一种光刻机楔板斜面的加工方法及其夹具工装的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及光刻机楔板技术领域，特别是一种光刻机楔板斜面的加工方法及其夹 具工装，能高效率的对楔板进行调试加工，保证其精度要求。
【背景技术】
[0002] 目前我国对外形80mm*80mm，中心厚度为3mm，材料为肖特BK7的楔板加工工艺存 在一定的不足，特别是针对斜面精度保证在10"以内的精度一般很难保证，成功率很低， 远不能满足90nm光刻机装机的要求
【发明内容】
[0003] 本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种光刻机楔板斜面的加工方 法及其夹具工装，有效保证斜面的精度要求，成功率可以保持在90%以上，满足国内90nm 光刻机的设计需要。
[0004] 本发明的技术解决方案是：
[0005] 一种用于加工楔板斜面的装夹方法，该方法包括如下步骤：
[0006] 步骤1、准备处理步骤，具体包括：
[0007] 1. 1选取待加工楔板的一大平面作为基准面，利用三坐标测量仪测出该平面四个 角落点的面形趋势，并做记录；
[0008] 1. 2建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20?26°C±0. 1°C，湿度为50? 70 %，标准大气压下在超净工作台上，工作人员带上洁净手套和口罩，对待加工楔板和玻 璃垫板用光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭，在擦拭过程中把楔形板放在l〇〇w的灯光下 仔细观看表面灰尘，直到无肉眼可见灰尘，擦拭完毕，把擦拭好的楔板放在玻璃器皿中，防 止再次污染；
[0009] 步骤2、粘接处理步骤，具体包括：
[0010] 2. 1用高纯度蜡将楔板的基准面粘接在玻璃垫板上，粘接时使蜡充满整个楔板和 玻璃垫板的接触面，确保楔板和玻璃垫板之间无气泡；
[0011] 2. 2把粘接好的楔板和玻璃垫块放在楔板粘接平台上进行第二次蜡粘接，使楔板 处于最上方，玻璃垫板在中间，楔板粘接平台处于最下方；
[0012] 2. 3将粘接好的楔板、玻璃垫块和楔板粘接平台一起放置在工装定位平台上，并 通过螺母、螺柱、小压板和垫块压紧固定；
[0013] 步骤3、将工装定位平台与机床固定，利用机床探头探测楔板的四个角点的面形趋 势作好记录，并和步骤1. 1中记录的面形趋势进行对比，调节工装定位平台的位置，使二者 面形趋势一致；
[0014] 步骤4、斜面加工步骤，具体包括：
[0015] 4. 1用直径110mm的铜基金刚石粗颗粒磨头对斜面进行粗磨，转速3000，进给量 300mm/mim,吃刀量0? 05mm,留0? 1mm进行下道工序；
[0016] 4. 2用直径110mm的铜基金刚石细颗粒磨头对斜面进行细磨，转速4000，进给量 10Omm/mim,吃刀量 0? 01mm;
[0017] 4. 3机床探头进行自测，使基准面与斜面对齐的夹角）测量其斜度值
[0018] 4. 4对斜面的斜度值进行三坐标精确测量：
[0019] 如果检测结果符合图纸要求则完成加工，否则返回步骤4. 2进行细磨。
[0020] 一种实施所述的光刻机楔板斜面的加工方法的夹具工装，其特点在于，包括凸台 状的楔板粘接平台、具有螺孔的工装定位平台、具有螺孔的小压板、圆柱形第一垫块、T形M6滑块、M6双头螺柱、弹性波浪垫圈和第二垫块；
[0021] 所述的楔板粘接平台通过第一螺母、穿过螺柱的小压板与工装定位平台固定连 接，所述的第二垫块设置在所述的小压板和工装定位平台之间；
[0022] 所述的工装定位平台通过所述的M6双头螺柱与弹性波浪垫圈、圆柱形第一垫块 和T形M6滑块依次连接。
[0023] 与现有技术相比，本发明的有益效果是题：
[0024] ?能有效的保证斜面的精度要求；
[0025] ?能有效的保证斜面的中心厚度；
[0026] 鲁使产品的报废率大大降低，成功率保持在90%以上。
【附图说明】
[0027] 图1楔板和垫板以及工装夹具的装配位置关系示意图；
[0028] 图2为楔板的外形大小，斜面精度和中心厚度，单位mm;
[0029] 其中，玻璃垫板9和工件粘接平台6为黄蜡粘接，其余部分为压板和螺杆连接。
【具体实施方式】
[0030] 下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范 围。
[0031] ①先以楔板的一大平面为基准上三坐标测出楔板的四个角落点的面形趋势，并 做记录.
