1.一种在压印光刻过程内操作用于使柔性印模（10）的浮雕模压表面针对衬底（20）的印模接收表面（22）接触和/或释放的装置（100）的方法，该装置包括：
- 用于保持和操控柔性印模（10）和/或用于保持和操控衬底（20）系统，使得当该系统保持柔性印模和衬底时，柔性印模能够局部弯曲以在印模接收表面（22）的部分上创建接触区域（14），在该接触区域（14）内浮雕模压表面的部分与印模接收表面（22）接触，而模压表面的另外部分不与印模接收表面接触，接触区域的边界的至少部分限定接触前沿；
该方法包括提供接触区域（14）以及以下步骤中的至少一个：
- 用于使浮雕模压表面与印模接收表面（22）接触的接触步骤，该接触步骤包括对所述系统的控制以在接触前沿处或其附近创建接触，使得接触前沿以移动速率沿着基本上垂直于接触前沿且远离接触区域（14）的移动方向而沿衬底（20）的印模接收表面（22）移动，以及
- 用于从接触区域（14）中的印模接收表面（22）释放浮雕模压表面的释放步骤，该释放步骤包括对所述系统的控制以打破接触前沿处或其附近的接触，使得接触前沿以移动速率沿着基本上垂直于接触前沿且朝向接触区域的移动方向而沿着沿衬底的印模接收表面的衬底（20）的印模接收表面（22）移动，
其中，对所述系统的控制以创建或打破接触包括第一步骤和第二步骤，其中在第一步骤中创建或打破接触以使得移动速率沿移动方向在第一预定距离之上具有第一恒定值，第一预定距离包括至少两个不同位置中的一个，并且其中在第二步骤中创建或打破接触以使得移动速率沿移动方向在第二预定距离之上具有第二恒定值，第二预定距离包括所述至少两个不同位置中的另一个，第一恒定值不同于第二恒定值，并且
其中第一预定距离对应于具有第一浮雕形貌的浮雕模压表面（22）的第一区域的尺寸，并且第二预定距离对应于具有不同于第一浮雕形貌的第二浮雕形貌的浮雕模压表面（22）的第二区域的尺寸。
2.如权利要求1所述的方法，其中第一和第二预定距离从其中存储用于第一预定距离和第二预定距离的值的查找表来检索。
3.如权利要求1或2所述的方法，其中所述装置包括用于检查浮雕模压表面（22）的检查单元，并且其中所述方法包括：
- 利用检查单元检查浮雕模压表面以基于其浮雕形貌来确定第一和第二区域；
- 沿着将发生接触前沿的移动的方向，从第一区域导出第一预定距离并且从第二区域导出第二预定距离。
4.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述方法包括接触步骤和在接触步骤之后的固化步骤，其中对所述系统的控制允许存在于衬底的接收表面上或形成衬底的接收表面的抗蚀剂层的凝固化而同时抗蚀剂层与浮雕模压表面接触。
5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述方法包括接触步骤和释放步骤，并且其中接触步骤的移动方向和释放步骤的移动方向被选取为下述中的任何一个：相同、彼此相反以及朝向彼此形成某一角度。
6.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述系统包括用于保持柔性印模（10）的印模保持器（110）和多个印模配合元件（112），每一个印模配合元件是在第一配置和第二配置之间可切换的，在第一配置中柔性印模被附连和/或吸引到印模保持器，在第二配置中印模从印模保持器释放或推开，并且其中所述方法包括：
- 对所述系统的控制包括印模配合元件（112）从第一状态向第二状态的相继切换以用于创建接触，或者反之用于打破接触。
7.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述系统进一步包括具有印模配合表面的印模保持器（110）和具有衬底配合表面的衬底保持器（120），其中所述方法进一步包括在接触步骤和/或释放步骤期间所述控制使得印模配合表面和衬底配合表面平行于彼此并且以间隙彼此分离。
8.一种从通信网络可下载和/或存储在计算机可读和/或微处理器可执行介质上的计算机程序产品，其特征在于，该计算机程序产品包括用于实现根据权利要求1-7中任一项的方法的程序代码指令。
