一种紫外LED曝光模组的制作方法

文档序号:12533528阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种紫外LED曝光模组,其特征在于:它包括照射在目标面上的至少两个紫外LED照射模块,所述紫外LED照射模块包括由紫外LED灯珠阵列组成的紫外LED光源模组和复眼透镜模组,所述复眼透镜模组沿紫外LED光源模组照射的方向平行设在紫外LED光源模组的前方,所述紫外LED灯珠阵列的每个单元包括设在一基板上的紫外LED灯珠、紧密贴合并罩在设有紫外LED灯珠的基板上的预准直透镜。

2.根据权利要求1所述的一种紫外LED曝光模组,其特征在于:所述照射在目标面上的所有紫外LED照射模块在各行各列等间距排布,所述所有紫外LED照射模块的在行X、列Y方向上的数量分别为NX和NY,所有紫外LED照射模块的最大曝光面积总面积为SX和SY,所述单个紫外LED照射模块的照明面积为ax,ay,NX、NY满足:

3.根据权利要求1所述的一种紫外LED曝光模组,其特征在于:所述紫外LED灯珠的中心波长为365nm-405nm。

4.根据权利要求1所述的一种紫外LED曝光模组,其特征在于:所述复眼透镜模组至少包括一个复眼透镜,每个复眼透镜包括若干个微透镜,所述若干个微透镜以正六边形或平方点阵方式排布。

5.根据权利要求1所述的一种紫外LED曝光模组,其特征在于:所述紫外LED光源模组周围设有水冷或风冷式散热装置。

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