COA基板以及用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩的制作方法

技术特征：

1.一种COA基板，其特征在于，包括：

基板；

第二金属层，设置于所述基板上；

钝化层，设置于所述第二金属层上；

彩色光阻层，设置于所述钝化层上，所述彩色光阻层具有暴露所述钝化层的第一过孔；

树脂层，设置于所述彩色光阻层上并填充所述第一过孔，所述树脂层的填充于所述第一过孔内的部分中具有第二过孔，所述第二过孔包括贯穿所述钝化层的主过孔以及由所述主过孔的部分孔壁向外凸出形成的副过孔，所述副过孔与所述主过孔的孔深相同。

2.根据权利要求1所述的COA基板，其特征在于，所述副过孔的截面图形的尺寸远小于所述主过孔的截面图形的尺寸，所述副过孔的截面图形指的是沿着与所述副过孔的孔深方向垂直的方向对所述副过孔进行截面形成的图形，所述主过孔的截面图形指的是沿着与所述主过孔的孔深方向垂直的方向对所述主过孔进行截面形成的图形。

3.根据权利要求2所述的COA基板，其特征在于，所述主过孔的截面图形呈矩形，所述副过孔的截面图形位于所述主过孔的截面图形的角落处。

4.根据权利要求3所述的COA基板，其特征在于，所述副过孔的截面图形呈矩形，所述副过孔的截面图形的角落与所述主过孔的截面图形的角落融合。

5.根据权利要求1所述的COA基板，其特征在于，所述COA基板还包括：

第一金属层，设置于所述基板和所述第二金属层之间；

第一绝缘层，设置于所述第一金属层和所述第二金属层之间；

有源层，设置于所述第一绝缘层和所述第二金属层之间，所述第二金属层与所述有源层接触；

像素电极，设置于所述树脂层上，并通过所述第二过孔与所述第二金属层接触。

6.一种用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩，其特征在于，所述光罩包括主半透部以及所述主半透部的部分向外凸出形成的副半透部，所述主半透部和所述副半透部均呈网格状，且所述主半透部和所述副半透部的网格条是遮光的。

7.根据权利要求6所述的光罩，其特征在于，所述主半透部呈矩形，所述副半透部位于所述主半透部的角落处。

8.根据权利要求7所述的光罩，其特征在于，所述副半透部呈矩形，所述副半透部的角落与所述主半透部的角落融合。

9.一种用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩，其特征在于，所述光罩包括主半透部以及位于所述主半透部一侧的副半透部，所述主半透部和所述副半透部间隔设置，所述主半透部和所述副半透部均呈网格状，且所述主半透部和所述副半透部的网格条是遮光的。

10.根据权利要求9所述的光罩，其特征在于，所述主半透部呈矩形，所述副半透部呈L型，所述副半透部的内弯折处朝向所述主半透部的角落，并且副半透部的内弯折处与所述主半透部的角落间隔设置。