料523b之间的光谱过滤器材料524b展示第一衬底521b的观察。可以在后视镜组件中加入盲点指示器550a、锁眼照明器555a、胶土灯(puddle light) 560a、辅助转向指示灯540a或541a、光传感器565a、它们中的任一个、它们的再组合或它们的组合，使得它们相对于观察者位于元件后面。优选地，如这里以及在这里作为参考加入的各文献中详细讨论的那样,器件550a、555a、560a、540a或541a、565a与镜子元件组合被配置为至少部分地是隐蔽的。这里提供这些部件、附加的部件、它们的互连和操作的其它细节。
[0051]现在转到图5c?5e，提供根据本发明的附加特征的讨论。图5c示出从第一衬底502c观察的后视镜元件500c，其中使得光谱过滤器材料596c位于观察者和主密封材料—以作为多个主密封形状被施加到较大的衬河被层叠到另一较大的衬底上，并且，可以丨出各个镜子形状。这种多次处理技术对于2列工艺。可通过使用类似的工艺制成根据「滤过器的所有涂层，以及,在固态光电器件的衬底上，并在必要情况下被图案化。可以1；掩模施加涂层、通过在涂层下面选择性地II或蚀刻之后去除它以及它的顶部的涂层。打隹或定位衬底的对准标记或目标。通常例完成这一点。如果希望的话也可通过诸如:施加到玻璃上。用于控制层叠的衬底之间'在层叠之前被施加到衬底上。间隔介质或勺叠层区域上。如果器件是溶体相光电镜子之前或之后将层叠的阵列切割成形。
、一衬底6223、62213上观察的内部后视镜组或玻璃框(6626.1.) 6451)位于观察者和主密材料的叠层的基本上不透明的层被去除或掩盖。材料的叠层的至少一个层的至少^-部分620c2基本上延伸到衬底的外缘或延伸到有利于第三表面叠层和元件驱动电路(图6c中未示出)之间的电连接的区域。有关的实施例在元件组装之后从镜子或窗户元件的后面提供密封和/或填塞物观察和/或填塞物固化的检查。在至少一个实施例中,材料620c的叠层的外缘620cl的至少一部分位于主密封材料678c的外缘678cl和内缘678c2之间。在至少一"1、实施例中，在约2~8mm宽、优选约5mm宽的主密封材料卜面，材料的叠层的一部分620cl或材料的叠层的至少基本上不透明的层被去除或掩盖。材料的叠层的至少一个层的至少一部分620c2基本上延伸到衬底的外缘或延伸到约0.5~5mm宽、优选约Imm宽的有利于第三表面叠层和元件驱动电路(未示出)之间的电连接的区域。应当理解,材料的第一、第二、第三和第四表面层或叠层中的任一个可以如这里或这里在其它地方作为参考加入的文献公开的那样。
[0054]图6d示出包含材料的第三表面叠层的第二衬底612d的平面图。在至少一个实施例中，材料620d的第三表面叠层的外缘620dl的至少一部分位于主密封材料678d的外缘678dl和内缘678d2之间。在至少一个有关的实施例中，导电接头片部分682d从主密封材料678d的外缘678dl内侧的第二衬底的外缘延伸。在至少一个有关的实施例中，导电接头片部分682dl在主密封材料678d下面与材料的第三表面叠层的至少一部分交迭。在至少一个实施例中，材料的第三表面叠层的诸如导电金属氧化物的基本上透明的导电层(未单独示出)如图Sb所示的那样延伸到第三表面叠层的剩余部分的外缘620dl外面以提供与第三表面的外部电连接。应当理解,可以如图9c~9i所示的那样沿衬底外围区域中的任一个淀积导电接头片(conductive tab)。在至少一个实施例中，导电接头片部分包含铬。应当理解,与导电电极相比，导电接头片部分提高导电率；只要导电电极层具有足够的导电率，那么导电接头片部分是可任选的。在至少一个实施例中，导电电极层除了提供希望的导电率以外还给予相应的反射光线的希望的颜色特定特性。因此,当省略导电电极时，通过下层材料规范控制颜色特性。应当理解,材料的第一、第二、第三和第四表面层或叠层中的任一个可以如这里或这里在其它地方作为参考加入的文献公开的那样。
