掩膜版、过孔及显示基板的形成方法、显示基板及装置与流程

文档序号:11322667阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种掩膜版、过孔及显示基板的形成方法、显示基板及装置,该掩膜版用于在膜层上形成过孔,包括:用于形成过孔的透光图案,所述透光图案具有弯曲的边缘。由于掩膜版上的透光图案具有弯曲的边缘,因而采用上述掩膜版形成的过孔的底部也具有弯曲的边缘,从而能够增加通过过孔电连接的上下导电层接触的边界线的长度,降低上下导电层之间的接触电阻,提高上下导电层的连接性,另外,在形成过孔的曝光工艺中,透光图案边缘处的光的透过量较小,该部分对应的膜层只能曝光掉一部分厚度,使得形成的过孔内壁的坡度角较小,从而降低了过孔的段差,避免上层导电层在过孔内断裂,进一步提高了连接性。

技术研发人员:王小元;杨妮;方琰;齐智坚;李云泽;许亨艺
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司
技术研发日:2017.06.14
技术公布日:2017.10.13
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