糊状体或流体，特别是填充有液体。
14.根据权利要求13所述的投射曝光设备，其特征在于所述流体是气体，所述气体流过所述移动间隙和/或处于大于标准操作压强的1.5倍的压强，该标准操作压强在投射曝光设备中投射光穿过的空间中是主导的。
15.根据权利要求13或14所述的投射曝光设备，其特征在于所述控制装置(550，552)设计为可变调节所述移动间隙(554)的宽度。
16.根据权利要求13至15任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述滑动表面之间主导的应用压强可以通过所述控制装置调节。
17.根据权利要求13或14所述的投射曝光设备，其特征在于所述基体的或所述反射镜支撑体(1012)的滑动表面具有至少一个流体的排出开口(1058a，1058b)，从该排出开口(1058a，1058b)流体可以流出到所述移动间隙(1054)中。
18.根据权利要求17所述的投射曝光设备，其特征在于所述基体或所述反射镜支撑体(1012)具有至少一个流体的进入开口(1059)，通过该进入开口(1059)在所述移动间隙(1054)中循环的流体可以流出所述移动间隙。
19.根据权利要求18所述的投射曝光设备，其特征在于所述移动间隙(1054)中的流体的流动方向可以被改变。
20.根据权利要求17至19任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述基体的或所述反射镜支撑体的滑动表面具有流体的至少两个排出开口(1058b)，该两个排出开口彼此径向相对地布置。
21.根据权利要求13至20任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述反射镜的排列可以通过所述移动间隙中流动的流体来改变。
22.根据权利要求21所述的投射曝光设备，其特征在于所述反射镜(1014’)的滑动表面提供有增加相对于所述流体的拖曳力的结构。
23.根据权利要求13至22任一项所述的投射曝光设备，其特征在于通过密封来防止流体自保留在所述反射镜(1014)与所述基体或所述反射镜支撑体1012之间的间隙出现。
24.根据权利要求10至23任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述基体或所述反射镜支撑体(2012)相对于所述反射镜(1014)被施加预应力。
25.根据前述权利要求10至24任一项所述的投射曝光设备，具体是根据权利要求1至15任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述控制装置包括相对于所述反射镜可移动地布置的至少一个移动传感器(974)，所述移动传感器特别是压电或超声马达。
26.根据权利要求25所述的投射曝光设备，其特征在于所述移动传感器(974)在静止状态平靠在反射镜部分(990)上。
27.根据权利要求26所述的投射曝光设备，其特征在于所述反射镜(914)和所述移动传感器(974)具有球形帽分段形式的相应接触表面(986，990)。
28.根据权利要求27所述的投射曝光设备，其特征在于所述接触表面(986，990)的球形中心布置在所述反射镜(914)的光学中心或至少紧靠所述反射镜(914)的光学中心。
29.根据权利要求25至28任一项所述的投射曝光设备，其特征在于至少一个移动传感器(974)设计为弯曲元件。
30.根据权利要求25至29任一项的投射曝光设备，其特征在于所述反射镜(914)经由弯曲弹性和扭转刚性的弹簧元件(952)连接到所述基体(912)。
31.根据权利要求30所述的投射曝光设备，其特征在于所述弹簧元件(952)设计为伸缩管，特别是由金属制成的伸缩管。
32.根据权利要求30或31所述的投射曝光设备，其特征在于所述弹簧元件(952)在所述反射镜(914)的中性设置和偏离设置中被弹性地施加预应力。
33.根据权利要求30至32任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述弹簧元件(952)填充有流体，特别是填充有液体。
34.根据前述权利要求10至33任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述反射镜(14，214，314，414，514，614，714，814，914，1014)可以绕旋转轴旋转，该旋转轴位于或至少大致位于所述反射镜的反射表面中。
35.根据前述权利要求10至34任一项所述的投射曝光设备，其特征在于用于确定所述反射镜的排列的传感装置被分配给所述控制装置。
36.根据前述权利要求10至35任一项所述的投射曝光设备，其特征在于用于产生光的辐射源具有短于25nm的波长，特别具有约13.5nm的波长。
37.微光刻投射曝光设备，包括反射镜阵列，该反射镜阵列具有基体(12)和多个反射镜单元(10，110)，其中每个反射镜单元包括: -反射镜(14)； -固态关节，该固态关节具有将所述反射镜连接到所述基体的至少一个关节部件，其中所述关节部件能够在弯曲面中弯曲；以及 -控制装置(22)，通过该控制装置(22)可以改变各个所述反射镜相对于所述基体的排列， 其特征在于: 所述关节部件被细分为多个关节元件(18，118)，该多个关节元件(18，118)在所述弯曲面中彼此分开，以减少该关节部件的弯曲刚性。
38.根据权利要求37所述的投射曝光设备，其特征在于所述关节元件(18，118)至少本质上相互平行地布置。
39.根据权利要求37或38所述的投射曝光设备，其特征在于所述关节元件(18，118)是杆形或板形的。
40.根据权利要求37至39任一项所述的投射曝光设备，其特征在于两个关节元件(18，118)在所述反射镜(14)上接合并且相对。
41.根据权利要求37至40任一项所述的投射曝光设备，其特征在于除了所述控制装置和所述固态关节，弯曲热传导元件(234)也布置在所述反射镜和所述基体之间。
42.用于开发微光刻投射曝光设备的方法，该微光刻投射曝光设备包括具有基体(12)和多个反射镜单元(10，110)的反射镜阵列，其中每个反射镜单元包括: -反射镜(14)； -固态关节，其具有将所述反射镜连接到所述基体的至少一个关节部件；以及 -控制装置，通过该控制装置可以改变各个所述反射镜相对于所述基体的排列，该方法特征在于具有以下步骤: i)建立所述关节部件应该具有的弯曲刚度； ii)建立所述关节部件应该具有的热传导率； iii)建立所述关节部件应该具有的总的截面，以实现步骤ii)中建立的热传导率； iv)建立形成所述关节部件的相互分隔的关节元件(18，118)的数量，从而整套关节元件具有步骤i)中建立的所述弯曲刚度和步骤iii)中建立的所述总的截面。
43.微光刻投射曝光设备，包括具有基体(712，812)和多个反射镜单元(410，710，810)的反射镜阵列，其中每个反射镜单元包括: -反射镜(414，714，814);和 -控制装置，通过该控制装置可以改变各个所述反射镜相对于所述基体的排列， 其特征在于: 所述反射镜单元分别具有柔性密封装置(444，762，862)，其气密限定所述反射镜(414，714，814)和所述基体之间的体积部分，以及 该体积部分可以填充有气体或液体，或者气体或液体可以通过该体积部分流动，从而冷却所述反射镜。
44.根据权利要求43所述的投射曝光设备，其特征在于所述体积部分具有入口和出口，并且特征在于将流体在所述体积部分中循环的循环装置被分配给所述反射镜单元。
45.根据权利要求43或44所述的投射曝光设备，其特征在于所述密封装置包括柔性密封条(444)，该柔性密封条(444)将相邻的反射镜(414)彼此连接。
46.根据权利要求43至45任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述体积部分包含气体，该气体具有比存在于该密封装置另一侧的气体更高的压强。
47.根据权利要求43至46任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述密封装置是伸缩管(762，862)。
48.根据权利要求47所述的投射曝光设备，其特征在于每个反射镜单元对于每个自由度具有两个伸缩管，所述两个伸缩管彼此相对布置。
49.根据权利要求48所述的投射曝光设备，其特征在于所述两个伸缩管(762)连接在一起从而它们流体连通。
50.根据权利要求49所述的投射曝光设备，其特征在于所述两个伸缩管(762)通过通道(766)连接在一起，该通道(766)延伸通过所述反射镜。
51.根据权利要求47或48所述的投射曝光设备，其特征在于所述控制装置具有改变由伸缩管(862)包封的流体体积的装置，所述装置特别是可移位活塞(870)或泵。
52.根据权利要求1至9、37至41以及43至51任一项所述的投射曝光设备，其特征在于所述反射镜(14，214，314，414，514，614，714，814，914，1014)可以绕旋转轴旋转，该旋转轴位于或至少大致位于所述反射镜的反射表面中。
53.根据权利要求1至9、37至41以及43至52任一项所述的投射曝光设备，其特征在于用于确定所述反射镜的排列的传感装置被分配给所述控制装置。
54.根据权利要求1至9、37至41以及43至53任一项所述的投射曝光设备，其特征在于产生光的辐射源具有短于25nm的波长，特别具有约13.5nm的波长。
【专利摘要】微光刻投射曝光设备具有反射镜阵列，反射镜阵列具有基体和多个反射镜单元，每个反射镜单元包括反射镜和固态关节，固态关节至少具有一个关节部件，该至少一个关节部件将反射镜连接到基体。控制装置使得可以改变各反射镜相对于基体的排列。反射镜与基体或连接到基体的反射镜支撑体的相对表面被设计为滑动支撑的相应滑动表面。
【IPC分类】G02B26-08, G03F7-20, G02B7-182
【公开号】CN104536271
【申请号】CN201510003073
【发明人】萨沙.布莱迪斯特尔, 关彦彬, 弗洛里安.巴赫, 丹尼尔.本兹, 塞韦林.沃尔迪斯, 阿明.沃伯
【申请人】卡尔蔡司Smt有限责任公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2009年9月17日
【公告号】CN102171615A, CN102171615B, DE102008049556A1, DE102008049556B4, EP2340464A2, US8767176, US20110181852, US20140333912, WO2010037476A2, WO2010037476A3