显影液中光刻胶树脂回收再利用装置制造方法
【专利摘要】一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、阳离子交换树脂、阴离子交换树脂和浓缩装置，废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口，废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接，第一过滤装置的上部出口与溶解槽的第一进口连通，第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口，溶解槽的第二进口为溶剂进口，溶解槽的出口与第二过滤装置的进口连通，第二过滤装置的上部出口为残渣出口，第二过滤装置的下部出口依次与阳离子交换树脂、阴离子交换树脂连接，阴离子交换树脂的出口与与浓缩装置的入口连通，浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。本实用新型降低成本、环保性良好。
【专利说明】显影液中光刻胶树脂回收再利用装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种光刻胶树脂回收再利用装置。
【背景技术】
[0002]光刻工艺是面板(FDP)和半导体芯片生产等需要电子行业的核心生产工艺。在光刻过程中光刻胶又是其中的核心材料。光刻胶一般由基础树脂，感光剂等组成，其中基础树脂的生产合格光刻胶的关键，关系到光刻图案的精密性，要求树脂分子量分布小，平均分子量可控，同时因为用于高精密的电子生产行业因此也要求纯度高，单个金属含量和阴离子含量低。因此树脂的成本占光刻胶总成本一半以上。
[0003]在光刻工艺中，一般步骤为勻I父一干燥一如烘一曝光一显影一后烘一蚀刻一剥离。因此很大一部分光刻胶在显影过程中溶于废液。目前有许多专利报道对显影液废液进行回收再利用，在这些专利中主要是提出回收四甲基氢氧化铵的方法，目前还未有报道过程显影液中回收再利用树脂，通常按照固废物处理，如此处理成本高，还有二次污染的可倉泛。
【发明内容】
[0004]为了克服已有光刻胶树脂处理方式的成本高、环保性较差的不足，本实用新型提供了一种降低成本、环保性良好的显影液中光刻胶树脂回收再利用装置。
[0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0006]一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，所述回收再利用装置包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、阳离子交换树脂、阴离子交换树脂和浓缩装置，所述废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口，所述废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接，所述第一过滤装置的上部出口与所述溶解槽的第一进口连通，所述第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口，所述溶解槽的第二进口为溶剂进口，所述溶解槽的出口与所述第二过滤装置的进口连通，所述第二过滤装置的上部出口为残渣出口，所述第二过滤装置的下部出口与所述阳离子交换树脂的入口连通，所述阳离子交换树脂的出口与所述阴离子交换树脂的入口连通，所述阴离子交换树脂的出口与与所述浓缩装置的入口连通，所述浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。
[0007]进一步，所述浓缩装置的溶剂出口与所述溶剂储槽连通，所述溶剂储槽与所述溶解槽的第二进口连通。
[0008]再进一步，所述连接管上安装泵。
[0009]本实用新型的有益效果主要表现在:在回收四甲基氢氧化铵的同时又可以回收光刻胶树脂。而且结构简单，可连续生产，能耗低，节约成本，减低水耗，易于推广实用。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是显影液中光刻胶树脂回收再利用装置的示意图。【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本实用新型作进一步描述。
[0012]参照图1，一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，所述回收再利用装置包括废液槽1、第一过滤装置2、溶解槽3、第二过滤装置5、阳离子交换树脂6、阴离子交换树脂7和浓缩装置8，所述废液槽I包括沉淀剂进口和显影液废液进口，所述废液槽I的出口通过连接管与第一过滤装置2的进口连接，所述第一过滤装置2的上部出口与所述溶解槽3的第一进口连通，所述第一过滤装置2的下部出口为TMAH废液出口，所述溶解槽3的第二进口为溶剂进口，所述溶解槽3的出口与所述第二过滤装置5的进口连通，所述第二过滤装置5的上部出口为残渣出口，所述第二过滤装置5的下部出口与所述阳离子交换树脂6的入口连通，所述阳离子交换树脂6的出口与所述阴离子交换树脂7的入口连通，所述阴离子交换树脂7的出口与与所述浓缩装置8的入口连通，所述浓缩装置8包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。
[0013]进一步，所述浓缩装置8的溶剂出口与所述溶剂储槽4连通，所述溶剂储槽4与所述溶解槽3的第二进口连通。再进一步，所述连接管上安装泵9。
[0014]本实施例中，废液I槽，用于存储废液，加入沉淀剂沉淀，沉淀剂可以选择各类酸如硫酸，盐酸，也可以选择二氧化碳。
[0015]第一过滤装置2，将储液槽中的溶液固液分离，液体部分可以进行四甲基氢氧化铵回收，所得固体为光刻胶树脂初产品。
[0016]溶解槽3，将所得光刻胶树脂初产品用有机良溶剂溶解形成均一相；
[0017]第二过滤装置5，去除未溶解的固体
[0018]阴阳离子交换树脂6、7:将过滤的溶液通过阳离子交换树脂6去除金属离子杂质，通过阴离子交换树脂7除去阴离子树脂。
[0019]浓缩装置8:经过阴阳离子交换树脂的溶液进入浓缩装置，回收溶剂，同时得到光刻胶树脂。
[0020]所述第一过滤装置2和第二过滤装置5中，滤芯位于过滤装置的中部，过滤装置的上部出口为固体出口，过滤装置的下部出口为液体出口。
[0021]如图1所示，废液槽I接收存储四甲基氢氧化铵废液，其中加入酸等沉淀剂使光刻胶树脂沉淀，通过过滤装置2实现固液分离，所得溶液可进行四甲基氢氧化铵回收，固体为光刻胶树脂初产物。初产物在溶解槽3内通过加入溶剂储槽4中的溶剂，溶解。溶液通过第二过滤装置5去除不溶物，滤液依次通过阳离子交换树脂塔和阴离子交换树脂塔，去除金属离子杂质。最后溶液进入浓缩装置，回收溶剂，存于溶剂储槽4，同时得到纯净的光刻胶树脂。
【权利要求】
1.一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，其特征在于:所述回收再利用装置包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、阳离子交换树脂、阴离子交换树脂和浓缩装置，所述废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口，所述废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接，所述第一过滤装置的上部出口与所述溶解槽的第一进口连通，所述第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口，所述溶解槽的第二进口为溶剂进口，所述溶解槽的出口与所述第二过滤装置的进口连通，所述第二过滤装置的上部出口为残渣出口，所述第二过滤装置的下部出口与所述阳离子交换树脂的入口连通，所述阳离子交换树脂的出口与所述阴离子交换树脂的入口连通，所述阴离子交换树脂的出口与与所述浓缩装置的入口连通，所述浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。
2.如权利要求1所述的显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，其特征在于:所述浓缩装置的溶剂出口与所述溶剂储槽连通，所述溶剂储槽与所述溶解槽的第二进口连通。
3.如权利要求1或2所述的显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，其特征在于:所述连接管上安装泵。
【文档编号】G03F7/30GK203433267SQ201320477099
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年8月6日 优先权日:2013年8月6日
【发明者】梁小朝, 黄源, 尹云舰, 李乔华, 倪芸岚 申请人:杭州格林达化学有限公司