[0055]图7示出作为图5e所示的元件的放大图以提供更多的细节的后视镜元件700。元件700包含具有第一表面704和第二表面706的第一衬底702。通过第一分离区域740,施加到第二表面706上的第一导电电极部分708和第二导电电极部分730是基本上相互电绝缘的。可以看出，在至少一个实施例中，分离区域被定位为使得光谱过滤器材料796和相应的增粘材料793也基本上是电绝缘的，以分别限定第一和第二光谱过滤器材料部分724、736并分别限定第一和第二增粘材料部分727、739。第一分离区域740、540c、540d、540e的一部分被示为在位于其中心附近的主密封材料778的一部分内平行延伸。应当理解,分离区域740的该部分可展开,使得观察者不会很容易地觉察光谱过滤器材料内的线；例如,分离区域的一部分可基本—t与光谱过滤器材料596的内侧边缘797对准。应当理解，当分离区域740的任何部分位于主密封材料的内侧时,如这里在别处详细说明的那样,可以观察到光电材料着色和/或干净的不连续性。该操作特性可被操纵以得到在主观上外观吸引人的元件。
[0056]进一步参照图7,元件700被示为包含具有第三表面715和第四表面714的第二衬底712。应当注意,第一衬底可以比第二衬底大，以沿镜子的周界的至少一部分产生偏童击第一表面的接触角，并且当存在湿气时反射器实施例均在本发明的范围内。在至面上的材料被配置为为相应的表面叠层的主至少一个实施例中，施加到第三表面上的应当理解，附加的“第三表面”材料可在主:的分离区域贯穿附加的材料。使得主密封I有利于填塞材料的检查和—固化。在至的叠层的至少一部分或至少材料的叠层的界的至少一个部分周围的至少25%的主密-个部分周围的50%的主密封宽度的检查。? 75%的主密封宽度的检查。本发明的各实的叠层的特定表面的多个部分；例如，可以在面的“窗户”，以选择性地透射特定的光线明的光线波长带。
I区域740与主密封材料775的一部分协作谱过滤器材料部分724和第一增粘材料部材料可至少部分地将界面785、788、789分开。优选地,形成第一导电电极部分708、第一电夹子784、增粘材料793、光谱过滤器材料796和导电材料790的材料或材料的成分被选择为增进夹子和导致光电介质的材料之间的持久的电连接。
[0058]有时希望在反射层720上设置一个或更多个可任选的闪光外涂层722,使得它(不是反射层720)与电致变色(electrochromic)介质接触。该闪光外涂层722作为电极必须具有稳定的行为，它必须具有较长的适用寿命(shelf life),它必须很好地与反射层720接合,并且当密封构件778与其接合时维持这种接合。如果来自下面的层的光学性能是要可见的，那么覆盖层必须足够薄,使得它不完全阻挡720下面的各层的反射性。根据本发明的另^-实施例，由于闪光层保护反射层，同时仍允许高度反射层720有助于镜子的反射，因此，当非常薄的闪光外涂层722被放在高度反射的层之....t时，反射层720可以为银金属或银合金。在这种情况下,在反射层720之上淀积铑、钌、钯、铂、镍、钨、钼或它们的合金的薄(例如，小于约300埃、更优选小于约100埃)层。闪光层的厚度依赖于所选的材料。例如，对于处理过程中的点缺陷的形成以及元件经受高温试验时的观察区域中的混浊,用涂敷有少到10埃的钌的闪光层的铬在钌下、钌在铑F、铑在银下的第三表面涂层构建的元件均表现出改进的抵抗力。具有钌闪光层的元件的初始反射率为70~72%。当反射层720是银时，闪光层722也可以是银合金或掺杂铝的氧化锌。闪光层或更厚的覆盖层也可以是诸如透明金属氧化物的透明导体。覆盖层可特别地被选择为就诸如阻挡层性能、有利的干涉光学和压缩或拉伸应力的平衡等之类的因素与其它的层相配合(compliment)。应当理解，可以在本文别处的其它实施例中使用上述的闪光层。