[0032] ②建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20?26°C±0. 1°C，湿度为50? 70%，标准大气压下超净工作台上进行零件和同种材料工装的粘合工作；
[0033] ③在超净工作台，工作人员带上洁净手套和口罩，对待用且符合要求的楔形板和 用于粘接楔板的同种材料的工装玻璃垫板用光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭，在擦拭 过程中把楔形板放在100w的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无肉眼可见灰尘，擦拭完毕， 把擦拭好的楔形板放在玻璃器皿中，防止再次污染；
[0034] ④将楔板用高纯度蜡粘接在玻璃垫板上，把玻璃垫板板面和楔板面用蜡进行粘 合，粘合时使蜡充满整个楔板和玻璃垫板底部确保之间无气泡这样可以确保加工时切削稳 定高.
[0035] ⑤把步骤④所粘接好的楔板和玻璃垫板放上楔板粘接平台6进行第二次蜡粘接， 其中楔板在最上位置，玻璃垫板在中间，楔板粘接平台在最下位置，如图1所示；
[0036] ⑥将粘接好的楔板、玻璃垫板、楔板粘接平台一起放置在工装定位平台5上，并用 小压板8套入螺杆12,垫上垫块10,用第一螺母7拧入进行压紧固定，构成中间组件；
[0037] ⑦将四个T形M6滑块1插入机床的T形槽中；
[0038] ⑧将M6双头螺柱2与T形M6滑块1连接；
[0039] ⑨在机床工作台擦拭干净后，将圆柱形第一垫块3穿过M6双头螺柱2放置在机床 工作台上；
[0040] ⑩将弹性波浪垫圈4穿过M6双头螺柱2放置在圆柱形第一垫块3上；
[0041] ?将步骤⑥得到的中间组件，通过工装定位平台5上的四个10mm的螺孔穿过M6 双头螺柱2放置在弹性波浪垫圈4上；
[0042] ?用第二螺母11压紧工装定位平台5 ;
[0043] 〇)用机床探头探测楔板的四个角点观察其面形趋势作好记录并和步骤①的面形 趋势进行对比；
[0044] ?用扳手调节工装定位平台上的四个第二螺母11，使其有微小的位移，调节至 与步骤①的面形趋势基本保持一致（〇. 〇〇2_以内）；
[0045] ?对楔板进行斜面加工，具体如下：
[0046] 第一步：用直径110mm的铜基金刚石粗颗粒磨头对斜面进行粗磨，转速3000，进 给量300mm/mim,吃刀量0. 05mm,留0. 1mm进行下道工序；
[0047] 第二步：用直径110mm的铜基金刚石细颗粒磨头对斜面进行细磨，转速4000,进 给量lOOmm/mim,吃刀量 0? 01mm;
[0048] 第三步：机床探头进行自测，用平面对齐的方式（即基准面与斜面对齐的夹角） 测量其斜度值
[0049] 第四步：对斜面斜度值进行三坐标精确测量：
[0050] 如果检测符合图纸要求则产品完成；
[0051] 检测不符合图纸要求则返回第二步进行修磨。
【主权项】
