1.一种环保显影液,其特征在于,按照质量百分比,所述环保显影液的组分及其含量如下:
2.根据权利要求1所述的环保显影液,其特征在于,所述高效防团聚分散剂为苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚、苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、萘酚聚氧乙烯醚磺酸盐、苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、萘酚聚氧乙烯醚硫酸盐中的一种或几种。
3.根据权利要求2所述的环保显影液,其特征在于,所述的苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、萘酚聚氧乙烯醚磺酸盐为钠盐、钾盐或者铵盐。
4.根据权利要求2所述的环保显影液,其特征在于,所述的苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、萘酚聚氧乙烯醚硫酸盐为钠盐、钾盐或者铵盐。
5.根据权利要求1所述的环保显影液,其特征在于,所述的抑泡聚醚为异辛醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚EH-6、丁醇无归聚醚BPE-1500、嵌段聚醚RPE 1740、PPG-400中的一种或几种。
6.根据权利要求1所述的环保显影液,其特征在于,所述的聚醚型消泡剂为聚醚改性有机硅消泡剂。
7.根据权利要求1所述的环保显影液,其特征在于,按照质量百分比,所述环保显影液的组分及其含量如下:
8.根据权利要求1所述的环保显影液,其特征在于,按照质量百分比,所述环保显影液的组分及其含量如下:
9.根据权利要求1所述的环保显影液,其特征在于,按照质量百分比,所述环保显影液的组分及其含量如下: