对称力条件。
[0043]因要伸缩管以最小的可能阻力来对抗旋转，它们可以连接到一起从而它们流体地连通。在此背景下，例如，将两个伸缩管通过延伸通过反射镜的通道连接在一起是可行的。
[0044]如果控制装置具有一装置(具体地，可移位活塞或泵)用于改变由伸缩管包封的流体体积，则可以使用伸缩管作为改变反射镜相对于基体的排列的驱动装置。那么，可以省略附加的驱动器。
[0045]滑动支撑
[0046]根据本发明的另一个方面，引言中所陈述的目标通过包括反射镜阵列的微光刻投射曝光设备来实现。反射镜阵列具有基体和多个反射镜单元，每个反射镜单元具有反射镜和控制装置，通过控制装置，各反射镜相对于基体的排列可以被改变。根据本发明，反射镜与基体或连接到基体的反射镜支撑体的相对表面被设计为滑动支撑的相应滑动表面。
[0047]本发明的这方面基于这样的构思，在滑动支撑中彼此支撑的表面与固态关节相比相对较大，从而总的可实现的热通量可以是足够的，即使通过滑动表面之间的间隙的热传递被阻碍。
[0048]如果至少一个滑动表面提供有润滑和/或抗磨损涂层，特别是提供有金属喷镀或金刚石涂层，则热传递可以提高。这种涂层增加了滑动表面之间的接触面积，并以此改善热传递。
[0049]如果至少部分地填充有糊状体或流体(特别是液体)的移动间隙形成在相应的滑动表面之间，则可以实现热通量的明显改善。液体或糊状体防止大的气体空腔形成在移动间隙中，气体空腔会限制热通量。
[0050]然而，在特定环境下，热通量的增加也可以以气体填充移动间隙来实现。如果气体例如处于高压，其热传导率会明显增加。这里，高压意味着大于标准操作压强1.5倍的任何压强，标准操作压强为在投射光穿过的设备空间中占据主导地位的压强。如果气流供给通过移动间隙，那么其可以以对流方式散发热量。
[0051]在有利的实施例中，设计控制装置以对移动间隙的宽度进行可变的调节。这样，例如，在反射镜静止时，可以保持移动间隙尽可能地小并因此增加热通量。如果反射镜旨在被旋转，那么移动间隙的宽度将稍微提前增加以获得更好的滑动属性。依赖于移动间隙中包含的流体的类型，类似的效果也可以通过滑动表面之间占主导的应用压强的可变调节来实现。
[0052]如果基体或反射镜支撑体的滑动表面具有流体的至少一个出口，流体可以从该出口流出到移动间隙中，则可以获得附加的改善。在移动间隙中的流体流动允许通过对流的附加的散热。
[0053]为了将流体再次排出，基体或反射镜支撑体可以具有流体的至少一个入口，在移动间隙中循环的流体可以通过该入口从移动间隙流出。
[0054]通过移动间隙中流体的适当输送，可以改变移动间隙中流体的流动方向。这继而被用于将力矩施加在反射镜上并由此将其旋转。
[0055]优选地，为此，基体或反射镜支撑体的滑动表面具有流体的至少两个出口，其彼此径向相对设置。根据流体从哪个口流出，旋转运动将在一个方向或另一个方向上产生。
[0056]为了增加流体可以施加在反射镜上的力矩，反射镜的滑动表面可以提供有用于增加涉及流体的拖曳力的结构。这种结构例如可以是横向于流动方向延伸的条或者槽。
[0057]可以进一步提供密封，其可以防止流体出现在反射镜和反射镜支撑体之间保留的间隙。
[0058]基体或反射镜支撑体可以相对于反射镜预加应力。
[0059]应该理解本发明的如上所述的方面可以非常充分地彼此组合。例如，无论支撑的类型如何，从反射镜延伸到基体的附加热传导元件可以总是提供。此外，可以通过使用柔性的密封装置来提供流体冷却，而无论支撑的类型如何。
[0060]可有利地采用如上所述的本发明的所有方面的进一步变型将在下面描述。
[0061]因此，控制装置例如可以包括相对于反射镜可移动地布置的至少一个移动传感器，特别是压电或超声马达。
[0062]移动传感器在静止状态可以平靠在反射镜部分上。特别是，反射镜和移动传感器可以具有以球形帽分段形式的相对应的接触表面。接触表面的球形中心可以布置在反射镜的光学中心中或至少紧靠反射镜的光学中心。术语光学中心是指在设备运行期间光实际达到的反射镜的区域。因此光学中心不必需要与几何中心一致。
[0063]在此情况下，反射镜可以经由可弯曲弹性的且扭转刚性的弹簧元件连接到基体，在这种情况下，弹簧元件可以具体被设计为(金属)伸缩管。弹簧元件可以在反射镜的中性设置和偏离设置的二者中被弹性地施加预应力且填充有流体，特别是液体。
[0064]反射镜可以绕旋转轴旋转也是优选的，旋转轴位于反射镜的反射表面中或至少大约在反射镜的反射表面中。这将保证反射镜的阴影最小，即使在反射镜旋转运动的情况下。
[0065]更加优选的是，用于确定反射镜的排列的传感装置应该分配到控制装置。
[0066]当辐射源适于产生短于25nm的波长的光(特别是约13.5nm的波长的光)时，可以特别有利地使用本发明。对于这些波长，光必须仅穿过具有非常低的气压的体积。因为气体在低压仅弱地传导热量，所以根据本发明的方案对于反射镜的冷却具有特别有利的效果O
