一种掩模板、采用其制备下基板的方法和该方法的应用与流程

文档序号:12269664阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掩模板,包括掩模板主体,所述掩模板主体上设有透光区域和遮光区域,其特征在于,所述透光区域的图案与像素墙图案相同,所述遮光区域为多个呈阵列排列的离散区域,每个所述遮光区域的边缘区域设有减弱透光量结构。

2.根据权利要求1所述的掩模板,其特征在于,所述减弱透光量结构包括多个子掩模条,所述子掩模条与所述遮光区域连接。

3.根据权利要求2所述的掩模板,其特征在于,所述子掩模条相互平行设置。

4.根据权利要求2所述的掩模板,其特征在于,所述遮光区域为多个呈阵列排列的方形区域,所述子掩模条垂直/平行于与其靠近的所述遮光区域的边缘设置。

5.根据权利要求2所述的掩模板,其特征在于,相邻两个所述遮光区域的间距为像素墙的的宽度,相邻所述子掩模条的间距≤1/2的像素墙的宽度。

6.根据权利要求5所述的掩模板,其特征在于,相邻所述子掩模条的间距为1/10的像素墙宽度。

7.一种采用如权利要求1-6任一项所述的掩模板制备下基板的方法,其特征在于,包括采用权利要求1-6任一项所述的掩模板制备像素墙的步骤,具体步骤为:提供支撑板,在其上涂覆一层负性光刻胶材料;将如权利要求1-6任一项所述的掩模板与所述支撑板进行对准;基于对准后的掩模板对涂覆的所述光刻胶材料进行曝光,显影,得到像素墙。

8.一种采用如权利要求7任一项所述制备下基板的方法制备得到的下基板。

9.一种电润湿显示器件,其特征在于,包括权利要求8所述的下基板。

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