[0059]当这种覆盖层由上述列表的金属或发现与电致变色系统相容的其它的金属/合金/半金属制成时，当金属或半金属层比300埃厚时,这些覆盖层趋于允许其下面的各层有很小的光学效应。如果认为更希望金属覆盖层的外观，那么使用这种更厚的覆盖层会是有利的。在 Bauer 等的共同受让的欧洲专利 EP0728618A2 “DimmabIe Rearview Mirror forMotor Vehicles”中提供这些叠层的一些说明,这里加入该专利作为参考。当使用可与胶合层和闪光层组合使用的这种较厚的 覆盖层和诸如掺杂铟的氧化锡、掺杂铝的氧化锌或氧化铟锌的透明导电层时,具有诸如银、银合金、铜、铜合金、铝或铝合金的F面的层的导电率益处仍会存在。诸如二氧化钛、二氧化硅或硫化锌等的一般被视为绝缘体的层也可用于这种覆盖层叠层或夹层中，并且，只要它们的层厚使得它们仍从更加高度导电的层穿过足够的电流,就不否定更加高度导电的层的益处。
[0060]在电致变色的领域中已知，当向元件施加电势时，镜子或窗户可能不均匀地变暗。不均匀变暗源自沿EC元件中的固态EC材料流体或凝胶的电势的局部差异。跨过元件的电势随电极的表面电阻、母线配置、EC介质的导电率、EC介质的浓度、电极之间的单元间隔或间距和到母线的距离而改变。对于该问题常提出的方案是使得构成电极的涂层或层更厚，由此减小它们的表面电阻并使得元件能够更迅速地变暗。如下面讨论的那样，存在给予的限制这种过分简化的方法解决问题的实际不利结果。在许多的情况下，不利结果使得EC元件不适于给定的应用。在本发明的至少一个实施例中，说明解决随电极层简单变厚出现的问题并导致EC元件具有更快、更均匀的变暗特性的改进的电极材料、制造所述电极的方法和母线配置。
[0061]在典型的内部镜子中，母线与长度维度平行地行进。这是要使跨过电极之间的部分的电势降最小化。镜子还一般包含高表面电阻透明电极和低表面电阻反射器电极。镜子的变暗在高表面电阻电极的母线附近最迅速，而在两个电极之间的一些中间位置上最慢。在低表面电阻电极的母线附近,将具有这两个值之间的变暗速率。当在两个母线之间移动时，存在有效电势的变化。在两个较长的平行的母线在其间具有相对较短的距离的情况下(母线之间的距离小于母线的长度的一半),镜子将以“遮光帘8118(16 的方式变暗。这意味着镜子在一个母线附近更迅速地变暗,并且变暗看起来以逐渐的方式在两个母线之间移动。一般地，在部分的中间处测量变暗速率，并且,在镜子具有大于2的宽高比的情况下，变暗速率的任何不均匀性是相对很小的。
[0062]随着镜子的尺寸的增加以及随之而来的母线之间的距离的增加,跨过各部分的变暗速率的相对差异也增加。当为外部应用设计镜子时，这样可能会恶化。可耐受这种苛刻环境的金属一般具有比适用并且常用于内部镜子应用中的诸如银或银合金的金属低的导电率。外部应用的金属电极因此可具有达6-/叫的表面电阻，而内部镜子可具有?0? 5011.1,/8(1的表面电阻。在其它的外部镜子应用中，出于各种光学要求,透明电极的厚度可能会受限。在最常见的使用中，诸如110的透明电极常限于1/2波长厚^10^688).这种限制是由于这里讨论的110的性能，而且由于与制成较厚的110涂层有关的费用。在其它的应用中，涂层限于1/2波长厚的80%。这两个厚度限制将透明电极的表面电阻限于大于用于1/2波长的约1201^/8(1并小于用于作为1/2波长涂层的80%的涂层的17~化—/叫。金属和透明电极的更高的表面电阻导致更慢、更加不均匀的变暗镜子。
