技术总结
一种改善姆拉现象的方法，包括：S1、制备匀胶版，且所选择的匀胶版面积应大于产品图案的面积；S2、将图案和匀胶版平放，图案位于匀胶版上方，且图案边界位于匀胶版边界内；S3、旋转并调整图案角度，使图案相互垂直的两边分别与匀胶版的X轴和Y轴之间具有一定的交错角；S4、将产品放于曝光平台上，经过多次曝光；S5、显影，先配置碱性显影液，然后将碱性显影液注入到显影机中，放入待显影的mask，按照规定的时间取出；S6、蚀刻；S7、测量，通过显微镜测量；S8、检验，通过自动光学检查机和光学投影机对姆拉现象进行检验；S9、修补，通过激光修补机对产品进行修补。本申请通过旋转并调整图案的角度，可以干扰到姆拉现象的产生，利于消除姆拉现象。
技术研发人员：谢庆丰;石孟阳;庄奎乾
受保护的技术使用者：深圳市科利德光电材料股份有限公司
文档号码：201610645245
技术研发日：2016.08.08
技术公布日：2016.12.14