一种基板剥离装置的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种基板剥离装置。

背景技术：

现有的显示器产品基本都是基于刚性基板生产的，如常见的TFT-LCD显示器和OLED显示器。随着消费者的要求越来越高，超薄显示器和柔性显示会满足消费者不同的需求。目前的超薄产品(总厚度1mm以下)大部分是在显示屏生产完成之后通过化学减薄的方式来实现的，如用HF酸溶液减薄。这种生产方式会对我们的环境造成很大压力，且不安全。

显示器用玻璃基板的供应商在尝试生产能够不用减薄就能满足需求的基板，由于在显示器的生产环节，需要不停的搬送基板，超薄基板的变形问题阻碍了其大规模的应用。为了解决基板变形的问题现在常用的方法是在超薄基板下面增加一片厚度0.4-1.0mm的承载基板，这样就能解决柔性基板变形的问题。

通常承载基板和超薄基板之间是用特殊的材料使两者粘合，为了保证前段工艺的顺利完成，要求粘合材料有一定的粘合力，承载基板在显示器制造完成之后需要取下来，这是非常困难的工艺。分离时首先要保证承载基板不受损伤，能够重复利用以降低成本，更为重要的是保证超薄基板不会在剥离的时候被破坏。

技术实现要素：

针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种基板剥离装置，能够有效提高超薄或柔性基板和承载基板的剥离成功率。

本实用新型提供一种基板剥离装置，其包括用于放置并吸附承载基板的吸附平台，在所述承载基板的上方设有可移动的激光头和吸头，所述激光头用于融化超薄或柔性基板与承载基板之间的粘结层，所述吸头用于吸附粘接层融化后的所述超薄或柔性基板。

其中，所述激光头通过龙门架安装在所述承载基板的上方，所述龙门架横跨所述吸附平台的横向两侧，且可沿所述吸附平台的长度方向移动，所述激光头可沿所述龙门架竖向或横向移动。

其中，所述吸附平台的上方设有多排支架，多排所述支架沿所述吸附平台的长度方向平行设置，所述吸头沿所述支架的长度方向间隔排列，每个所述吸头可沿所述支架上下移动。

其中，所述吸附平台连接有真空吸附装置，每个所述吸头也分别与所述真空吸附装置相连。

其中，所述吸头通过连接管与所述支架连接，所述吸头通过所述连接管与所述真空吸附装置连接。

进一步地，所述连接管的中部通过万向节铰接。

其中，还包括除静电装置，所述除静电装置设于所述吸附平台的两侧。

进一步地，所述除静电装置为离子风枪。

其中，还包括控制装置和提升装置，所述控制装置与所述提升装置相连，所述提升装置与多个所述吸头分别连接。

由上述技术方案可知，本实用新型采用吸附平台、激光头和吸头相互配合，先通过吸附平台将承载基板吸附固定，然后通过激光头发出激光来降低超薄或柔性基板和承载基板之间剥离位置的结合力，然后再通过吸头吸附将超薄或柔性基板和承载基板分开，能够保证超薄或柔性基板在剥离时不被破坏，承载基板不受损伤；从而提升了超薄或柔性基板与承载基板的剥离成功率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一种基板剥离装置的立体示意图；

图2是本实用新型一种基板剥离装置的侧视图；

图中：1：吸附平台；2：承载基板；3：粘结层；4：超薄或柔性基板；5：龙门架；6：激光头；7：支架；8：吸头；9：连接管；10：万向节。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1和图2所示，为本实用新型提供的一种基板剥离装置，其包括用于放置并吸附承载基板2的吸附平台1，使承载基板2固定在吸附平台1上，在所述承载基板2的上方设有可移动的激光头6和吸头8，所述激光头6用于融化超薄或柔性基板4与承载基板2之间的粘结层3，从而通过激光来降低超薄或柔性基板4与承载基板2剥离位置的结合力，所述吸头8用于吸附粘接层融化后的所述超薄或柔性基板4，通过吸附将超薄或柔性基板4和承载基板2分开，以提升超薄或柔性基板4与承载基板2的剥离成功率。

如图1所示，所述激光头6通过龙门架5安装在所述承载基板2的上方，所述龙门架5横跨所述吸附平台1的横向两侧，且可沿所述吸附平台1的长度方向移动，所述激光头6可沿所述龙门架5竖向或横向移动；以保证激光头6能够在空间的三个移动方向自由移动，从而保证激光头6能够根据需要移动到不同的位置。激光头6的数量可以是一个或多个；激光头6的激光波长选择适合融化承载基板2和超薄或柔性基板4之间的粘结材料的波段。

在基板剥离过程中，操作激光头6不断左右扫描以熔化粘结层3材料，同时随着剥离位置的变化激光头6的位置也随之变化。

为了方便固定吸头8，所述吸附平台1的上方设有多排支架7如两排、三排等等，如图1所示，支架7为两排，可以根据需要自由选择；多排所述支架7沿所述吸附平台1的长度方向平行设置，所述吸头8沿所述支架7的长度方向间隔排列，间隔可以根据基板的尺寸进行调节，每个所述吸头8可沿所述支架7上下移动，使得每个吸头8能够单独控制上升的高度及动作时间。

为了方便为吸附平台1以及吸头8提供真空吸力，所述吸附平台1连接有真空吸附装置，每个所述吸头8也分别与所述真空吸附装置相连，吸附平台1左右两边同一位置的吸头8需要保证同步运动，以保证超薄或柔性基板4的两侧所受剥离力均匀一致。

具体地，如图2所示，所述吸头8通过连接管9与所述支架7连接，所述吸头8通过所述连接管9与所述真空吸附装置连接，方便为所述吸头8提供真空吸力。

进一步地，所述连接管9的中部通过万向节10铰接，方便所述吸头8能够随基板剥离的方向自由弯曲，以保证基板变形时的良好吸附。

为了方便去除基板剥离过程中产生的静电，还设有除静电装置，所述除静电装置优选设于所述吸附平台1的两侧。具体地，所述除静电装置优选为离子风枪，以方便通过吹扫去除静电。

另外，还包括控制装置和提升装置，所述控制装置与所述提升装置相连，所述提升装置与多个所述吸头分别连接，用于控制吸头的提升速度、提升高度以及提升间隔。

下面通过一个具体实施例来说明本实用新型的工作过程：

将制作完OLED器件的玻璃基板放置到吸附平台上；准备对上层带有器件的超薄基板进行剥离；

调整吸头的间距，将间距设定为10cm，以及在程序中设置好速度和每个吸头的提升距离，吸头的提升速度为30mm/min，提升距离为8cm，每个吸头提升的时间间隔设为40-60s；

在基板剥离的时候，会产生拉伸的弯曲应力，为了不对超薄基板上的电路或其它器件的性能产生影响，需要保证剥离半径大于4cm，由于剥离时候会在剥离处产生大量的静电，这些静电对剥离来说是有害的，因此在剥离过程中需要开启离子风枪，以去除静电；

待剥离完成之后将承载基板剥离取出，并进行清洗，以重复使用降低成本；

超薄基板可以进行后续的切割和模组制程。

在本实用新型的描述中需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

类似地，应当理解，为了精简本实用新型公开并帮助理解各个实用新型方面中的一个或多个，在上面对本实用新型的示例性实施例的描述中，本实用新型的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释呈反映如下意图：即所要求保护的本实用新型要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如权利要求书所反映的那样，实用新型方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本实用新型的单独实施例。

应该注意的是上述实施例对本实用新型进行说明而不是对本实用新型进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。