[0063]可以根据电路从％元件的分析估计变暗速率。以下的讨论关于跨过元件具有均匀的板电极的涂层。平行电极之间的任何位置上的电势只是各电极的表面电阻和％介质的电阻的函数。在以下的表1中，连同最大和最小电势之间的差值一起给出跨过电极之间的元件的平均电势。该例子用于在平行的母线之间具有10(3(11间隔、具有180微米单元间隔、具有1.2伏驱动电压和 1000000^1处111流体电阻率的元件。对顶部和底部电极表面电阻的六种组合进行比较。
[0064]表1
[0065]
【权利要求】
1.一种用于车辆后视镜的光电镜子元件，所述光电镜子元件包括: 包括第--表面和第二表面的第一基底,所述第一表面对应于所述光电镜子元件的前侦1]，所述第一基底具有沉积在所述第二表面—丨二的第一层导电材料； 包括第三表面和第四表面的第二基底,所述第一基底和第二基底被布置成平行且分开的关系，以限定第二表面和第三表面之间的间隙,所述间隙含有光电介质， 其中所述第二基底包含金属双层,所述金属双层包括: 由具有基层体积反射率的金属制成的基层，以及 由具有顶层体积反射率的金属制成的顶层， 所述基层和顶层布置在所述第三表面上，在环境光中测量时，所述顶层体积反射率高于所述基层体积反射率， 其中所述金属双层的表面电阻在6011111/8(1以下，所述顶层的厚度不超过所述双层的厚度的50%，所述双层的表面粗糙度小于200埃，使得在空气中于环境光下测量的双层的反射率超过平滑表面的反射率的理论最大值的90%。
2.一种用于车辆后视镜的光电镜子元件,所述光电镜子元件包括: 包括第一表面和第二表面的第一基底，所述第一表面对应于所述光电镜子元件的前個11，所述第一基底具有沉积在所述第二表面上的第一层导电材料； 包括第三表面和第四表面的第二基底,所述第一基底和第二基底被布置成平行且分开的关系，以限定第二表面和第三表面之间的间隙,所述间隙含有光电介质， 其中所述第二基底包含金属双层，所述金属双层包括: 由具有基层体积反射率的金属制成的基层，以及 由具有顶层体积反射率的金属制成的顶层， 所述基层和顶层布置在所述第三表面上，在环境光中测量时，所述顶层体积反射率高于所述基层体积反射率， 其中所述金属双层的表面电阻在以下,所述顶层的厚度不超过所述双层的厚度的25%，所述双层的表面粗糙度小于200埃，使得在环境光下测量的所述第二基底上的双层的反射率超过平滑表面的反射率的理论最大值的80%。
3.一种用于车辆后视镜的光电镜子元件，所述光电镜子元件包括: 包括第一表面和第二表面的第一基底，所述第一表面对应于所述光电镜子兀件的前侧,所述第一基底具有沉积在所述第二表面上的第一层导电材料； 包括第三表面和第四表面的第二基底,所述第-基底和第二基底被布置成平行且分开的关系，以限定第二表面和第三表面之间的间隙，所述间隙含有光电介质， 其中所述第二基底包含金属双层，所述金属双层包括: 由具有基层体积反射率的金属制成的基层，以及 由具有顶层体积反射率的金属制成的顶层， 所述基层和顶层布置在所述第三表面上，在环境光中测量时，所述顶层体积反射率高于所述基层体积反射率， 其中所述金属双层的表面电阻在().50-/8(1以下,所述顶层的厚度不超过所述双层的厚度的7.5%，所述双层的表面粗糙度小于200埃,使得在环境光下测量的所述第二基底上的双层的反射率超过平滑表面的反射率的理论最大值的70%。