1. 一种光刻机模板斜面的加工方法，其特征在于，该方法包括如下步骤： 步骤1、准备处理步骤，具体包括： 1.1选取待加工模板的一大平面作为基准面，利用S坐标测量仪测出该平面四个角落 点的面形趋势，并做记录； 1. 2建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20?26°C ±0. rC，湿度为50?70%， 标准大气压下在超净工作台上，工作人员带上洁净手套和口罩，对待加工模板和玻璃垫板 (9) 用光学玻璃擦拭布薩上酒精进行擦拭，在擦拭过程中把模形板放在lOOw的灯光下仔细 观看表面灰尘，直到无肉眼可见灰尘，擦拭完毕，把擦拭好的模板放在玻璃器皿中，防止再 次污染； 步骤2、粘接处理步骤，具体包括： 2. 1用高纯度蜡将模板的基准面粘接在玻璃垫板上，粘接时使蜡充满整个模板和玻璃 垫板的接触面，确保模板和玻璃垫板之间无气泡； 2. 2把粘接好的模板和玻璃垫块放在模板粘接平台（6)上进行第二次蜡粘接，使模板 处于最上方，玻璃垫板在中间，模板粘接平台处于最下方； 2. 3将粘接好的模板、玻璃垫块和模板粘接平台一起放置在工装定位平台（5)上，并通 过螺母（7)、螺柱、小压板（8)和垫块（10)压紧固定； 步骤3、将工装定位平台（5)与机床固定，利用机床探头探测模板的四个角点的面形趋 势作好记录，并和步骤1. 1中记录的面形趋势进行对比，调节工装定位平台（5)的位置，使 二者面形趋势一致； 步骤4、斜面加工步骤。
2. 根据权利要求1所述的刻机模板斜面的加工方法，其特征在于，所述的步骤4的斜面 加工步骤，具体包括； 4.1用直径110mm的铜基金刚石粗颗粒磨头对斜面进行粗磨，转速3000，进给量 300mm/mi化吃刀量0. 05mm,留0. 1mm进行下道工序； 4. 2用直径110mm的铜基金刚石细颗粒磨头对斜面进行细磨，转速4000,进给量 lOOmm/mim,吃刀量 0. 01mm ; 4. 3机床探头进行自测，使基准面与斜面对齐的夹角）测量其斜度值 4. 4对斜面的斜度值进行=坐标精确测量： 如果检测结果符合图纸要求则完成加工，否则返回步骤4. 2进行细磨。
3. -种实施权利要求1所述的光刻机模板斜面的加工方法的夹具工装，其特征在于， 包括凸台状的模板粘接平台（1)、具有螺孔的工装定位平台巧）、具有螺孔的小压板（8)和 圆柱形第一垫块（3)、T形M6滑块（1)、M6双头螺柱（2)、弹性波浪垫圈（4)和第二垫块 (10) ; 所述的模板粘接平台（6)通过第一螺母（7)、穿过螺柱（12)的小压板（8)与工装定位 平台（5)固定连接，所述的第二垫块（10)设置在所述的小压板（8)和工装定位平台（5)之 间； 所述的工装定位平台（5)通过所述的M6双头螺柱（2)与弹性波浪垫圈（4)、圆柱形第 一垫块做和T形M6滑块（1)依次连接。
【专利摘要】一种光刻机楔板斜面的加工方法，包括：准备处理步骤；粘接处理步骤；将工装定位平台机床固定，利用机床探头探测楔板的四个角点的面形趋势作好记录；斜面加工步骤。本发明有效的保证斜面的精度、中心厚度要求，使产品的报废率大大降低，成功率保持在90％以上。
【IPC分类】G03F7-20
【公开号】CN104536270
【申请号】CN201410853907
【发明人】笪永康, 黄晨浩, 刘天豪, 韩庆, 陈静
【申请人】上海现代先进超精密制造中心有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月31日