[0067]如上所述的方案不仅可以有利地应用于具有多个反射镜单元的阵列中，而且可以有利地应用于包含适应性反射镜的微光刻投射曝光设备中，该适应性反射镜可以在控制单元(驱动器)的辅助下变型。这种适应性反射镜可以视为多个反射镜单元的阵列，反射镜单元的各个反射镜通过反射材料条连接在一起。反射镜单元则主要由控制单元构成，通过控制单元可以改变(公共)反射镜的形状。反射镜阵列则对应于控制单元的阵列，控制单元的阵列具有基体和紧固在基体上的多个控制单元，并且控制单元接合在反射镜上，通过控制单元的阵列可以改变反射镜的形状。
[0068]此外，应用的另一个可能的领域涉及投射曝光设备，在投射曝光设备中，可以改变更大且不必适应地可调节的各个反射镜的总体排列。对于EUV投射物镜，例如，已经提出磁性地安装反射镜，因此没有能够通过热传导性有助于散热的任何关节。前述方案中的大多数也可以有利地应用于这种“浮置”，或者至少部分地没有物理支撑的反射镜。在权利要求中，反射镜阵列以反射镜和控制装置置换，通过控制装置，反射镜相对于基体的排列可以被改变。
【附图说明】
[0069]本发明的其他特征和优点将在以下参照附图对优选实施例的描述中被找到，在附图中:
[0070]图1示出可旋转反射镜的透视图，其从由多个板簧形成的固态关节悬挂并且具有一个移动自由度；
[0071]图2示出可旋转反射镜的第二实施例，该可旋转反射镜从由多个板簧形成的固态关节悬挂；
[0072]图3示出可旋转反射镜的示意图，金属丝配置到该可旋转反射镜用于热传导；
[0073]图4示出具有与其接触放置的条的反射镜的示意性截面图，该条形成静电驱动；
[0074]图5示出相邻布置的可倾斜反射镜，该反射镜通过柔性密封膜连接在一起；
[0075]图6示出通过预应力装置施加预应力到以球形帽形式的缺口的可旋转反射镜；
[0076]图7示出在其背侧通过气体冷却并且被保持在设计成槽的形式的容器中的反射镜;
[0077]图8示出设置在反射镜和基体之间的流体填充的折叠伸缩管布置；
[0078]图9示出由折叠伸缩管形成并且布置在反射镜和基体之间的流体控制装置；
[0079]图10示出具有九个由压电马达支撑的可独立倾斜的反射镜的反射镜阵列；
[0080]图11不出根据图10的反射镜阵列的截面图；
[0081]图12示出根据图10和11的压电马达的透视图；
[0082]图13示出通过具有液体填充移动间隙的反射镜单元的轴截面；
[0083]图14示出图13中所示的反射镜单元的基体的平面图。
【具体实施方式】
[0084]图1示出反射镜单元10的细节的透视图，反射镜单元10包含在微光刻投射曝光设备的照明系统中。所示的细节揭示基底板12、及具有反射镜14以及两组板簧18的反射镜单元，反射镜14被保持在T形支撑体16上，两组板簧18连接到支撑体16和基底板12且由诸如钢、硅、碳化硅、铜、银或金的具有高热传导率的材料构成。板簧18与支撑体16 —起形成用于反射镜14的固态关节。
[0085]反射镜单元还具有布置在板簧18和支撑体16的较长分支之间的两个磁线圈22。当然，也可以替代磁线圈而使用其他的驱动器。反射镜单元包括图1所示的多个反射镜单元，例如，几百个甚至几千个，它们布置在公共的基底板12上。基底板12还可以被弯曲，从而同样依次布置的反射镜14形成弯曲的公共反射镜表面，其被反射镜14之间的中间空间中断。
[0086]在所示的实施例中，布置在支撑体16的两侧的板簧18分别相互平行地排列。在其他实施例中，板簧18沿单一线在支撑体16每侧接合，从而提供其中板簧18仅大致相互平行地延伸的扇形布置。
[0087]支撑体16的最长的分支20的长度适应于板簧18的长度28以及角度排列，从而支撑体16在反射镜15的中性设置(neutral setting)中(如所示的)或在偏移设置中(没有示出)均不接触基底板12。通过电驱动两个磁线圈22中的至少一个，可以在构造为永磁体的分支20上诱发力，从而它们被弯曲。由于板簧18的作用，力的诱发导致支撑体16绕示出的旋转轴24的旋转移动。布置在支撑体16的一侧的板簧18则变为局部弯曲并且弹性变形，就板簧18与支撑体16和基底板12的连接而言，板簧18被视为牢固地夹住。在相反侧，板簧本质上作为张力元件，其受到拉力并仅轻微地弹性变形。由于板簧18的厚度26的尺寸，在弯曲面(未示出)中由板簧18产生的抵抗弯曲的阻力动量相对较小。弯曲面被定义为板簧18在其中能够弯曲的面。结果，弯曲面垂直于旋转轴24布置。在这个弯曲面中，板簧18彼此分隔，如在图1中所清晰地看到的。
[0088]板簧18的尺寸和数目被选择从而板簧18的厚度26、宽度30和数目的乘积给出的总截面明显大于固态关节的总截面，该固态关节替代板簧18使用单块的但具有与板簧18相同的弯曲强度的元件。由于更大的总截面，板簧18可以在基底板12的方向上从反射镜14散发更多的热量，并因此抵消反射镜14的过热。迄今的固态关节的单块元件的细分为多个板簧18或其他关节元件利用了以下事实:当细分为多个单独部分时，部件的弯曲强度减小但热通量保持相同。通过增加关节元件的截面，由于细分为多个关