4.根据权利要求1-3中任--项所述的光电镜子元件，其中所述基层和所述顶层连续布置在所述第三表面上。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的光电镜子元件，其中所述光电介质包括电致变色介质。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的光电镜子元件,其中所述顶层包括铝、铑、钌、铱、钯、钼、镉、铜、钴、银和金中的至少一种。
7.根据权利要求1-3中任一项所述的光电镜子元件，其中所述基层包括选自由铬、铝、镉、钴、铜、金、铱、铁、镁、钼、镍、锇、铯、钼、铭、钌、锡、鹤、锌构成的组中的金属。
8.根据权利要求1所述的光电镜子元件,其中所述金属双层的表面电阻不超过3-/
9.根据权利要求8所述的光电镜子元件，其中所述顶层的厚度不超过所述双层的厚度的 25%。
10.根据权利要求2所述的光电镜子元件,其中所述双层的表面电阻不超过1.5011111/叫。
11.根据权利要求10所述的光电镜子元件,其中所述顶层的厚度不超过所述双层的厚度的1.4%。
12.根据权利要求1所述的光电镜子元件,其中所述金属双层的表面电阻不超过1.5ohm/sq
13.根据权利要求12所述的光电镜子元件,其中所述顶层的厚度不超过所述金属双层的厚度的7.5%。
14.根据权利要求1-3中任一项所述的光电镜子元件，其中所述金属双层的表面粗糙度小于100埃。
15.根据权利要求1-3中任一项所述的光电镜子元件，其中所述金属双层的表面粗糙度小于50埃。
16.根据权利要求1-3中任--项所述的光电镜子元件,其中所述金属双层的表面粗糙度小于25埃。
17.根据权利要求1所述的光电镜子元件,其中所述基层包括铬并且具有基层表面电阻，所述顶层包括钌并且具有顶层表面电阻，所述基层表面电阻与所述顶层表面电阻的比不超过三分之二。
18.根据权利要求1-3中任一项所述的光电镜子元件，其中在环境光-卜所述光电镜子元件的反射率至少为55%。
19.根据权利要求1~~3中任一项所述的光电镜子兀件，其中在环境光下所述光电镜子元件的反射率至少为60%。
20.根据权利要求1-3中任一项所述的光电镜子元件，其中所述第一基底包括位于第二表面上的铟锡氧化物层,所述铟锡氧化物层的平均峰-谷粗糙度小于或等于150埃。
21.根据权利要求20所述的光电镜子元件,其中所述铟锡氧化物层的光学厚度至少为半波的80%。
22.根据权利要求20所述的光电镜子元件，还包括沉积在所述第二表面上的所述第一基底的外围区域中的铬层,使得从所述外围区域反射的光的!值基本上匹配从所述外围区域内部反射的光的化值。
23.根据权利要求1所述的光电镜子元件，其中所述金属双层的反射率超过平滑表面的反射率的理论最大值的95%。
24.根据权利要求2-3中任一项所述的光电镜子元件，其中所述金属双层的反射率超过平滑表面的反射率的理论最大值的85%。
25.根据权利要求2-3中任一项所述的光电镜子元件，其中所述金属双层的反射率超过平滑表面的反射率的理论最大值的90%。
26.根据权利要求3所述的光电镜子元件,其中所述金属双层的反射率超过平滑表面的反射率的理论最大值的75%。
27.根据权利要求3所述的光电镜子元件，其中所述金属双层的反射率超过平滑表面的反射率的理论最大值的80%。
28.根据权利要 求1-3中任一项所述的光电镜子元件，其中所述顶层包括多层结构。
【文档编号】G02F1/153GK103838050SQ201310509360
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2007年3月2日 优先权日:2006年3月3日
【发明者】J·S·安德森, J·A·福尔杰特, G·A·诺曼, G·J·多泽曼, D·J·卡蒙加, H·A·卢藤, G·B·波, N·F·布鲁梅尔, L·M·佩龙, W·L·汤纳 申请人:金泰克斯公司