9.一种用于控制用来使柔性印模（10）的浮雕模压表面与衬底（20）的印模接收表面（22）接触的装置的控制设备，其中该控制设备被配置成使所述装置执行权利要求1-7中任一项的方法。
10.如权利要求9所述的控制设备，包括：
- 计算机或微处理器；以及
- 如权利要求8所述的计算机程序产品。
11.如权利要求9或10所述的控制设备，进一步包括用于保持和操控柔性印模（10）和/或衬底保持器（120）系统，使得当该系统保持柔性印模和衬底（20）时，柔性印模局部弯曲或者可能局部弯曲以在印模接收表面（22）的部分上创建接触区域（14），在该接触区域（14）内，浮雕模压表面的部分与印模接收表面接触，而模压表面的另外部分不与印模接收表面接触，接触区域和非接触区域之间的边界的至少部分限定接触前沿。
12.如权利要求10所述的控制设备，其中所述系统进一步包括用于保持柔性印模（10）的印模保持器（110）和多个印模配合元件（112），每一个印模配合元件在第一配置与第二配置之间可切换，在第一配置中柔性印模被附连和/或吸引到印模保持器，在第二配置中印模从印模保持器释放或推开。
13.如权利要求12所述的控制设备，其中所述多个印模配合元件（112）中的每一个包括用于提供欠压以附连和/或吸引柔性印模（10）或者用于提供过压以释放和/或推开柔性印模的孔，并且其中控制设备进一步包括压力调控器，该压力调控器包括用于单独地设定所述多个印模配合元件的每一个孔的欠压和/或过压的可切换阀门（114）。
14.如权利要求12所述的控制设备，其中所述多个印模配合元件（112）中的每一个包括用于提供磁力以附连或吸引柔性印模（10）或者用于提供磁力以释放和/或推开柔性印模的电磁体，并且其中控制设备进一步包括用于将适当的附连/吸引和/或释放/推开电气信号切换到所述多个印模配合元件的每一个单独的电磁体的电气装备。
15.如权利要求14所述的控制设备，包括切换单元以用于提供针对所述多个印模配合元件（112）中的每一个的切换设定以使得这些设定在接触步骤期间和/或在释放步骤期间可以是可变的。
16.一种用于使柔性印模（10）的浮雕模压表面与衬底（20）的印模接收表面（22）接触的装置，该装置包括：用于保持和操控柔性印模和/或用于操控衬底保持器（120）的系统，使得当该系统保持柔性印模并且衬底保持器保持衬底时，柔性印模局部弯曲或者可能局部弯曲以在印模接收表面的部分上创建接触区域（14），在该接触区域（14）内，浮雕模压表面的部分与印模接收表面接触，而印模表面的另外部分不与印模接收表面接触，接触区域与非接触区域之间的边界的至少部分限定接触前沿；以及
- 根据权利要求9-13中任一项的控制设备。
17.如权利要求16所述的装置，进一步包括检查设备以用于在柔性印模（10）附着在用于保持和操控柔性印模的系统中时检查柔性模压表面的浮雕特征形貌。
18.一种通过使柔性印模（10）的浮雕模压表面针对衬底（20）的印模接收表面（22）接触和释放对衬底（20）进行压印的方法，该方法包括以下相继的步骤：
- 提供包括浮雕模压表面的柔性印模（10）；
- 提供包括由可变形压印层制成的印模接收表面（22）的衬底（20）；
- 使用用于保持和操控柔性印模（10）和/或用于保持和操控衬底（20）的系统来使浮雕模压表面局部弯曲以在印模接收表面的部分上创建接触区域（14），在该接触区域（14）内，浮雕模压表面的部分与印模接收表面接触，而模压表面的另外部分不与印模接收表面接触，接触区域的边界的至少部分限定接触前沿；
- 使浮雕模压表面与印模接收表面（22）接触，该接触步骤包括对所述系统的控制以在接触前沿处或其附近创建接触以使得接触前沿以移动速率沿着基本上垂直于接触前沿且远离接触区域（14）的移动方向而沿衬底（20）的印模接收表面移动；
- 在印模接收表面与浮雕模压表面接触的同时，使可变形压印层凝固；
从接触区域（14）中的印模接收表面（22）释放浮雕模压表面，该释放步骤包括对所述系统的控制以打破接触前沿处或其附近的接触以使得接触前沿以移动速率沿着基本上垂直于接触前沿且朝向接触区域的移动方向而沿着沿衬底的印模接收表面的衬底（20）的印模接收表面移动，
其中，对所述系统的控制以创建或打破接触使得移动速率对于沿着移动方向的至少两个不同位置具有不同值。